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alien elementの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
To provide a method for forming the gate of a semiconductor element capable of obtaining the gate electrode having no defect by reducing the generation of an alien substance at the upper part of the surface of a doped silicon film.例文帳に追加
ドープトポリシリコン膜の表面上部に異常異物が発生することを抑制し、欠点のないゲート電極を実現することが可能な半導体素子のゲート形成方法を提供すること。 - 特許庁
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