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passwaysを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
In the photomask design method, a transmissivity characteristic of the projection optical system 6 which changes depending on the difference of passways of diffracted rays L1-L3 passing through the projection optical system 6 in the projection optical system 6 is obtained and, by using the transmissivity characteristic, the mask bias of a photomask 5 is obtained.例文帳に追加
投影光学系６を通過する回折光Ｌ１〜Ｌ３の投影光学系６内の経路の違いに依存して変化する、投影光学系６の透過率特性を求め、この透過率特性を用いて、フォトマスク５のマスクバイアスを求める。 - 特許庁
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