「electron microscope」を含む例文一覧(1821)
＜前へ 1 2 .... 19 20 21 22 23 24 25 26 27 .... 36 37 次へ＞- (4) It is confirmed that the ultra-thin isolation membrane having an unprecedented new structure and composition is formed by observing and analyzing images, electron diffraction diagrams and electron energy loss spectroscopy spectrums of the membrane by use of a transmission electron microscope.
４）本膜を透過型電子顕微鏡により像、電子回折図形および電子エネルギー損失分光法スペクトルを観察、解析し、従来にない新しい構造と組成を有する極薄単離膜が生成していることを確認する。 - 特許庁 - To provide a technique capable of restraining the charges generated by electron beam irradiation from accumulating in a measuring sample, in a probing device that uses an SEM (scanning electron microscope) as the observation means.
ＳＥＭを観察手段として用いるプロービング装置において、電子線照射により生じる測定試料への電荷の蓄積を抑制することのできる技術を提供する。 - 特許庁 - The electron energy spectrometer has such a correcting means, and the electron microscope is provided with such a spectrometer.
また、下流側の１２重極子レンズでは電子線が電子線エネルギー分光器に入射する角度と入射電子線のエネルギー広がりに関係する値の積に比例する収差を補正する。 - 特許庁 - To provide a differential pumping scanning electron microscope capable of easily carrying out maintenance and inspection of various parts of an electron-optical system and a differential pumping orifice easily making spin finishing of a pipe.
電子光学系の各部品及び差動排気用オリフィスの保守点検が容易に行え、またパイプの芯出しの容易な差動排気走査形電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - This application relates to this scanning electron microscope provided with a sample chamber, an electron detector disposed in the sample chamber, and a sample table disposed in the sample chamber and equipped with a sample holder.
本発明は、試料室と、試料室の中に配置された電子の検出器と、試料室の中に配置された、試料ホルダを備える試料台とを備える走査電子顕微鏡に関する。 - 特許庁 - The ITO particles, when observed using a transmission electron microscope, has an observed site having a relatively high transmittance of electron beams in part of the interior of the particle.
本発明のＩＴＯ粒子は、透過型電子顕微鏡を用いて観察した場合に、粒子内の一部に電子線の透過性が相対的に高い部位が観察されるものである。 - 特許庁 - To automatically execute adjustment of an electron beam entering into a monochromator and adjustment of an operating condition of the monochromator, in a scanning electron microscope equipped with the monochromator.
モノクロメータを備えた走査電子顕微鏡において、モノクロメータに入射する電子ビームの調整及びモノクロメータの動作条件の調整を自動的に行うことを可能にする。 - 特許庁 - To provide a sample preparing device for electron microscopes for observing a three-dimensional structure at a desired place in a finely machined semiconductor device, and to provide an electron microscope and its method.
微細に加工された半導体デバイス内の所望の箇所の３次元的構造を観察するための電子顕微鏡用試料作製装置、電子顕微鏡及びその方法を提供する。 - 特許庁 - To provide an electron optical system and an electron microscope capable of efficiently correcting positions of a diffraction image surface and a medium image surface when replacing samples.
試料を交換したときにおいて、回折像面と中間像面の位置修正を効率良く行うことのできる電子光学システム及び電子顕微鏡を提供することを目的とする。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope capable of determining an optimum scanning method which reduces deflection amounts of primary electron beams and secondary electrons, and obtaining a stable image.
走査型電子顕微鏡において、一次電子線や二次電子の偏向量が少なくなる最適な走査方法を決定して安定した画像を取得できるようにするものである。 - 特許庁 - To provide a magnetic field lens used for an electron gun of an electron beam device, particularly a probe-forming system (spot beam type electron beam aligner, electron microscope, etc.) which is suitable to an ultrahigh vacuum atmosphere, and can perform wabbling operation.
電子ビーム装置、特に大電流で小直径なビームが必要とされるプローブフォーミングシステム（スポットビーム型電子線露光装置、分析用電子顕微鏡など）の電子銃に使用する磁場レンズに関し、超高真空雰囲気に適合し、かつワブリング動作が可能な磁場レンズを提供する。 - 特許庁 - A cross section of a thin film layer of which the dimensions are previously known is processed into a mirror finished surface, image data of a scanning electron microscope image is obtained, and thereafter the performance evaluation of the scanning electron microscope is stably and quantitatively executed by using a means such as a frequency analysis or the like.
予め寸法の分かっている薄膜層の断面を鏡面加工し、走査形電子顕微鏡像の画像データを取得後、周波数解析等の手段を用いて、走査形電子顕微鏡の性能評価を安定かつ定量的に行う。 - 特許庁 - The electron microscope 5 for observing the defect detected by an optical defect inspection device is mounted with an optical microscope 6 for re-detecting the defect, and has a constitution where, when focusing of the optical microscope 6 is performed, a lighting position and a detecting position of the optical microscope 6 to a sample 1 are not changed.
光学式欠陥検査装置で検出した欠陥を観察する電子顕微鏡５において、欠陥を再検出する光学式顕微鏡６を搭載し、この光学式顕微鏡６の焦点合わせを行う時に、試料１に対して光学式顕微鏡６の照明位置と検出位置を変化させない構成とする。 - 特許庁 - The body fluid is blood or sputum, and a Raman spectroscopic microscope or a transmission electron microscope is used for a detection method to detect the particles accumulated on the phagocytes.
上記体液は血液または喀痰であることを特徴とし、検出方法はラマン分光顕微鏡や透過型電子顕微鏡を用いて、該食細胞に蓄積した上記粒子を検出する。 - 特許庁 - To observe a contact point with an observed sample satisfactorily with a scanning electron microscope by using a contact substance in a reaction container to come in contact with the observed sample in the scanning microscope.
本発明は、走査顕微鏡内で反応容器の接触物質を用いて被観察試料と接触させ、その接触場所を走査電子顕微鏡で良好に観察することを課題とする。 - 特許庁 - To reduce wrong operation of a user of an electron microscope on which a specimen holder can be mounted, and to facilitate management of information of a specimen.
試料ホルダを装着可能な電子顕微鏡の使用者の誤操作を低減するとともに、試料の情報の管理を容易にする。 - 特許庁 - To provide a method for fabricating a sample for a transmission electron microscope which easily fabricates the thin film sample with a desired cross section.
所望の断面を持つ薄膜試料を容易に作製することができる透過電子顕微鏡用試料の作製方法を提供する。 - 特許庁 - To suppress the height increase of a lens-barrel while maintaining the center face symmetry of an energy filter in an electron microscope provided with the energy filter.
エネルギーフィルタを備えた電子顕微鏡において、フィルタの中心面対称性を維持しつつ、鏡筒の高さの増大を抑制する。 - 特許庁 - To provide a stage mechanism in which a drift is small while being stopped, and to provide an electron microscope provided with the mechanism.
本発明は、停止時のドリフトが小さいステージ機構およびそれを備えた電子顕微鏡装置を提供することを目的とする。 - 特許庁 - The presence of water in a vacuum is the problem particularly with an apparatus for maintaining a part at a very low temperature such as a cryogenic electron microscope.
特に、極低温電子顕微鏡のような、部分が極低温に維持される機器にとって、真空内の水の存在は問題である。 - 特許庁 - To provide a technology of enabling to control charge of a testpiece in an electron microscope application device and a testpiece inspecting method.
電子顕微鏡応用装置および試料検査方法において、試料の帯電を制御することができる技術を提供する。 - 特許庁 - This application provides a method and device for acquiring a scanning electron microscope image without distortion by measuring and calibrating scanning distortion.
走査歪みを計測し、校正することで歪みの無い走査電子顕微鏡像を取得するための方法及び装置を提供する。 - 特許庁 - To reduce wrong operation of a user of an electron microscope on which a specimen holder can be mounted, and to facilitate the management of information of the specimen.
試料ホルダを装着可能な電子顕微鏡の使用者の誤操作を低減するとともに、試料の情報の管理を容易にする。 - 特許庁 - To allow various defects on a wafer to be quickly observed with high sensitivity in a defect observation method and a device for the same of a scanning electron microscope (SEM).
ＳＥＭの欠陥観察方法及びその装置において、ウェハ上の多様な欠陥を高速、高感度に欠陥を観察する。 - 特許庁 - To provide an electron microscope that can reduce the time for finding visual field.
本発明は電子顕微鏡に関し、視野探しに要する時間を短縮することができる電子顕微鏡を提供することを目的としている。 - 特許庁 - The known method includes using a scanning transmission electron microscope, and also using a scanned diffraction beam of the STEM.
知られた方法は、走査透過電子顕微鏡を使用することを伴うと共に、ＳＴＥＭの回折の走査されたビームを使用する。 - 特許庁 - To provide a scanning probe microscope provided with a mean measuring a dose of particle beam such as electron beam and ion beam.
電子ビームやイオンビーム等の粒子線の粒子線量を測定する手段を備えた走査形プローブ顕微鏡を提供すること。 - 特許庁 - This application may be composed as an additional module receivable particularly onto the sample table of a conventional scanning electron microscope.
本発明は、特に、従来式の走査電子顕微鏡の試料台の上で受容可能な追加モジュールとして構成されていてよい。 - 特許庁 - The scanning electron microscope 10 includes the image processor 4 for performing the pattern matching of a first image and a second image.
走査型顕微鏡１０は、第１の画像と第２の画像とのパターンマッチングを行なう画像処理装置４を含んで構成される。 - 特許庁 - To provide a sample exchanging device of a transmission electron microscope capable of simply and precisely mounting a sample cartridge on a sample holder.
簡単に正確に試料カートリッジを試料ホルダに取りつけることができる透過電子顕微鏡の試料交換装置を実現する。 - 特許庁 - To provide a mapping type electron microscope capable of suppressing the distortion aberration in a wide field of view and observing a sample with a high resolution.
広視野での歪曲収差を抑えることができ、高分解能で試料を観察できる写像型電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope that is adapted to obtain an image removed of image disorder influences due to disturbances by means of simple measures.
簡単な手段で、外乱による像障害の影響を除去した像を得るのに適した走査電子顕微鏡を提供すること。 - 特許庁 - A detection signal is sent to a monitor 23, and subsequently a scanning electron microscope image is displayed on an image display area.
検出信号は、モニター２３に供給され、その結果、像表示領域には、走査電子顕微鏡像が表示されることになる。 - 特許庁 - To actualize a method for preventing contamination and breakage in a contrast enhancing element in centering an optical element in a transmission electron microscope.
透過型電子顕微鏡おいて、光学素子をセンタリングする際にコントラスト向上素子の汚染や損傷を防止する方法の実現。 - 特許庁 - It is also possible to allocate a device equipped with performance necessary for each process using the scanning electron microscope.
走査型電子顕微鏡を用いる各工程に対し、その工程に必要な装置性能を備えた装置を割り当てることも可能となる。 - 特許庁 - The obtained regenerated hydrotreatment catalyst is observed through a transmission electron microscope and whether the regenerated hydrotreatment catalyst is suitably reused is judged.
得られた再生処理後の触媒について、透過型電子顕微鏡による観察を行い、触媒の再利用の適不適を判定する。 - 特許庁 - To provide an astigmatism correction device capable of also correcting three times astigmatism without increasing size of electron microscope etc.
電子顕微鏡等のサイズを大きくすることなく３回非点収差も補正することができる非点収差補正装置を提供する。 - 特許庁 - The downsized electron microscope uses a removable sample holder which has a wall to form a part of a vacuum region where a sample exists.
小型の電子顕微鏡が、サンプルが存在する真空領域の一部を形成する壁を有する取外し可能なサンプルホルダを使用する。 - 特許庁 - PREPARATION OF SAMPLE FOR TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE OF GaAs, GaN-BASED COMPOUND SEMICONDUCTOR AND LAMINATED STRUCTURE ANALYSIS BY USING IT
ＧａＡｓ、ＧａＮ系化合物半導体の透過電子顕微鏡用試料の作製方法及びそれを用いる積層構造解析法 - 特許庁 - To realize an image display method of a scanning electron microscope capable of quantitatively observing the state of unevenness of the surface of a sample.
試料表面の凹凸の状態を定量的に観察することができる走査電子顕微鏡の像表示方法を実現する。 - 特許庁 - In a detector system for a transmission electron microscope, during an image acquisition period, image data is read out from a pixel and is analyzed.
透過型電子顕微鏡の検出器システムにおいて、画像取得期間の間に、画像データがピクセルから読み出され、分析される。 - 特許庁 - To carry out in a high accuracy the adjustment of axes between the irradiation lens system and imaging lens system of an electron microscope.
本発明は、電子顕微鏡の照射レンズ系と結像レンズ系との軸調整を高精度に行うことを目的とするものである。 - 特許庁 - To interrupt length measurement by detecting that a sample carrying mechanism of a scanning electron microscope including a vacuum exhaust system is in operation.
真空排気系を含む走査電子顕微鏡の試料搬送機構が稼働中であることを検出して測長を中断する。 - 特許庁 - Thereby the total distortion aberration of mapping type electron microscope becomes small, and the sample can be observed with high resolution.
これにより、写像型電子顕微鏡全体として歪曲収差が小さくなり、高分解能で試料を観察することができる。 - 特許庁 - To provide a transmission electron microscope having a phase plate and a phase plate lens system by which a high quality of image can be obtained stably.
高い像質を安定して得ることができる位相板と位相板用レンズシステムを備えた透過電子顕微鏡を提供すること。 - 特許庁 - The method is especially suitable for use in a particle optical device including a scanning electron microscope column (20) and a converging ion beam column (10).
本方法は、とりわけ、走査電子顕微鏡カラム(20)と集束イオンビームカラム(10)とを備えた、粒子光学装置での使用に最適である。 - 特許庁 - ENERGY SPECTRUM MEASURING DEVICE, ELECTRONIC ENERGY LOSS SPECTROSCOPE, ELECTRON MICROSCOPE HAVING THIS DEVICE AND ELECTRONIC ENERGY LOSS SPECTRUM MEASURING METHOD
エネルギースペクトル測定装置，電子エネルギー損失分光装置、及びそれを備えた電子顕微鏡、及び電子エネルギー損失スペクトル測定方法 - 特許庁 - Hillier was also involved in developing techniques for specimen preparation, which allowed broader applications of the electron microscope.
Hillierは、試料作製用の技法の開発にも携わり、(開発された)試料作製法は電子顕微鏡のより幅広い応用を可能にした。(IEEE) - 科学技術論文動詞集 - To realize a method for regulating an electron microscope which can bring forward a degree of skill level of a beginner microscope by improving operability of the microscope by decreasing a regulating work by a complicated knob operation and increasing an operation by a computer.
煩わしいつまみの操作による調整作業を減少させ、コンピュータによる操作を増やすことによって電子顕微鏡の操作性を向上させ、また初心者の電子顕微鏡の習熟度を早めることができる電子顕微鏡の調整方法を実現する。 - 特許庁 - The scanning electron microscope 1 is provided with an electron gun 2 in which a metal film, a carbon film, a diamond film, and a diamond-like carbon film which transmit accelerating electrons and can endure the atmosphere are provided at the electron gun window 35, and a sealed container 33 is maintained in vacuum.
電子銃窓３５に加速電子を透過し大気に耐える金属膜、炭素膜、ダイヤモンド膜、ダイヤモンドライクカーボン膜を設け、密封容器３３内が真空に保たれる電子銃２を備える走査型電子顕微鏡装置１とする。 - 特許庁
- 特許庁
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