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"exhaust contaminant"を含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
To provide semiconductor substrate cleaning equipment which cleans a semiconductor substrate so that contaminant which is exfoliated by cleaning does not stick again and can exhaust contaminant etc. which remains into cleaning liquid of a treatment tank upper part.例文帳に追加
洗浄により剥離された汚染物質が再付着することないよう半導体基板を洗浄するとともに、処理槽上部の洗浄液中に滞留する汚染物質等を排出可能な半導体基板洗浄装置を提供する。 - 特許庁
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