「electron microscope」を含む例文一覧(1821)
＜前へ 1 2 .... 24 25 26 27 28 29 30 31 32 .... 36 37 次へ＞- A reflection electron microscope 4 irradiates incident beams 15 on the surface of bio cells 12, and photographs continuous images as a two-dimensional intensity distribution of their reflected and scattered beams 21.
反射型電子顕微鏡４は、バイオセル１２の表面に入射線１５を照射し、その反射散乱線２１の二次元強度分布である連続画像を撮影する。 - 特許庁 - To provide a cross-section observation scanning electron microscope for allowing the bright view of an observed cross section.
本発明は断面観察用走査電子顕微鏡に関し、観察断面が明るく見えるような断面観察用走査電子顕微鏡を提供することを目的としている。 - 特許庁 - The composition comprises the following (A) to (C) ingredients; (A) ceramic particles having a number average particle size of 0.01-0.5 μm by an electron microscope method, (B) a compound containing polymerizable functional groups and (C) a photopolymerization initiator.
（Ａ）電子顕微鏡法による数平均粒径が０．０１〜０．５μｍのセラミックス粒子、 （Ｂ）重合性官能基を有する化合物、及び （Ｃ）光重合開始剤 - 特許庁 - To install a micromachining function of an FIB (focused-ion beam) system and a non-destructive and excellent image forming function of an SEM (scanning electron microscope) into a single apparatus suitable for mass production of high-precision nanodevices.
ＦＩＢシステムのマイクロマシニング機能と、ＳＥＭの非破壊かつ優れた像形成機能とを、高精度なナノデバイスの大量生産に適した１台の装置に組み込む。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope device with an inclined column capable of obtaining an inclined image having high resolution in the same level as that of a top-down image obtained using a vertical column.
直立カラムを用いて得られるトップダウン像と同程度の高分解能の傾斜像を得ることのできる傾斜カラム付の走査電子顕微鏡装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a transmission electron microscope capable of photographing an element distribution image, similarly with a TEM image on a TEM image photographing film.
透過電子顕微鏡において、ＴＥＭ像撮影用フィルム上にＴＥＭ像と同様に元素分布像を撮影する事が可能な透過電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To illustrate, a sample 34 placed at the end 20 of a sample holder 7 can be maintained at a temperature of liquid nitrogen in a low temperature TEM (transparent electron microscope) as its embodimenet.
例えば、低温ＴＥＭ（透視型電子顕微鏡）において、試料ホルダ７の末端２０に配置される試料３４が、例えば、液体窒素の温度に維持され得る。 - 特許庁 - To provide an electron microscope endowed with functions of direct-image observation of a high throughput by defect inspection of a semiconductor wafer or the like and scanned image observation at a high resolution.
半導体ウエハ等の欠陥検査による高スループットの直接写像観察と、高分解能での走査像観察機能を備えた電子顕微鏡を提供すること。 - 特許庁 - To provide a coating method that can be easily applied to an observation sample for a scanning electron microscope and can fully observe fine structure of a sample surface.
走査電子顕微鏡用の観察試料に簡便に適用することができ、かつ試料表面の微細構造を十分に観察し得るコーティング方法を提供すること。 - 特許庁 - To provide an electron microscope apparatus and a brake mechanism capable of reducing vibration even when a stage moves at a high speed, reducing drift in stopping the stage, and positioning with high precision.
ステージを高速移動しても低振動であり、ステージ停止時のドリフトが小さく、高精度の位置決めを行える電子顕微鏡装置およびブレーキ機構に関する。 - 特許庁 - To obtain an energy filter electron microscope which restrains increase of the length of a lens-barrel by widening magnification range and yet reducing the number of lens steps of an image formation system to a bare minimum.
倍率範囲を広くしながら、しかも、結像系のレンズ段数を必要最小限に抑え鏡筒の長さの増大を抑制するエネルギフィルタ電子顕微鏡を得る。 - 特許庁 - To quickly inspect a specimen containing a fine grating by using a simple inspection apparatus and a simple inspection method without using a transmission electron microscope.
透過型電子顕微鏡を用いることなく、簡易な検査装置及び方法を用いて、微細なグレーティングを含む被検査物について迅速に検査を行えるようにする。 - 特許庁 - To provide a miniaturized scanning electron microscope enabling observation of the optional position of a large sample, and capable of easily obtaining a three-dimensional image.
大型試料の任意の位置を観察することを可能にし、また、三次元立体像を容易に得ることができ小型化された走査型電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To enable to collect a vertical image photographing against an observation sample and a slant observation image in observation using a scanning type electron microscope at a high speed.
走査式電子顕微鏡を用いた観察において、観察試料に対して鉛直下向きに撮像する落射画像と、傾斜観察画像とを高速に収集すること。 - 特許庁 - To provide a sample holder of a transmission electron microscope capable of correcting astigmatism without requiring a standard sample even if the sample is that of a crystal phase only.
結晶相のみの試料であっても標準試料を要することなく非点収差の補正が可能な、透過型電子顕微鏡の試料ホルダーを提供する。 - 特許庁 - To accurately set focusing position on an inclined axis, when taking a photograph in a transmission electron microscope provided with an expansion MDS function.
拡張ＭＤＳ機能を備える透過型電子顕微鏡において、写真撮影する場合に焦点合わせ位置を正しく傾斜軸上に設定できるようにする。 - 特許庁 - To allow positioning precision of high level such as required in a sample stage of an electron microscope device used in a field of manufacturing a semiconductor, and to allow reduction of a drift.
半導体製造分野で用いられる電子顕微鏡装置の試料ステージで要求されるような高いレベルでの位置決め精度やドリフトの低減を可能とする。 - 特許庁 - To provide an image display device for a scanning electron microscope, capable of printing the accurate magnification together with an image, even when the image is printed in any desired size.
画像を任意の大きさで印刷する場合でも、画像と共に正確な倍率の印刷を行うことができる走査電子顕微鏡の画像表示装置を実現する。 - 特許庁 - The electrode for an electric double layer capacitor is composed of carbon having a nano structure where the lattice section spacing determined by means of an electron microscope is in the range of 2-50 nm.
電子顕微鏡による格子断面間隔が２〜５０ｎｍの範囲であるナノ構造を有するカーボンを用いて、電気二重層キャパシタ用電極を構成する。 - 特許庁 - To provide a scanning probe electron microscope (SFM) facilitating a change of probes while dispensing with adjustment for positioning a deflection detector after a change of probe.
プローブ交換を容易にするとともにプローブ交換後の偏向検出器の位置決めのための調節を不要にした走査型プローブ電子顕微鏡（ＳＦＭ）を提供する。 - 特許庁 - To provide a sample table for an electron microscope causing no burying of a microstructure of a biological sample and damage of the sample, and having stable electric conductivity and surface roughness.
生物試料の微細構造の埋没、試料損傷等の発生がなく、安定した導電性及び面精度を有する電子顕微鏡用試料台を提供する。 - 特許庁 - To prevent degradation of throughput in a scanning electron microscope having a function of imaging a defect on a semiconductor wafer and transferring a captured image to an external device.
半導体ウェーハ上の欠陥を撮像し、撮像画像を外部装置へ転送する機能を有する走査型電子顕微鏡において、スループットの低下を防止する。 - 特許庁 - To surely detect an optimum focusing position as to a method and a device for adjusting an automatic optimum focusing of a transmission electron microscope.
本発明は透過型電子顕微鏡の自動最適合焦点調整方法及び装置に関し、最適合焦点位置を確実に検出することを目的としている。 - 特許庁 - To extract a frozen hydrated sample for TEM (transmission electron microscope) inspection, such as a vitrified biological sample, from a substrate and to attach the sample to a manipulator.
ＴＥＭ（透過型電子顕微鏡）検査のために、例えばガラス化した生体サンプル等の凍結した含水サンプルを基板から抽出し、該サンプルをマニピュレータに取り付ける。 - 特許庁 - To establish a scanning image signal acquiring method and provide a scan type electron microscope, capable of producing an accurate image with a high resolution without requiring any expensive, complicated vibrationproof mechanism.
高価で複雑な除振機構を必要とせず、高い分解能で正確な像を得ることができる走査像信号取得方法および走査電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁 - To control electrification of a thin film phase plate, minimize the influence even when it is electrified, enhance the contrast in electron microscope image, and remove the distortion of an image.
薄膜位相板において帯電を制御し、また帯電してもその影響を最小化して電子顕微鏡像のコントラストを高めかつ像の歪をとり除く。 - 特許庁 - To provide a method for preparing a samaple for microscopic observation using a transmission type electron microscope facilitating the observation of a planar microstructure with a specific depth in a semiconductor device.
半導体デバイス等における特定深さの平面的な微細構造の観察を容易にする、透過型電子顕微鏡観察用試料の作製方法を提供する。 - 特許庁 - Therefore, the working position of the sample being positioned is accurately irradiated with an ion beam, and the sample with the desired cross section for an electron microscope can be produced.
このため、位置決めされた試料加工位置にイオンビームが正確に照射され、所望の断面を有する電子顕微鏡用試料を作製することができる。 - 特許庁 - To realize a cheap and exact focusing function independent on mechanical means in a scanning electron microscope, in which at least an objective is formed by a permanent magnetic lens.
少なくとも対物レンズが永久磁石レンズで構成された走査電子顕微鏡に於いて機械的手段に依らない安価で正確な焦点合わせ機能を実現する。 - 特許庁 - Furthermore, the electron microscope is provided with a preview function to display a plurality of simple observation images corresponding to the picture quality set by the picture quality setting part 50 on a display part 28.
また、電子顕微鏡は、画質設定部５０によって設定された画質に対応する複数の簡易観察像を表示部２８に表示するプレビュー機能を備える。 - 特許庁 - To provide an electroconductive double-sided adhesive sheet for an electron microscope, hardly forming unevenness caused by air bubbles on the surface of an adhesive layer even performing vacuum sucking.
真空引きしても、粘着剤層表面に気泡による凹凸が生じにくい電子顕微鏡用導電性両面粘着シートを提供するを提供する。 - 特許庁 - A personal computer 20 acquires the microscopic image generated by the electron microscope 10, and performs image processing using maximum entropy method to the microscopic image.
パーソナルコンピュータ２０は電子顕微鏡１０によって生成された顕微鏡画像を取得し、前記顕微鏡画像に最大エントロピー法を用いた画像処理を施す。 - 特許庁 - To provide a method and apparatus to allow automated focusing of a charged particle beam in the scanning electron microscope or the like.
自動的に荷電粒子線の焦点合わせを行うことができる走査電子顕微鏡などの荷電粒子線装置における焦点合わせ方法および装置を提供すること。 - 特許庁 - Concretely, software is employed to give marks such as rectangles, characters and lines on an image viewed with an electron microscope so that fast navigation can take place using the minimal information.
具体的には電子顕微鏡の画像上にてソフトウェアにより矩形、文字、線等のマークを付けることにより、必要最小限の情報にて迅速なナビゲーションを行う。 - 特許庁 - A processor device 12 is provided with a part identifying unit 57 for identifying the kind of a part to be observed based on special-light image data obtained by photographing with an electron microscope 11.
プロセッサ装置１２に、電子内視鏡１１による撮影で得られた特殊光画像データに基づき、被観察部位の種類を判別する部位判別部５７を設ける。 - 特許庁 - To provide a method for preparing samples for transmission electron microscope observation and a sampling apparatus whereby extracted samples can be fixed in an arbitrary direction to a sample stage.
摘出試料を任意の方向に向けて試料台に固定することが可能な透過電子顕微鏡観察用試料作製方法およびサンプリング装置を提供する。 - 特許庁 - In the obtained composite, the silica particles of 5-50 nm are uniformly dispersed in the observation of transmission electron microscope (TEM), and both bending and tensile strengths are remarkably improved.
得られたコンポジットをＴＥＭで観察したところ５ｎｍ〜５０ｎｍのシリカ粒子が均一に分散しており、曲げ強度、引張強度とも大幅に向上した。 - 特許庁 - To provide a method for a nano-imprint superior in space contorollability using a single polymeric material as a transfer material and a specimen for conditioning the electron-microscope using it.
単一の高分子材料を転写材として、厚さ制御性に優れたナノインプリント法及びこれを用いた電子顕微鏡調整用試料を提供することにある。 - 特許庁 - A reference position of a measurement position by a scanning electron microscope or the like is set based on position information of a reference pattern on an image which is formed at a position apart from the measurement position and obtained by a scanning electron microscope or the like and information of the position relationship between a reference pattern detected based on a design data and the measurement position.
上述のような問題を解決するため、測定個所から離間した位置に形成され、走査電子顕微鏡等によって得られる画像上の基準パターンの位置情報と、設計データに基づいて検出される基準パターンと測定個所の位置関係の情報に基づいて、走査電子顕微鏡等による測定個所の基準位置を設定する。 - 特許庁 - To realize a computing means which can optimize an amount of focal gap in STEM and which can erase a virtual image and receive a feedback of a condition by substantially shortening the period of time to obtain a computed image and by comparing an image of an electron microscope to the computed image right after observation in an observation method and an observation equipment by a scanning transmission electron microscope.
走査透過型電子顕微鏡に依る観察方法及び観察装置に関し、ＳＴＥＭに於ける焦点ずれ量の最適化や虚像の消去を可能にする計算手段を実現し、そして、計算像を得る為の時間を大幅に短縮して電子顕微鏡像を観察直後に計算像と比較して条件をフィードバックできるようにする。 - 特許庁 - To provide a method for preparing a sample to be observed under an electron microscope, by which a sample for electron microscope is easily prepared with high alignment accuracy for a prescribed region, without having to cleave a wafer to analyze planar shape profile, and obtained data is combined to also analyze a three-dimensional shape profile.
ウェハを劈開せず、特定領域に対して高い位置合わせ精度で、より簡便に、電子顕微鏡用試料を作成して平面形状プロファイルを解析することができ、得られたデータを合成して三次元の形状プロファイルをも解析することができる電子顕微鏡観察用試料の作成方法を提供することを目的とする。 - 特許庁 - To provide a defect evaluation method capable of precisely and rapidly preparing a flaky sample for electron microscope observation by a converged ion beam sample preparing device in relation to a semiconductor crystal including an internal defect used as an observation object and capable of evaluating the crystalline defect in detail by observing the flaky sample with an electron microscope.
観察対象とする内部欠陥を含む半導体結晶に対し、収束イオンビーム試料作製装置による電子顕微鏡観察用薄片試料の作製を高精度かつ短時間で行うことができ、該薄片試料を電子顕微鏡で観察することによって詳細に結晶欠陥の評価を行うことができる欠陥評価方法を提供する。 - 特許庁 - An electron microscope comprises a sound wave taking-in means for taking in a sound wave from the outside to the vicinity of a column of an electron microscope unit, a graphical user interface for setting a signal taken in by the sound wave taking-in means, and a sound wave transmitting means transmitting the signal established by the graphical user interface and arranged in the vicinity of the column.
本発明の電子顕微鏡は、電子顕微鏡装置のカラム周囲に外部からの音波の信号を取り込む音波取込手段と、この音波取込手段により取り込んだ信号を設定するＧＵＩと、このＧＵＩにより設定された信号を発信する前記カラムの周囲に設けられた音波発信手段とを備えた構成とする。 - 特許庁 - The sample observation method using the electron microscope includes a fixing process for placing the sample 1 on a sample stand 2 and heating the metal joining material 3 while subjecting the same to ultrasonic vibration not only to join and fix the sample 1 and the sample stand 2 but also to electrically connect both of them and the sample 1 is observed using the electron microscope as it remains fixed on the sample stand 2.
試料台２上に試料１を載置し、金属接合材３を超音波振動させながら加熱することで試料１と試料台２とを金属接合材３により接合して固定すると共に電気的に接続する固定工程を備え、試料台２上に試料１を固定した状態で電子顕微鏡を用いた観察を行う。 - 特許庁 - A transmission electron microscope with an irradiation system Cs collector mounted thereon is structured such that, when a mode is changed from a TEM system to an STEM system, a lens relaxation treatment by a predetermined frequency to gradually reduce the amplitude thereof to positive and negative sides centering a predetermined value is executed to a lens constituting the transmission electron microscope.
照射系Ｃｓコレクターを搭載した透過電子顕微鏡において、モードをＴＥＭ系からＳＴＥＭ系に変化させた場合に、透過電子顕微鏡を構成するレンズに所定の値を中心として正負にその振幅が漸次減少していくような所定の周波数によるレンズ緩和処理を行なう、ように構成する。 - 特許庁 - A slice part, containing a desired observation place 2 due to the transmission electron microscope, is formed by processing the sample 1, and after a thin film is formed on the surface of the sample containing the slice part, the slice part is processed by a converged ion beam and the thin film of a part of the slice part is removed, to obtain the observation sample of the transmission electron microscope.
試料１を加工することによって、透過型電子顕微鏡による所望の観察箇所２を含む薄片部を形成し、記薄片部を含む試料表面に薄膜を成膜した後に、薄片部に対し集束イオンビームにより加工を施して、薄片部の一部の薄膜を除去し、透過型電子顕微鏡の観察試料とする。 - 特許庁 - This analytical electron microscope used for detecting an X-ray generated from a sample irradiated by an electron beam is provided with an object lens system comprising an upper magnetic pole and a lower magnetic pole each having a magnetic pole opening for passing the electron beam, and a sample chamber for mounting the sample between the upper magnetic pole and the lower magnetic pole.
電子線が照射された試料から発生するＸ線を検出する分析電子顕微鏡において、電子線を通過させる磁極孔を有する上側磁極および下側磁極からなる対物レンズ系と、上側磁極と下側磁極との間に試料を載置するための試料室を設ける。 - 特許庁 - The electron microscope includes: an objective lens 6 for converging electron beams and applying the converged electron beam to a sample 4; a sample chamber container 5 forming a sample chamber for storing the sample 4; a sample chamber magnetic shield 7 formed in the sample chamber container 5; and a cylindrical objective lens magnetic shield 8 surrounding the periphery of the objective lens 6.
電子線を収束させて試料４に照射する対物レンズ６と、試料４を収納する試料室を形成する試料室容器５と、試料室容器５の内部に設けられた試料室磁気シールド７と、対物レンズ６の周囲を囲む筒形の対物レンズ磁気シールド８とを備える。 - 特許庁 - A focal length of an objective is continuously changed by making accelerated voltage from a power source 1 of an electron beam accelerating voltage connected to an electron gun 2 of the scanning electron microscope variable by a voltage fine controller 3 to realize focusing to a sample without adjusting a position of a sample by a mechanical means.
走査電子顕微鏡の電子銃２に接続される電子線加速高圧電源１を電圧微細調整器３により加速電圧を可変にすることにより対物レンズの焦点距離を連続的に変更し、試料位置を機械的手段で調整することなく試料への焦点合わせを実現させる。 - 特許庁 - This transmission electron microscope can form an electron beam hologram H by a control device 17 by bringing an electron beam biprism 15 into a state in which interference is caused between an object wave E1 and a reference wave E2 by grounding an object wave side electrode 15a and a reference wave side electrode 15b and impressing positive potential V1 to a filament 15c.
制御装置１７により、電子線バイプリズム１５を、物体波側電極１５ａと参照波側電極１５ｂとを接地し、フィラメント１５ｃに正の電位Ｖ１を印加し、物体波Ｅ１と参照波Ｅ２とを干渉させる状態にすることにより、電子線ホログラムＨを形成することができる。 - 特許庁
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