「electron microscope」を含む例文一覧(1821)
＜前へ 1 2 .... 23 24 25 26 27 28 29 30 31 .... 36 37 次へ＞- A distribution of a reflection electron or secondary electron intensity is processed from a control system of a scanning microscope and an adjacent terminal, and a shape of an area expressing the vicinity of an edge is digitalized to calculate a tapering tendency based on a result thereof.
走査型顕微鏡の制御系ないし隣接する端末から反射電子ないしは２次電子強度の分布を処理し、エッジ近傍を表わす領域の形状を数値化しそれらの結果からテーパ傾向を算出する。 - 特許庁 - To provide a sample chamber which ensures an electron accelerating space, can easily adjust an optical position and makes exchange of a sample easy in a novel X-ray microscope that an X-ray image of the sample is converted to an electron image to observe it.
試料のＸ線像を電子像に変換して観察する新規なＸ線顕微鏡において、電子加速空間を確保し容易に光学的位置調整ができさらに試料の交換を容易にする試料室を提供する。 - 特許庁 - Distribution of reflection electron or secondary electron intensity is processed from a control system of a scan type microscope and an adjacent terminal, and the shape of an area representing the edge vicinity is digitized to calculate a taper gradient from the result.
走査型顕微鏡の制御系ないし隣接する端末から反射電子ないしは２次電子強度の分布を処理し、エッジ近傍を表わす領域の形状を数値化しそれらの結果からテーパ傾向を算出する。 - 特許庁 - An electron beam 70 of a scanning electron microscope (scanning the area of interest) is used to activate the precursor gas 55, 65 and this results in deposition of a metal layer over the topographical features of the substrate in the selected area 40.
対象となる領域を走査する走査電子顕微鏡の電子ビーム７０は、前駆体ガス５５、６５を活性化させるために用いられ、この結果、選択された領域４０の基板のトポグラフィカルフィーチャ上に金属層が堆積される。 - 特許庁 - The scanning electron microscope is provided with a means of changing optical angles of aperture by changing a plurality of converging lenses and aperture hole diameters, and changes electron beam angles of aperture in accordance with a visual field range equivalent to one pixel, a so-called pixel size.
複数の収束レンズ及び絞りの穴径を変化させることにより光学系の開き角を変化させる手段をもち、１画素に相当する視野範囲、いわゆる画素サイズに応じて電子ビーム開き角αを変化させる。 - 特許庁 - To facilitate a diameter change, an exchange, and mounting and dismounting of an orifice arranged above and below a sample chamber (an incident side and an emitting side of an electron beam) in a charged particle beam device such as a transmission electron microscope (TEM).
透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）等の荷電粒子線装置において、試料室の上下（電子線の入射側及び出射側）に設置される絞り（オリフィス）の口径変更、交換、着脱が容易に行えるようにする。 - 特許庁 - To provide an objective lens system and an electron microscope capable of sample observation with an electron beam accelerated to ultra high voltage even without any use of a DC ultra high-voltage power supply, a DC acceleration tube, or a number of electromagnetic lenses for ultra high voltage.
直流超高圧電源、直流加速管及び多数の超高圧用電磁レンズを使用しなくても、超高圧に加速された電子線による試料観察が可能な対物レンズ系及び電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope that prevents an inspection time from being extended due to vertical vibration of a sample when obtaining a two-dimensional image by irradiating the sample with an electron beam inclined with respect to the perpendicular direction of the sample.
試料の垂直方向に対して傾斜させた電子ビームを試料に照射して二次元像を得るときに、試料の上下振動が原因で検査時間が長くなることを防止できる走査形電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - This secondary electron image observation device 10 is provided with an irradiation system 15 having a structure for observing a sample while scanning it with an electron microscope and capable of irradiating the sample with at least either of an ultraviolet ray and an X-ray.
試料に対して電子顕微鏡を走査しながら観察を行う構成を有し、紫外光、Ｘ線の、少なくともいずれかを照射可能な、照射系１５を具備している二次電子像観察装置１０を提供する。 - 特許庁 - The electron microscope has an objective lens 151b for connecting the focus point of an electron beam on the sample, a lens controller 150b which applies exciting current applied to the objective lens 151b, and a host computer 102 which measures feature structures.
電子顕微鏡は電子ビームの焦点を試料上に結ぶための対物レンズ151bと、対物レンズ151bに供給される励磁電流を供給するレンズ制御部150bと、特徴構造を測定するホストコンピュータ102を有している。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope capable of obtaining an image with a superior contrast even if a primary beam current is small and efficiency of a secondary electron emission is small.
本発明は走査型電子顕微鏡に関し、１次ビーム電流が小さい場合や試料の２次電子放出効率が小さくてもコントラストの良い画像を得ることができる走査型電子顕微鏡を提供することを目的としている。 - 特許庁 - To provide a transmission electron microscope having a scan image observation function for always passing a main beam through the center of an annular dark-field scan image detector even when scanning is carried out by a tilted electron beam on a sample.
電子ビームを試料上で傾斜させて走査した場合でも、主ビームが常に円環状の暗視野走査像検出器の中心を通るようにすることができる走査像観察機能を有した透過型電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁 - To provide an electron beam device capable of appropriately processing stereo scopic detection data obtained from an electron microscope, three-dimensionally observing an image of a sample correctly and highly precisely, and measuring the three dimensional shape of the sample based on the observation.
電子顕微鏡から得られたステレオの検出データを適切に処理して、試料像を正確に精度よく立体観察可能とし、かつこれに基づき三次元形状計測を行うことができる電子線装置を提供する。 - 特許庁 - This scanning electron microscope is structured so that an ion detector for detecting an ion is disposed on the further electron source side than a first differential exhaust throttle to maintain prescribed vacuum in a sample chamber.
上記目的を達成するための構成として、試料室を所定の真空に維持するための第１の差動排気絞りより、電子源側にイオンを検出するためのイオン検出器を配置した走査電子顕微鏡を提案する。 - 特許庁 - To provide a negative resist composition which retains solubility in an alkali developer while improving dry etching resistance and resistance to an electron beam from a scanning electron microscope (SEM) and further has high resolution.
ドライエッチング耐性および走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）による電子線への耐性を向上させるとともにアルカリ現像液に対する溶解性を維持し、さらに高解像性を有するネガ型レジスト組成物を提供することを課題とする。 - 特許庁 - The electron microscope, with an image forming lens system to project electron beams transmitted through a sample to an image forming part and a TV detector to receive transmitted and projected electron beams at the image forming part, has a detection means to detect displacement between transmitted and projected electron beams and the TV detector, and a positioning means to position the transmitted electron beams and the TV detector based on the displacement information detected.
試料を透過した電子線を結像部に投影する結像レンズ系と、投影された透過電子線を結像部で受光するＴＶ検出器とを備えた電子顕微鏡において、投影された透過電子線とＴＶ検出器との間の位置ずれを検出する位置ずれ検出手段と、検出された位置ずれ情報に基づいて透過電子線とＴＶ検出器の位置合わせをする位置合わせ手段とを設けた。 - 特許庁 - To provide a pattern dimension measuring method capable of measuring a cross-sectional shape using a scanning charged particle microscope such as a STEM (Scanning Transmission Electron Microscope), as to a plurality of cross sections, by one time of sample preparation, and a system therefor.
ＳＴＥＭ等の走査型荷電粒子顕微鏡を用いた断面形状計測を１回のサンプル作成で複数の断面について行うことができるようにしたパターン寸法計測方法及びそのシステムを提供することにある。 - 特許庁 - The electron microscope is provided in which an excitation current or an impressing voltage to an objective lens or an acceleration cylinder for accelerating electron beams of the scanning electron microscope is cut off when the measuring object test piece is separated from underneath of the objective lens, or is made weak excitation compared with before separation for excitation current, or cut off or made to be lower voltage compared with before the separation for impressing voltage.
上記目的を達成するために、走査電子顕微鏡の対物レンズ、或いは電子ビームを加速するための加速円筒への励磁電流、或いは印加電圧を、測定対象試料を対物レンズ下から離間させたときに、励磁電流をオフ、或いは離間させる前に比べて弱励磁、又は印加電圧をオフ、或いは離間させる前に比べて低電圧とする電子顕微鏡を提案する。 - 特許庁 - To provide a method capable of simply and efficiently manufacturing various ultra-thin segments such as a sample for transmission type electron microscope (TEM) observation in a short time and at a low cost.
透過型顕微鏡（ＴＥＭ）観察用試料等をはじめとする各種超薄切片を、短時間、低コスト、簡便かつ効率的に製造し得る方法の提供。 - 特許庁 - To determine the exposure time for taking a picture of an image with an electron microscope without using a mechanism for measuring the brightness of an observed image on a fluorescent screen or the like.
蛍光板等の観察像の輝度を測定する機構を利用することなく、電子顕微鏡の観察像を写真撮影するための露光時間を決定する。 - 特許庁 - When a TEM (transmission electron microscope) image is photographed at each testpiece tilted angle, the image is photographed by changing the defocus amount Δf into a plurality of defocus amounts Δf_1, Δf_2, Δf_3.
各試料傾斜角度においてＴＥＭ像を撮影する際、デフォーカス量Δｆが複数のデフォーカス量Δｆ_１，Δｆ_２，Δｆ_３に変えられて像撮影が行われる。 - 特許庁 - To provide an electron microscope or the like of which images of a sample observed at different magnifications can be easily brought into connection with each other, capable of putting a mark on the area to be marked.
同じ試料を異なる倍率で観察した観察像において、相互の関連付けや領域のマーキングを容易に行える電子顕微鏡等を提供する。 - 特許庁 - To separate a specified portion from a semiconductor substrate by an FIB, and to form a sample fixed onto a mesh for a transmission electron microscope further into a thin piece of the sample, by the FIB.
半導体基板からＦＩＢにより特定箇所を分離し、透過型電子顕微鏡用メッシュに固定した試料をさらにＦＩＢにより試料薄片化できる。 - 特許庁 - To provide a linewidth measurement regulation method and a scanning electron microscope capable of preventing a measured result from being fluctuated even when changing a magnification, a scanning direction and a measuring instrument.
倍率、走査方向や測定装置を変更しても、測定結果の変動が生じない線幅測定調整方法及び走査型電子顕微鏡を提供すること。 - 特許庁 - To provide a charged particle beam device such as an electron scanning microscope to construct a three-dimensional image (stereoscopic image) from an image obtained by the beam inclination of a right/left disparity angle.
左右視差角分のビーム傾斜により得られる画像から立体画像（ステレオ画像）を構築する走査電子顕微鏡などの荷電粒子線装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a method of observing testpieces wherein charged amount of the observation position can be controlled stably to a desired one, and provide an electron microscope by which this can be realized.
観察箇所の帯電量を所望の帯電量に安定して制御することができる試料観察方法、及びそれを実現する電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To provide a sample-attaching and detaching mechanism of a sample- forming apparatus for an electron microscope which can safely and easily set or take out samples to a sample holder.
安全かつ容易に、試料ホルダへ試料をセット又は取り出すことが可能な電子顕微鏡用試料作成装置の試料着脱機構を提供することを課題とする。 - 特許庁 - In order to solve the problems, a device is proposed in which a prescribed treatment is carried out by a line as a unit (scanning line as a unit) when an image is processed in a scanning electron microscope.
上記課題を解決するために、走査電子顕微鏡の画像処理に際し、ライン単位（走査線単位）で所定の処理を実施する装置を提案する。 - 特許庁 - To provide an electron microscope capable of automatically detecting a defect and observing high resolution without requiring to specify a defect position by using an inspection device in advance.
予め検査装置を用いて欠陥位置を特定する必要なく、欠陥の検出及び高分解能観察を自動的に行うことのできる電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - APPARATUS FOR MEASURING CRYSTALLOGRAPHIC ORIENTATION RELATIONSHIP OF ADJACENT CRYSTAL GRAINS USING GONIOMETER OF TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE, AND METHOD OF EXAMINING CHARACTERISTICS OF GRAIN BOUNDARY USING THE SAME
透過電子顕微鏡のゴニオメ−タを利用した隣り合う結晶粒の結晶学的方位関係測定装置及びそれによる結晶粒界の特性の糾明方法 - 特許庁 - To provide a fine pattern measuring method which accurately measures a sidewall angle of a fine pattern from an image obtained by a scanning electron microscope.
走査型電子顕微鏡で得られる画像から微細パターンの側壁角度を精度良く測定することができる微細パターン測定方法を提供することを目的とする。 - 特許庁 - Accordingly, the minute object can be manufactured by coupling together two members, such as nano-tube probe in the correct positional relationship, while enlarged photographing takes place in the electron microscope device.
従って、電子顕微鏡装置内で拡大撮像しながら、ナノチューブプローブのように、２部材を正しい位置関係で相互に結合して微小物を製造できる。 - 特許庁 - To improve selectivity and image quality of sample information obtained from a secondary electronic signal in a method for observing structure and characteristics of a sample by an electron microscope.
電子顕微鏡による試料の構造や特性を観察する方法において、２次電子信号で得られる試料情報の選択性と画質を向上させる。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope which is of low cost, easy to use, and can make it sufficiently small in size as can be put on, for example, a table in a classroom.
安価で、使い易く、例えば教室のテーブル上に置くことのできる十分に小さな寸法とすることができる走査型電子顕微鏡を提供すること。 - 特許庁 - To provide a stage positioning control apparatus capable of suppressing oscillation or drift of a stage loading and holding a wafer and capable of shortening positioning time in positioning control of the stage in an electron microscope apparatus.
電子顕微鏡装置におけるステージの位置決め制御時において、ウェーハを搭載保持しているステージの振動やドリフトを抑えると共に、位置決め時間を短縮する。 - 特許庁 - To provide an electron microscope, a pressure control method, and a program allowing observation of a specimen, after a pretreatment by a glow-discharge digging unit, without contaminating the specimen.
グロー放電掘削部による前処理後の試料を汚染することなく観察することが可能な電子顕微鏡、圧力制御方法及びプログラムを提供する。 - 特許庁 - To provide a moon grid specialized for three-dimensional observation by a transmission electron microscope which can effectively obtain three-dimensional images without perfoming a separate mark-attachment process.
別途の標式付着工程を行なわないで効率的に３次元イメージを得ることができる透過電子顕微鏡３次元観察専用ムーングリッドを提供する。 - 特許庁 - Pattern data corresponding to a portion having a pattern formed thereon and background data corresponding to a background are detected from image data in an imaging area of an SEM(scanning electron microscope) 20.
撮像領域におけるＳＥＭ２０画像デ−タのうち、パターンが形成された部分に対応するパタ−ンデ−タおよび背景に対応する背景デ−タを検出する。 - 特許庁 - The charged-particle optical system 100, such as an electron microscope, has a vacuum chamber 102 with a space 104 for storing a specific one from among numerous specimens in operational use.
たとえば電子顕微鏡のような荷電粒子光学系(100)は、操作用に多数の試料のうちの特別な1つを収容するための空間(104)を備えた真空チャンバ(102)を有する。 - 特許庁 - To provide an operation by which a focus is not moved in a useful area of a sample or an observation field is not moved, when the sample is inclined in a transmission electron microscope.
透過型電子顕微鏡において、見本を傾斜させる時、見本の有益領域では焦点が動かない、または観測分野が動かない動作を提供する。 - 特許庁 - To observe the internal skeleton of a cell that has not been observed heretofore, such as a red corpuscle or a white corpuscle, by an electron microscope, while holding the shape of a membrane.
赤血球や白血球などのこれまで観察できなかった細胞の内部骨格を、膜の形状を保ったまま電子顕微鏡等で観察できるようにする。 - 特許庁 - To provide an electron microscope which can alleviate a burden inflicted on an operator in order to perform an appropriate observation, especially, to suppress contamination of a testpiece and contraction of pattern.
適切な観察を行うために、特に試料汚染及びパターン収縮を抑えるために、操作者にかかる負担を軽減することができる電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To provide a cartridge for an electron microscope in which anyone can surely set a test piece on a holder.
本発明は電子顕微鏡用カートリッジに関し、試料をだれでも確実にホルダに設定することができる電子顕微鏡用カートリッジを提供することを目的としている。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope and a sample observation method capable of obtaining a stable scanning image by sufficiently reducing the influence of charge-up of a sample surface.
試料表面のチャージアップの影響を十分に軽減し、安定した走査画像を得ることができる走査型電子顕微鏡及び試料観察方法を提供する。 - 特許庁 - To provide an image processing device capable of carrying out, in real time, preprocessing of an image, processing of the image, and displaying of its result, in an electron microscope.
電子顕微鏡における画像の前処理、画像処理及びその結果の表示をリアルタイムで実行することができる電子顕微鏡用画像処理装置を提供すること。 - 特許庁 - To make reduction in time for photographing images and high image quality photographing compatible in a scanning electron microscope for measurement, inspection, and defect review or the like of semiconductor wafers.
半導体ウェーハの測定、検査、欠陥レビュー用などの走査電子顕微鏡において、画像を撮像する時間の短縮と高画質撮像の両立を実現する。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope and a sample observation method capable of observing a sample with accuracy by making constant a potential of a conductive layer on a surface of the sample.
試料表面の導体層の電位を一定にして精度よく試料を観察することのできる走査型電子顕微鏡及び試料観察方法を提供すること。 - 特許庁 - To provide a sample holding member allowing high-resolution high-inclination observation small in deformation, in relation to a sample holding member for an electron microscope.
本発明は電子顕微鏡用試料保持部材に関し、変形の少ない高分解能高傾斜観察可能な試料保持部材を提供することを目的としている。 - 特許庁 - To provide a measurement method of sample, using an electron microscope which can carry out precise measurements of the size of feature structure of the sample.
オートフォーカスの失敗による影響を除去でき、試料の特徴構造の寸法を正確に測定し得る電子顕微鏡を用いた試料の寸法の測定方法を提供する。 - 特許庁 - To provide an electron microscope capable of arbitrarily setting a dark-field STEM, a bright-field STEM or a capturing angle of an EELS (a diffusion angle on a sample face).
暗視野ＳＴＥＭ，明視野ＳＴＥＭ、或いはＥＥＬＳの取り込み角（試料面上における散乱角）の任意設定を可能とする電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁
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