「electron microscope」を含む例文一覧(1821)
＜前へ 1 2 .... 21 22 23 24 25 26 27 28 29 .... 36 37 次へ＞- When the crystal grain size of the sintered body is observed by a scanning electron microscope, the average crystal grain size is preferably 0.1 to 20 μm.
焼結体の結晶粒径を走査型電子顕微鏡で観察したとき、平均結晶粒径は０．１〜２０μｍであることが好ましい。 - 特許庁 - To provide an electron microscope for inspecting and processing an object having a microstructure, and a manufacturing method of the object having the microstructure.
微小化構造を有する物体を検査及び加工するための電子顕微鏡、微小化構造を有する物体の製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide an electron microscope which can always project TEM image correctly on a light-receiving face of a TV detector without monitoring by a fluorescent screen.
蛍光板でモニターしなくても、ＴＶ検出器の受光面にＴＥＭ像を常に正しく投影可能な電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To correct a drift of a focusing point position at a high speed in a scanning electron microscope having a function to observe featured objects on a sample.
試料上の特徴物を観察する機能を有する走査型電子顕微鏡において、合焦点位置のずれを高速に補正する。 - 特許庁 - To provide an operational amplifier capable of applying a high voltage and a large current and achieving stable and precise amplification and to provide a scanning electron microscope.
高電圧・大電流を扱うことができ、安定且つ精密な増幅が可能な演算増幅器、及び走査電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To provide an inspection method and a device using a scanning electron microscope capable of performing fine control of a probe accurately and simply.
探針の微細な制御を正確に簡単に行なうことができる走査電子顕微鏡を用いた検査方法および装置をを実現する。 - 特許庁 - The floating point execution unit may be used, for example, to accelerate pixel shading algorithms such as Fresnel and electron microscope effects.
浮動小数点実行ユニットは、例えば、フレネル効果および電子顕微鏡効果などのピクセル・シェーディング・アルゴリズムを促進するのに使用されるとよい。 - 特許庁 - To further reduce mechanical vibrations due to drive of a shutter device using a piezoelectric element for an actuator in a high performance transmission type electron microscope.
高性能透過型電子顕微鏡において、アクチュエータに圧電素子を用いたシャッタ装置の駆動による機械的振動をより減少させる。 - 特許庁 - Finally, by using an ion milling device, the observation part 14 is thinned to approximately several hundred nm, thus completing a sample for a transmission electron microscope.
最後にイオンミリング装置を用い、観察部分１４を数百ｎｍまで薄片化して透過型電子顕微鏡用の試料を完成させる。 - 特許庁 - To provide an analysis method of observing, with an electron microscopy, a specific matter itself observed with an optical microscope.
光学顕微鏡で観察された特定の物質それ自体を電子顕微鏡で観察することを可能とする分析方法を提案すること。 - 特許庁 - To provide an electron microscope capable of improving a magnetic shield function even in structure having an objective lens projected to a sample chamber space.
試料室空間に突き出た対物レンズを有する構造であっても、磁気シールド機能を高めることが可能な電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To provide an image processing method capable of reducing slimming of a sample, and of providing optimum image quality having high visibility, in a scanning electron microscope.
走査型電子顕微鏡において、試料のスリミングを低減し、視認性のよい最適な画質が得られる画像処理方法を提供する。 - 特許庁 - This electronic microscope having an electron source, an electronic lens and an electron beam deflecting unit, further comprises an electron beam pulsing means and an acoustic wave measuring means, the energy of electrons entering into the sample is 1000 eV or less, and the measurement and examination of the inside of the sample are performed on the basis of the scanning information of the electron beam and the information of the detected sound.
電子源、電子レンズ、電子線偏向器を有してなる電子顕微鏡装置において、さらに電子線パルス化手段、音波測定手段を備え、試料中に入射する電子のエネルギを１０００ｅＶ以下とし、電子線の走査情報と検出音の情報から試料内部の計測・検査をおこなう。 - 特許庁 - This tension testing device is attached to an inside of a scanning electron microscope mounted with a reflected electron detector, a test piece is tensioned while photographing a reflected electron image, and a change of a shape in a crystal grain appearing in the reflected electron image is measured to compute sequentially a strain amount in each crystal grain and a cross section with respect to a tensioned direction.
反射電子検出器を装着した走査電子顕微鏡内に引張り装置を取り付け、反射電子像を撮影しながら試験片を引張り、反射電子像に現れる結晶粒の形の変化を測定し、結晶粒毎の歪量及び引張り方向に対する断面積を逐次演算する。 - 特許庁 - A system for correcting electron energy-loss spectral images of the electron microscope provided with an electron spectrometer corrects spectra of electron energy-loss spectral images of a sample to be analyzed at each measuring position on the basis of differences between spectra at a reference position included in a reference spectral image and spectra except the reference position.
電子分光器を備えた電子顕微鏡の電子エネルギー損失スペクトル像の補正システムであって、基準スペクトル像に含まれる基準位置のスペクトル及び基準位置以外のスペクトルの相違点に基き、分析対象試料のエネルギー損失スペクトル像の各測定位置のスペクトルを補正することを特徴とする補正システム。 - 特許庁 - To highly accurately prevent a table of a sample stage used for an optical microscope and an electron microscope from inclining when the table of the sample stage is moved to a predetermined position in micron order.
光学顕微鏡や電子顕微鏡に使用される試料ステージのテーブルを所定位置にミクロン単位で移動させた際、テーブルが傾斜してしまうことを精度高く抑制することができるようにすることにある。 - 特許庁 - The polishing residues of the barrier metal layer 21 and the copper foil are inspected with a metallurgical microscope or a scanning electron microscope, and it is judged by thresholding the obtained images or a comparison between the images whether the polishing residues are left or not.
そしてバリアメタル層２１や銅膜の研磨残りを金属顕微鏡または走査型電子顕微鏡で検査し、得られた検査画像の２値化処理または画像比較によって研磨残りを判定する。 - 特許庁 - This electron microscope has an electron emitting negative electrode having a carbon nanotube, and an extraction device to cause field emission of an electron, and uses the carbon nanotube having an acute angle portion in an almost conic form at its tip part.
上記目的を解決する本発明の特徴は、カーボンナノチューブを有する電子放出陰極と、電子を電界放出させる引出装置とを有する電子顕微鏡であって、先端部に略円錐形状の鋭角部を有するカーボンナノチューブを用いる点にある。 - 特許庁 - A matrix computing part 66 calculates a vector indicating the electron microscope image of the sample by performing matrix computation based on the electron beam irradiation matrix and a vector representing time-series detection signals detected by the secondary electron detector.
行列演算部６６は、上記電子線照射行列と、上記２次電子検出器において検出された時系列の検出信号を表したベクトルとに基づいて行列演算を行うことによって、試料の電子顕微鏡画像を示すベクトルを算出する。 - 特許庁 - This microscope contains an electron gun 1 for irradiating an electron beam 13 to an article to be observed 11, such as a semiconductor wafer where a minute working pattern is formed, or the like, a throttle means 3, an optical means 2, and a voltage applying means 4.
微細加工パターンが形成された半導体のウエハーなどの被観察物１１に対し電子ビーム１３を照射する電子銃１と、絞り手段３と、光学手段２と、電圧印加手段４とを含んでいる。 - 特許庁 - In this mapping type electron microscope, an illuminating mirror cylinder 11 is disposed to have an angle of θ1 relative to an optical axis and an illuminating mirror cylinder 12 is disposed to have an angle of θ2 relative to the optical axis, these cylinders 11 and 12 emit electron beams to the center of a Wien filter 13.
照明鏡筒１１は光軸とθ１の角度、照明鏡筒１２は光軸とθ２の角度をなして設けられ、ウィーンフィルター１３の中心に向けて電子ビームを放出している。 - 特許庁 - To provide a transmission electron microscope and a sample observation method capable of detecting scattered electrons of a high scattering angle, without receiving restrictions due to the spherical aberrations of an electron lens and improving the depth resolution.
電子レンズの球面収差による制約を受けることなく高散乱角の散乱電子を検出し、深さ分解能を向上させることができる透過型電子顕微鏡及び試料観察方法を提供する。 - 特許庁 - To enable to detect a transmitted electron with a large scattering angle and to observe an STEM image of a high contrast according to a testpiece and a purpose, in a high-resolution scanning electron microscope having an in-lens type objective lens.
インレンズ形対物レンズを有する高分解能走査電子顕微鏡において、散乱角の大きな透過電子を検出できるようにし、試料や目的に応じた高コントラストのＳＴＥＭ像を観察する。 - 特許庁 - To provide an electron microscope with a practical monochromator which can increase the image resolution by monochromatizing the energy of an irradiation electron beam and reducing the diameter of a light spot while decreasing chromatic aberration.
照射電子ビームのエネルギーを単色化し、色収差を低減してスポット系を縮小することにより、像分解能を高めることのできる実用的なモノクロメータを備えた走査電子顕微鏡を提供することにある。 - 特許庁 - To provide an inspection device and method using a scanning electron microscope which detects an highly accurate electron beam image and excludes limitation of an AD conversion element for a low sampling rate as a subject matter.
高精度の電子線画像を検出すると同時に、その際問題となる低サンプリングレートに対するＡＤ変換素子の制約を排除した走査電子顕微鏡を用いた検査装置および検査方法を提供する。 - 特許庁 - To provide an electrode ring and an electron microscope capable of suppressing a variation in electric field distribution around the axial center of a hollow hole serving as a passage path of an electron beam and secondary electrons emitted from a sample.
電子ビーム及び試料から放出される２次電子の通過経路となる中空孔の軸中心まわりの電界分布のばらつきを抑えることのできる電極リング及び電子顕微鏡を提供すること。 - 特許庁 - To provide a transmission electron microscope with a scanned image observation function which can remarkably reduce deterioration of scanned image quality and resolution due to noises superposed on a deflecting current for scanning of electron beam.
電子ビームの走査のための偏向電流に重畳したノイズによる走査像の画質や分解能の劣化を、著しく軽減することができる走査像観察機能を有した透過電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁 - The electron beam apparatus or a transmission electron microscope comprises at least one specimen holder 8 having at least one holding element 18 and at least one identification unit 20.
本発明に係わる電子ビーム装置、特に透過電子顕微鏡は、試料を保持する少なくとも１つの保持要素（１８）及び少なくとも１つの識別ユニット（２０）を有する少なくとも１つの試料ホルダ（６）を具備する。 - 特許庁 - To provide a method of analyzing a spin polarization in an optical column of a mapping electron microscope or in a beam outgoing port back part of an electron spectrometer, and to provide a suitable system in which the above method is performed.
写像する電子顕微鏡の光学コラム内、または電子分光計のビーム出射口後部において、スピン偏極を分析するための方法と、その方法を実施するための適切なシステムを提供する。 - 特許庁 - To provide an electron beam microscope device having a scan control capable of improving throughput of the device by shortening the substantial scanning time without changing image acquisition condition at the time of electron beam scanning.
本発明の目的は、電子線走査時の画像取得条件を変えることなく実質走査時間を高速化し、装置のスループットを向上可能な走査制御を有する電子線顕微鏡装置提供することにある。 - 特許庁 - To provide a semiconductor reflection electron detector for a scanning electron microscope, capable of achieving compatibly between data analysis and collection efficiency of reflection electrons, and capable of improving performance in 3D measurement.
データ解析の向上及び反射電子の収集効率の向上を両立させ、且つ、３D計測の性能を改善することができる走査型電子顕微鏡用半導体反射電子検出器を提供する。 - 特許庁 - To solve the problem in which a conventional low-temperature electron microscope hardly spreads due to its high cost and a resulting high cost of low temperature observation of a biological specimen.
従来の低温電子顕微鏡はコストが嵩むことにより、生物試料の低温観察のコストもまた相対的に嵩むため、普及が難しい。 - 特許庁 - To provide a solid observation method and an electron microscope capable of totally and accurately evaluating an electronic device structure or the like with a three-dimensional structure.
３次元構造を持つ電子デバイス構造等を全体的且つ高精度に評価しうる立体観察方法及び電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To provide a specimen measurement method for simply manufacturing a specimen measured by using an electron microscope and facilitating specimen measurement, and to provide a specimen base material for measurement.
電子顕微鏡で測定する試料を簡易に作製でき試料測定が容易な試料測定方法及び測定用試料基材を提供すること。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope capable of efficiently detecting reflection electrons emitted by a sample at a small angle without degradation of resolution at the time of capturing a sample image.
試料像の取得時における分解能の低下をもたらすことなく、試料からの低角度放出反射電子の検出を効率良く行う。 - 特許庁 - The method further includes a step of then inspecting whether a non-through hole 13A which is not penetrating through the film 12, is generated or not by a scanning electron microscope.
次に、走査型電子顕微鏡により第１の絶縁膜１２を貫通していない未貫通孔部１３Ａが生じているか否かを検査する。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope capable of obtaining easily three-dimensional shape on the surface of a test piece, while preventing cost increase and large-sizing of the device.
コストアップと装置の大型化を防ぎなから、試料の表面の立体形状を容易に得ることができる走査電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To provide a transmission electron microscope in which a transmission image of a sample is displayed on a display in real time, and visual field deviation by sample drift is automatically corrected.
透過電子顕微鏡において、試料の透過像をディスプレイにリアルタイムに表示するとともに、試料ドリフトによる視野ずれの自動補正を行う。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope which obtains a high-resolution and high-contrast concavo-convex image of a sample surface.
本発明は、試料表面の高分解能かつ高コントラストな凹凸像を得ることを特徴とする走査型電子顕微鏡を提供するものである。 - 特許庁 - To provide an electron microscope capable of observation of a reaction process between a gas and a solid at atmospheric pressure.
本発明は電子顕微鏡に関し、大気圧での気体と固体の反応過程の観察が実現できる電子顕微鏡を提供することを目的としている。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope which is suitable for monitoring conditions of the device, without having to depend on the existence of electrostatic charges or sample tilting, or the like.
本発明の目的は、帯電や試料傾斜等の存在によらず、装置の状態をモニタするのに好適な走査電子顕微鏡を提供することにある。 - 特許庁 - The void ratio of the entire active material layer obtained by analyzing an electron microscope image of a cross section in the thickness direction of the active material layer 12 is 15 to 40%.
活物質層１２の厚み方向断面の電子顕微鏡像を画像解析して得られる該活物質層全体の空隙率が１５〜４０％である。 - 特許庁 - The resonance frequency of the dynamic vibration absorber is set so as to conform to a strong frequency observed at an installtion place of the electron microscope E.
この動吸振器の共振周波数は、当該電子顕微鏡Ｅの設置個所にみられる強い振動の周波数に一致するように設定されている。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope capable of obtaining a high-resolution and high-contrast concavoconvex image of a sample surface.
本発明は、試料表面の高分解能かつ高コントラストな凹凸像を得ることを特徴とする走査型電子顕微鏡を提供するものである。 - 特許庁 - In this sample table for the electron microscope, surface roughness of a surface is set to 0.05 to 1.0 μm in arithmetical mean roughness Ra stipulated in JIS B 0601.
表面の面粗さがＪＩＳ Ｂ ０６０１に規定される算術平均粗さ（Ｒａ）で０．０５〜１．０μｍとしてなる電子顕微鏡用試料台。 - 特許庁 - According to the present invention, since only one image taken with the electron microscope is basically necessary, a damage to the sample is reduced, and the process is performed in a short period of time.
本発明によると、基本的には電子顕微鏡で撮像する画像は一枚で済む為、試料損傷低減が図れ、また、短時間で処理できる。 - 特許庁 - To provide equipment which takes photos of element distribution and spectrum with high space resolution and high-energy resolution using a transmission type electron microscope having an energy filter.
エネルギーフィルタ式透過型電子顕微鏡を用いて、高空間分解能、高エネルギー分解能で元素分布やスペクトルを撮影する装置を提供する。 - 特許庁 - The optimum value is first found in operating the transmission electron microscope, and stored in a memory 11 connected to a computer 9.
この最適な値は、透過電子顕微鏡の操作を行う際に最初に求められており、コンピュータ９に接続されたメモリー１１に記憶されている。 - 特許庁 - To obtain a transmission electron microscope allowing anybody to correctly observe an image at a negative electrode tip (filament image) and allowing image observation after axis alignment to be easily restarted.
誰もが正確に陰極先端の像（フィラメント像）を観察でき、また、軸合わせ後の像観察も容易に再開しうる透過電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁 - An S is a sample cross-section desired to be obtained by an operator, in Fig. (c), and the sample cross-section S is observed thereafter by a scanning electron microscope or the like.
図９（ｃ）において、Ｓはオペレーターが得たかった試料断面であり、この試料断面Ｓは後で走査電子顕微鏡などで観察される。 - 特許庁
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