例文 (3件) |
誘電障壁放電の部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 3件
誘電障壁放電ランプ例文帳に追加
DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE LAMP - 特許庁
化学蒸着反応器内で、活性化窒素原子、特に誘電体障壁放電により発生させた活性化窒素原子およびIII族金属の有機金属化合物1種以上を、従来のMOCVD法におけるよりも低温の700℃〜1,000℃に加熱した基板上に化学蒸着させる製造方法である。例文帳に追加
This method for producing a III group metal nitride thin film comprises carrying out chemical vapor deposition of activated nitrogen atom, especially activated nitrogen atom generated by dielectric barrier discharge and one or more kinds of organometallic compounds of III group metals on a substrate heated to 700°C to 1,000 which is a temperature lower than that in conventional MOCVS method. - 特許庁
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