意味 | 例文 (6件) |
wfsを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 6件
Further, the fine movement stage WFS is driven in directions of six degrees of freedom and then the wafer W is precisely positioned.例文帳に追加
また、微動ステージWFSを6自由度方向に駆動することができるので、ウエハWの位置決めを精度よく行うことができる。 - 特許庁
During exposure of the wafer W, the rough movement stage WRS and fine movement stage WFS are relatively moved to move the wafer W and then output from an XY driving system or XYM driving the rough movement stage is suppressed.例文帳に追加
そして、ウエハWの露光動作中においては、粗動ステージWRSと微動ステージWFSとを相対移動することによりウエハWの移動を行うことで、粗動ステージを駆動するXY駆動系かXYMらの出力を抑制する。 - 特許庁
In measurement of positional information in the XY plane of a fine movement stage WFS held by a coarse movement stage WCS, an encoder system is used including a head which is placed facing a grating RG placed on a surface substantially parallel to the XY plane of the fine movement stage and irradiates the grating with a measurement beam.例文帳に追加
粗動ステージWCSに保持された微動ステージWFSのXY平面内での位置情報の計測には、微動ステージのXY平面に実質的に平行な一面に配置されたグレーティングRGに対向して配置され、該グレーティングに計測ビームを照射するヘッドを含むエンコーダシステムが用いられる。 - 特許庁
A drive system drives the movable body based on measurement results of a first measurement system for measuring the position of the movable body in an XY plane and measurement results of a second measurement system for measuring variations in an arm member 71 via a laser interferometer by irradiating a grating RG disposed on one surface in parallel with the XY plane of the movable body WFS with measurement beams from the arm member 71.例文帳に追加
駆動系により、アーム部材71から移動体WFSのXY平面に平行な一面に配置されたグレーティングRGに対して計測ビームを照射して移動体のXY平面内の位置を計測する第1計測系の計測結果と、レーザ干渉計を用いてアーム部材71の変動を計測する第2計測系の計測結果と、に基づいて移動体が駆動される。 - 特許庁
A wafer stage WST which holds a wafer W and moves on an XY plane includes a rough movement stage WRS which moves on the XY plane and a fine movement stage WFS which moves relatively to the rough movement stage WRS in directions parallel to a Y axis and an X axis and rotates on the axes.例文帳に追加
ウエハWを保持してXY平面上を移動するウエハステージWSTを、XY平面上を移動可能な粗動ステージWRSと、該粗動ステージWRSに対してX軸、Y軸、Z軸それぞれに平行な方向に相対移動可能で、かつ各軸回りの回転方向に回動することが可能な微動ステージWFSとで構成する。 - 特許庁
In the equalizer 5, tap coefficients Wfs are generated by every symbol and the waveform equalization is performed by them, in addition, the tap coefficients Wf are supplied to a vector length output part 8, pieces of vector length R of the tap coefficients R are calculated and the gains G are obtained by averaging pieces of the vector length R sequentially obtained by every symbol by an averaging part 9.例文帳に追加
等化器5では、シンボル毎にタップ係数Wfが生成され、これで波形等化が行なわれるが、このタップ係数Wfは、また、ベクトル長出力部8に供給されてタップ係数Wfのベクトル長Rが算出され、平均化部9でシンボル毎に順次得られたベクトル長Rを平均化することにより、上記のゲインGが得られる。 - 特許庁
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