「electron microscope」を含む例文一覧(1821)
＜前へ 1 2 .... 20 21 22 23 24 25 26 27 28 .... 36 37 次へ＞- To provide a transmission electron microscope for highly efficiently and highly accurately correcting differences in electron energy-loss spectra between measuring positions on electron energy-loss spectral images formed of two axes of the amount of an energy loss and measuring position information.
エネルギー損失量と測定位置情報の二軸で形成される電子エネルギー損失スペクトル像について、各測定位置間での電子エネルギー損失スペクトルの相違点を高効率かつ高精度に補正する透過型電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - A separator 4 for separating an irradiated electron beam 101 and a reflected electron beam 102 of the mirror electron microscope is positioned between an objective lens 5 and an intermediate lens 8, and a restriction diaphragm 14 is positioned in a position 43 where the intermediate lens 8 projects an electron beam diffraction image of the reflected electron beam 102 formed in a focus position 41 of the objective lens 5.
ミラー電子顕微鏡の照射電子線１０１と反射電子線１０２を分離させるセパレータ４を対物レンズ５と中間レンズ８の間に配置し、反射電子線１０２の対物レンズ５の焦点位置４１に形成される電子線回折像が中間レンズ８により投影される位置４３に制限絞り１４を配置する。 - 特許庁 - The observation is performed by a scanning transmission electron microscope observation equipment equipped with a field emission electron gun, a convergence means to converge an electron ray emitted from the field emission electron gun onto a sample, a deflecting means to scan a convergence electron ray irradiating the sample, a projecting means to project a sample image, and a measuring means for a sample thickness.
電界放射型電子銃と、電界放射型電子銃から放射された電子線を試料に収束する収束手段と、試料を照射する収束電子線を走査する偏向手段と、試料像を投影する投影手段と、試料厚さ測定手段とを備える走査透過型電子顕微鏡観察装置を用いて観察を行う。 - 特許庁 - The information of the specimen holder is transmitted to the electron microscope by accessing the memory of the specimen holder mounted on the electron microscope, so that the user can use the spacemen holder without mistaking characteristics of the specimen holder and danger of erroneous recording of the specimen information can be reduced.
電子顕微鏡に装着された試料ホルダのメモリにアクセスすることにより試料ホルダの情報を電子顕微鏡へ送ることで、使用者は試料ホルダの特性を間違えることなく使用する事ができ、試料の情報を誤って記録する危険性を低減できる。 - 特許庁 - To provide an in situ observation system in a composite emission electron microscope capable of facilitating LEEM or XPEEM observation under a catalytic reaction condition by utilizing such a characteristic that an electron microscope forms the focal point in a specified position and putting an aperture having a small opening radius in this position.
電子顕微鏡が特定位置で焦点を結ぶことを利用し、その位置に開口半径の小さいアパーチャーを入れ、ＬＥＥＭやＸＰＥＥＭ観察を触媒反応条件下で容易に行えるようにした複合放出電子顕微鏡におけるその場観察システムを提供する。 - 特許庁 - To provide a sample cooling device for an electron microscope wherein an exclusive-use helium cooling stage for cooling the sample in the electron microscope to a very low temperature (several K) by liquid helium, and then observing and analyzing it can be also used at a low temperature (several tens of K) as another cooling temperature by the use of liquid nitrogen.
電子顕微鏡の試料を液体ヘリウムによって極低温（数Ｋ）に冷却して、観察、分析する専用ヘリウム冷却ステージを他の冷却温度として液体窒素による低温（数十Ｋ）でも使用できる電子顕微鏡の試料冷却装置を提供すること。 - 特許庁 - To minimize a gap of visual fields between an electron microscope image and an optical image in the first place, then to add color information obtained by an optical imaging device equipped with digital imaging functions to the electron microscope image in the second place, and then in the third place, to simplify a total device structure.
第一に電子顕微鏡画像と光学画像の視野のずれを最小限にすることであり、第二にデジタル映像機能を備えた光学画像装置により得た色情報を電子顕微鏡画像に付加することであり、第三に、装置の全体の構造を簡略化することである。 - 特許庁 - In the pitch-based carbon short fiber filler, a graphene sheet is closed at a filler end face when observed by a transmission electron microscope, while a surface observed by a scanning electron microscope is substantially flat, and the number average fiber length is 80 to 500 μm.
透過型電子顕微鏡によるフィラー端面観察においてグラフェンシートが閉じており、走査型電子顕微鏡での観察表面が実質的に平坦であるピッチ系炭素短繊維フィラーであり、個数平均繊維長が８０μｍ以上５００μｍ以下であることをピッチ系炭素短繊維フィラー。 - 特許庁 - Further, the foreign bodies are collected by a foreign body removing mechanism arranged on the sample conveying hand prepared between a scanning electron microscope body and the sample cassette so as not to bring the foreign bodies generated in the scanning electron microscope to a sample cassette or the like.
更に走査電子顕微鏡内で発生した異物を、試料カセット等に持ち込まないように、走査電子顕微鏡鏡体と試料カセットとの間に設けられた試料搬送用ハンドに設けられた異物除去機構によって、異物を回収する走査電子顕微鏡を提案する。 - 特許庁 - To provide a device having a small device scale, allocating surely a defect of an observation object into a visual field of an electron microscope or the like, concerning a device for observing minutely by the electron microscope or the like, a defect detected by an optical defect inspection device or an optical appearance inspection device.
光学式欠陥検査装置または光学式外観検査装置で検出した欠陥を電子顕微鏡等で詳細に観察する装置において、観察対象の欠陥を確実に電子顕微鏡等の視野内に入れることができ、かつ装置規模を小さくできる装置を提供する。 - 特許庁 - The sample stage comprises a mechanism for adjusting the direction of an overall stage system eucentrically adjusted and passing a rotating shaft through the center of the electron microscope, namely, an adjusting mechanism containing second spherical seat for adjusting the direction of mounting the whole stage eucentrically adjusted on the electron microscope.
ユーセントリック調整されたステージ系全体の方向を調整し、回転軸を電子顕微鏡中心に通す機構、すなわちユーセントリック調整されたステージ全体の電子顕微鏡への取りつけ方向を調整できる第２の球面座を含む調整機構を設ける。 - 特許庁 - When a pattern formed on a specimen is tested by using a scanned electron microscope, and optically aligning the specimen put on a specific position of the scanned electron microscope, light used for alignment is obliquely cast on the specimen and alignment is performed by using the obtained image information of the pattern.
走査型電子顕微鏡を用いて試料に形成されたパターンを検査において、試料を走査型電子顕微鏡の所定の位置に載置する光学的なアライメントを行う際に、アライメントに用いる光を試料に斜めから照射して、これにより得られたパターンの画像情報を用いて行う。 - 特許庁 - To provide a reference sample for element mapping of a transmission electron microscope, capable of being used for compensating results of SEM, EDS and EELS mappings of a multilayer nano thin film and capable of optimizing mapping conditions, and to provide an element mapping method for the transmission electron microscope using the reference sample.
多層ナノ薄膜のＳＥＭ ＥＤＳ、ＥＥＬＳマッピング結果を補正するのに利用可能で、マッピング条件を最適化させることができる、透過電子顕微鏡の元素マッピング用の標準試料およびそれを利用した透過電子顕微鏡の元素マッピング法を提供する。 - 特許庁 - By sending the information on the specimen holder 11 to the electron microscope by accessing the memory 303 of the specimen holder 11 mounted on the electron microscope, the user can use it without mistaking the property of the specimen holder, and the danger of accidentally recording the information on the sample can be reduced.
電子顕微鏡に装着された試料ホルダ１１のメモリ３０３にアクセスすることにより試料ホルダ１１の情報を電子顕微鏡へ送ることで、使用者は試料ホルダの特性を間違えることなく使用する事ができ、試料の情報を誤って記録する危険性を低減できる。 - 特許庁 - To realize a scanning electron microscope formed so that the position of a deflection supporting point of the electron beam always passes through the main surface position of an objective lens, even if the position of the lens main surface of the objective lens is changed.
対物レンズのレンズ主面の位置が変化しても、電子ビームの偏向支点の位置が常に対物レンズの主面位置を通るように構成した走査電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁 - The visual field of the transmission electron microscope is searched at a first magnifying power and sample stage coordinates to be recorded, designated on the transmitted electron beam image of a sample displayed in an image display section are calculated and stored (S13 and S14).
第１の倍率で視野探しを行い、画像表示部に表示された試料の透過電子線像上で指定された記録対象の試料ステージ座標を計算し、記憶する（Ｓ１３，Ｓ１４）。 - 特許庁 - To provide a data measuring method and a device of a tomograph, reducing an electron beam irradiation quantity to a sample, in the data measuring method and the device of the tomograph in a transmission type electron microscope.
本発明は透過型電子顕微鏡におけるトモグラフのデータ測定方法及び装置に関し、試料への電子線照射量を減らすことができるトモグラフのデータ測定方法及び装置に関する。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope capable of effectively detecting a reflected electron generated from a sample at a low angle while realizing a short focus distance and forming a sample image.
本発明は、短い焦点距離を実現しつつ、試料から低い角度で発生する反射電子を高率良く検出し、試料像を形成する走査形電子顕微鏡の提供を目的とする。 - 特許庁 - A top magnetic pole of an objective lens is electrically insulated against the part of the lens other than that for the top magnetic lens, and a scanning electron microscope with positive voltage applied accelerating a primary electron beam post-deflection is provided.
対物レンズの上磁極を、対物レンズの上磁極以外の残部に対し電気的に絶縁し、一次電子ビームを後段加速する正の電圧を印加する走査形電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - By adding a function of an optical mirror to the reflected electron detector, total structure of the device is simplified and can match the beam axis of the electron microscope with the optical axis of the optical imaging device.
反射電子検出器に光学ミラーの機能を付加することで装置の全体の構造を簡略化するとともに、電子顕微鏡のビーム軸と光学画像装置の光軸を一致させる。 - 特許庁 - In order to solve the problems, the scanning electron microscope is proposed that is equipped with a function in which device conditions are monitored based on information obtained in a state that electron beam does not reach a sample.
上記課題を解決するために、電子ビームを試料に到達させない状態で、得られた情報に基づいて、装置コンディションをモニタする機能を備えた走査電子顕微鏡を提案する。 - 特許庁 - To provide a negative resist composition which retains solubility in an alkali developer while improving dry etching resistance and resistance to an electron beam from a scanning electron microscope (SEM).
ドライエッチング耐性および走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）による電子線への耐性を向上させるとともにアルカリ現像液に対する溶解性を維持したネガ型レジスト組成物を提供することを課題とする。 - 特許庁 - By the above mechanism, a processing by using an ion beam, and observation of secondary electron image in optional direction through an electron microscope are made possible without taking out a fine piece of sample from the sample stand.
このような構成によれば、微小試料片を試料台から取り外すことなく、イオンビームによる加工および任意の方向からの二次電子像および電子顕微鏡観察が可能となる。 - 特許庁 - To obtain a photoemission electron microscope of which position alignment of an analysis portion and a photoelectron observation portion by an Auger electron spectral analysis on the test piece for obtaining a photoelectron observation image with high resolution is easy.
分解能の高い光電子観察画像を得るために、試料上で、オージェ電子分光分析による分析部位と光電子観測部位との位置合わせが容易な光電子顕微鏡装置を得る。 - 特許庁 - The common sample holder for a scanning electron microscope device and a focused ion beam device is set mountable on a scanning electron microscope device with an electron beam backscatter pattern measurement function and on a focused-ion beam device with a microsampling function, and enables a crystal orientation analysis and microsampling, without having to remount a sample.
走査型電子顕微鏡装置と集束イオンビーム装置との共用試料ホルダーは、電子線後方散乱パターン計測機能を有した走査型電子顕微鏡装置と、マイクロサンプリング機能を装備した集束イオンビーム装置とに装着可能で、試料の載せ替え作業をせずに結晶方位解析とマイクロサンプリング加工が可能であることを特徴とする。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope or a sample inspection method using the scanning electron microscope which is high in reliability of an element spectrum of a sample or accuracy of quantification thereof by means of suppression of a system peak by regulating an amount of electrons scattering on an objective lens diaphragm to control electrons which deviate from a main electron beam trajectory and are irradiated beyond analysis points.
本発明は対物レンズ絞り上で散乱する電子の量を制限し、主電子線軌道から外れ、分析点以外に照射される電子を制御することでシステムピークを抑制し、試料の元素スペクトルの信憑性または定量精度の高い走査電子顕微鏡または走査電子顕微鏡による試料検査方法を提供することである。 - 特許庁 - In electron irradiation observation from a normal direction on the surface of a wafer WF using a first column 8 of a scanning electron microscope; when it is determined that a defect is caused by releasing, an edge of the wafer WF is moved to an imaging position of the second column 16 of the scanning electron microscope by an XYθ stage 24, and the edge of the wafer WF is observed obliquely.
走査型電子顕微鏡の第一カラム８によるウェハWF表面の法線方向からの電子照射観察において、欠陥がはがれに起因すると判定される場合に、ＸＹθステージ２４によってウェハWFのエッジを走査型電子顕微鏡の第二カラム１６の撮像位置に移動し、斜方からウェハWFのエッジを観察する。 - 特許庁 - In a transmission electron microscope having a fluorescent plate 6 for image observing and a television camera 7, the transmission electron microscope comprises an electron beam detector 8 formed with a hole allowing the electron beam which is incident to the television camera 7, and a control means for controlling a shutter 4 based on the exposure time calculated from the exposure time of a film shot.
像観察用の蛍光板（６）とテレビカメラ（７）とを備えた透過型電子顕微鏡において、テレビカメラ（７）に入射する電子線（２）を遮断しない孔を形成した電子線検出器（８）と、電子線検出器（８）で測定した電子線量によりフィルム撮影時の露光時間を算出し、算出した露光時間に基づいてシャッター（４）を制御する制御手段（９）とを備えるようにしたものである。 - 特許庁 - Further, the electron microscope is equipped with a visual field deviation detection means judging existence of view field deviation, and a visual field correction means correcting the visual field.
更に、本発明によると、視野ずれの有無を判定する視野ずれ検出手段と、視野ずれを補正する視野ずれ補正手段と、を有する。 - 特許庁 - To provide a withstand voltage optical fiber resistant to deterioration in insulation, as well as being heavily insulated for an ultra-high voltage electron microscope and realize a manufacturing method thereof.
絶縁劣化を起こし難く、高耐圧を有する超高圧電子顕微鏡用耐圧光ファイバー及びその製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide an electron microscope structured so as to be able to effectively select magnifications often used from among many of those available for observation.
多くの観察可能な倍率から、頻繁に使う倍率のみを効率よく選択できるように構成した電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁 - To provide a length-measuring method of a scanning electron microscope wherein no error in measuring length takes place from the configuration of a sample or film kind, etc.
試料の構成や膜種等によって測長誤差の生じることのない走査形電子顕微鏡の測長方法を提供する。 - 特許庁 - An upper layer pattern and a lower layer pattern are subjected to pattern matching between SEM (Scanning Electron Microscope) images, to thereby generate an upper layer correlation map and a lower layer correlation map.
上層パターンと下層パターンをそれぞれSEM画像の間でパターン・マッチングを行ない、上層相関マップと下層相関マップを生成する。 - 特許庁 - This is related to the manipulator for an optical instrument, especially for a particle optical instrument, especially a lens stop manipulator in an electron microscope or a sample manipulator.
本発明は光学機器、特に粒子光学機器用マニピュレータ、特に電子顕微鏡における絞りマニピュレータまたは試料マニピュレータに関する。 - 特許庁 - To provide a dyeing agent for electron microscope observation which indicates a high dyeing property over a wide application range, is easy to handle and improves safety.
適用範囲が広く高い染色性を示し、取り扱いが容易で安全性の高い電子顕微鏡観察用染色剤を提供する。 - 特許庁 - To provide a method for preparing a sample for electron microscope observation suitably employed for observation of a fine structure of a steel material.
電子顕微鏡を用いた鉄鋼材料の微細構造の観察に適した電子顕微鏡観察用試料の作製方法を提供する。 - 特許庁 - To provide an electron microscope achieving such a function that the position of a crossover can be freely adjusted while potentials of an extraction electrode and an acceleration electrode are fixed.
電子顕微鏡に於いて、引出電極や加速電極の電位を固定のままでクロスオーバの位置を自由に調整できる機能を実現する。 - 特許庁 - To provide a three-dimensional image construction method and a transmission electron microscope in which a three-dimensional image with better image quality than conventional arts can be obtained.
従来よりも像質の良い３次元像像を得ることができる３次元像構築方法および透過電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To provide a sample producing device for an electron microscope, capable of drying a sample without damaging the shape of the sample containing moisture.
水分を含有する試料の形態を損傷せずに試料を乾燥させることができる電子顕微鏡用試料作製装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a length measuring method by a scanning electron microscope, capable of preventing a length measuring error from being generated by the constitution of a sample, a kind of film or the like.
試料の構成や膜種等によって測長誤差の生じることのない走査形電子顕微鏡の測長方法を提供する。 - 特許庁 - This scanning probe electron microscope 100 has a probe 101 removably mounted on a head 108 by a kinematic mounting technique.
走査型プローブ電子顕微鏡１００は運動学的取付け手法によりヘッド１０８内に取外し可能に取り付けたプローブ１０１を有する。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope digitally processing image signals obtaining the deepest depth of focus and the best resolution in accordance with observation magnification.
画像信号をデジタル処理する走査電子顕微鏡において、観察倍率に応じて最深の焦点深度と最良の分解能を得る。 - 特許庁 - To provide an electrode ring in which the extraction efficiency of secondary electrons emitted from a test piece is improved, and provide an electron microscope having the same.
試料より放出される２次電子の引き上げ効率を高めた電極リング及びこれを備えた電子顕微鏡を提供すること。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope capable of simply carrying out three-dimensional shape measurement without adding an exclusive device and with less changes.
専用の装置を付加することなく少ない変更で簡単に三次元形状計測を行うことができる走査電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - It is preferable that particulate iron having a particle diameter of ≥1 nm is not observed by microscopic observation with a transmission electron microscope (TEM).
好ましくは、透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）観察により、粒子径１ｎｍ以上の粒子状の鉄が観測されない多孔質構造体。 - 特許庁 - To provide a sample holder and a sample table that enable examination of the samples for examination, from many directions in the electron microscope.
電子顕微鏡内において観察対象となる試料を多方向から観察することができる試料ホルダーおよび試料台を提供する。 - 特許庁 - To provide a sample for tuning of a scanning electron microscope, and it manufacturing method, capable of accurately carrying out correction of an axis and an astigmatism.
軸や非点収差の補正を精度良く行うことができる走査型電子顕微鏡調整用試料及びその製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope which is capable of reducing a data capacity required to generate an observation image.
観察画像を生成するために必要なデータ容量を削減することのできる走査型電子顕微鏡を提供することを目的とする。 - 特許庁 - To provide a retrieval method of easily and quickly searching a desired electron microscope image from among a number of them.
多数の電子顕微鏡画像の中から所望の電子顕微鏡画像を容易に且つ迅速に検索するための検索方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a vacuum exhaustion device for electron microscope with small number of parts and simple structure, capable of reducing the cost.
本発明は、部品数が少なく、構造が簡単で低コスト化できる電子顕微鏡の真空排気装置を提供することを目的とする。 - 特許庁
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