「electron microscope」を含む例文一覧(1821)
＜前へ 1 2 .... 16 17 18 19 20 21 22 23 24 .... 36 37 次へ＞- To establish a method for analyzing materials in a microcapsule by a transmission electron microscope by manufacturing a sample for observation capable of observation by a transmission electron microscope from a sample containing the microcapsule.
マイクロカプセルを含む試料から、透過型電子顕微鏡による観察が可能な観察用試料を作製することにより、マイクロカプセル内の材料を透過型電子顕微鏡により解析する方法を確立すること。 - 特許庁 - A transmission electron microscope 5 photographs a three-dimensional shape of the surface 12a of the static bio cells and that of a static organic sample 11, after photographing by the reflection electron microscope 4.
透過型電子顕微鏡５は、反射型電子顕微鏡５による撮影終了後に、静止したバイオセル１２の表面１２ａの三次元形状と、静止した生体試料１１の三次元形状を撮影する。 - 特許庁 - To provide a sample coating method of an electron microscope capable of performing the conductive treatment of an insulating sample by a simple constitution, concerning the sample coating method of the electron microscope.
本発明は電子顕微鏡の試料コーティング方法に関し、絶縁試料の導電性処理を簡易な構成で行なうことができる電子顕微鏡の試料コーティング方法を提供することを目的としている。 - 特許庁 - METHOD OF FORMING TENSIONED AERIAL WIRING, CHARGED PARTICLE BEAM PRISM AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, OBSERVING METHOD USING INTERFERENCE FRINGE OF CHARGED PARTICLE BEAM, AND ELECTRON MICROSCOPE AND METHOD OF FORMING INTERFERENCE FRINGE IN ELECTRON MICROSCOPE
緊張化した空中配線の形成方法、荷電粒子線プリズムとその製造方法、荷電粒子線の干渉縞を用いた観察方法、電子顕微鏡および電子顕微鏡における干渉縞の形成方法 - 特許庁 - To provide a downsized and highly efficient/highly functional detector to achieve downsizing of the detector, equipping of an energy filter mechanism, and equipping of a secondary electron/reflected electron selection mechanism or the like in detecting the secondary electron and the reflected electron in an electron beam application device such as a scanning electron beam microscope.
本発明は走査電子顕微鏡など電子線応用装置において二次電子および反射電子の検出において検出器の小形化、エネルギーフィルタ機構の装備、二次電子/反射電子選別機構の装備などを実現し小形で高効率/高機能の検出器を提供することを目的とするものである。 - 特許庁 - To provide an electron microscope, capable of automatically adjusting an optical axis even when the optical axis deviates to the extent that an electron beam position cannot be confirmed on a fluorescent plate after the exchange of a electron source.
電子源の交換後、蛍光板上で電子線の位置を確認することができないような光軸のずれがある状態でも光軸の自動調整が可能な電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - This photoemission electron microscope is equipped with an ion source or an electron beam source for marking by irradiating a focused ion beam or an electron beam to a part close to an observation portion on the sample surface.
収束イオンビームまたは電子ビームを試料表面の観察部位の直近に照射してマーキングするためのイオン源または電子線源を備えたことを特徴とする光電子顕微鏡。 - 特許庁 - In this way, since a transmission electron image is obtained by the electron beam scanning at searching for the visual field as for this invention of the electron microscope, the magnetized state remains unchanged from searching for the visual field up to the photographing time.
このように、本発明の電子顕微鏡においては、視野探しの時に電子線を走査させて透過電子像を得ており、視野探しから撮影にかけて集束レンズの励磁状態は変化しない。 - 特許庁 - To properly offset external disturbance by correcting deflection of a primary electron without impairing original operability of a scanning electron microscope even when changing a converging condition of an electron lens.
電子レンズの収束条件を変化させた場合にも，走査電子顕微鏡本来の操作性を損なうことなく一次電子の偏向を補正して外部擾乱の相殺が適切に行えることを目的とする。 - 特許庁 - Alternatively, an inert gas can be injected into the scanning electron microscope at the point where the electron beam impinges the specimen to neutralize a charge build-up on the specimen by the ionization of the inert gas by the electron beam.
あるいは、非活性ガスは、電子ビームが標本に当たる点で走査電子顕微鏡に注入されて、電子ビームによる不活性ガスのイオン化によって標本上の電荷蓄積を中和化し得る。 - 特許庁 - To provide an observation technology by a phase retrieval type electron microscope, making the intensity distribution of a parallel electron beam with a microscopic diameter in measuring a real image and an electron diffraction pattern bright and uniform.
実像と電子回折像を測定する際の微小径かつ平行な電子線を、明るくかつ均一な強度分布にする位相回復方式の電子顕微鏡による観察技術を提供する。 - 特許庁 - To realize a control method of an electron beam in a transmission type electron microscope which enables such a control that an electron beam can be focused in the optimal range irrespective of a photographing position.
写真撮影位置にかかわらず、最適な領域で電子ビームの焦点合わせ等の調整動作を行うことができる透過型電子顕微鏡における電子ビーム調整方法を実現する。 - 特許庁 - The pitch-based carbon short fiber filler has >10 to ≤40 μm average fiber diameter (L1) observed under an optical microscope, a closed graphene sheet in observation of a filler end face under a transmission type electron microscope, and a substantially flat surface observed under a scanning electron microscope.
光学顕微鏡で観測した平均繊維長（Ｌ１）が１０μｍ以上４０μｍ以下であって、透過型電子顕微鏡によるフィラー端面観察においてグラフェンシートが閉じており、走査型電子顕微鏡での観察表面が実質的に平坦であるピッチ系炭素短繊維フィラー。 - 特許庁 - The pitch-based carbon short fiber filler has a mean fiber length (L1) of 40 μm or more but less than 80 μm observed with an optical microscope, a closed graphene sheet by filler end face observation with a transmission electron microscope, and a substantially flat surface observed with a scanning electron microscope.
光学顕微鏡で観測した平均繊維長（Ｌ１）が４０μｍ以上８０μｍ未満であって、透過型電子顕微鏡によるフィラー端面観察においてグラフェンシートが閉じており、走査型電子顕微鏡での観察表面が実質的に平坦であるピッチ系炭素短繊維フィラー。 - 特許庁 - To provide a carbon nanotube film composite structure, a method for manufacturing the same, and a transmission electron microscope grid.
カーボンナノチューブフィルム複合構造体及びその製造方法、透過型電子顕微鏡グリッドを提供する。 - 特許庁 - To provide a dual beam system capable of operating an ion beam while feeding a current into a scanning electron microscope (SEM) lens.
ＳＥＭレンズに電流を流しながらイオン・ビームを操作することのできる二重ビーム装置を提供すること。 - 特許庁 - To provide a method and a device for generating a three dimensional tomographic image in a scanning electron microscope system.
走査型電子顕微鏡システムにおける３次元トモグラフィ・イメージ生成のための方法と装置を提供する。 - 特許庁 - When the cross section is exposed, a scanning electron microscope is used for measuring dimensions of the feature.
各断面が暴露される際、フィーチャの該当寸法を測定するために、走査電子顕微鏡が使用される。 - 特許庁 - To provide a sample holder for an electron microscope, which can reduce a drift due to the heat of a sample.
試料の熱によるドリフトを軽減させることができる電子顕微鏡用試料ホルダを提供すること。 - 特許庁 - To provide a sample processing device capable of making a suitable sample for observation by a transmission electron microscope.
透過電子顕微鏡の観察に適した試料を作製することができる試料加工装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a transmission electron microscope allowing a continuous visual field image avoiding influence of aberration to be photographed.
収差の影響を回避した連続視野像を撮影することができる透過型電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To provide a double beam apparatus for operating an ion beam while feeding a current into a scanning electron microscope (SEM) lens.
ＳＥＭレンズに電流を流しながらイオン・ビームを操作することができる二重ビーム装置を提供すること。 - 特許庁 - PHOTOEMISSION ELECTRON MICROSCOPE SUPPRESSING CHARGING OR POTENTIAL STRAIN OF INSULATOR SAMPLE, AND SAMPLE OBSERVATION METHOD
絶縁物試料の帯電又は電位歪みを抑制した放射電子顕微鏡装置及び試料観察方法 - 特許庁 - SAMPLE TREATMENT APPARATUS FOR ELECTRON MICROSCOPE, SAMPLE HOLDER FOR THE SAME, AND METHOD OF MAKING OBSERVATIONS UNDER THE SAME
電子顕微鏡用試料処理装置および電子顕微鏡用試料ホルダ、並びに、電子顕微鏡観察方法 - 特許庁 - To provide a transmission electron microscope allowing a small sample having small absorption contract to be observed as a three-dimensional image.
吸収コントラストの小さい試料を３次元画像として観察可能とする透過型電子顕微鏡を得る。 - 特許庁 - To provide a stage mechanism for an electron microscope low in vibration, small in drift, and capable of executing accurate positioning.
低振動でドリフトが小さく高精度の位置決めを行える電子顕微鏡用ステージ機構を実現する。 - 特許庁 - To improve the operability of an electron microscope by enabling focusing with a desired magnification without any stoppage.
所望倍率におけるフォーカス合わせを支障なく行えるようにして電子顕微鏡の操作性を向上させる。 - 特許庁 - METHOD FOR ADJUSTING SCALE BAR OF ELECTRON MICROSCOPE USING PERIODICAL WAVEFORM ON VERTICAL SIDE WALL OF PHOTO RESIST LAYER
フォトレジスト層の垂直側壁上の周期的な波形を用いた電子顕微鏡のスケールバー調整をする方法 - 特許庁 - To provide an electron microscope and its operation method capable of providing additional information on an inspected object.
検査された物体上の付加情報を得ることが可能な、電子顕微鏡及びその操作方法を提供する。 - 特許庁 - ANALYZER USED WITH ELECTRON MICROSCOPE APPARATUS, AND SECOND ANALYZER USED WITH FIRST ONE
電子顕微鏡装置と共に用いる分析装置、及び、第１の分析装置と共に用いる第２の分析装置 - 特許庁 - To provide a scanning transmission electron microscope comprising an energy analyzer, which is provided with an annular detector.
エネルギーアナライザを備える走査透過型の電子顕微鏡であって、アニュラ検出器を備えるものを提供する。 - 特許庁 - LIQUID/GAS ENVIRONMENT PROVIDING DEVICE WHICH CAN BE COMBINED WITH SAMPLE CHAMBER OF ELECTRON MICROSCOPE AND CAN BE APPLIED FOR OBSERVATION
電子顕微鏡の試料室と結合しかつ観察に適用可能である液体・気体環境提供装置 - 特許庁 - To provide a means for detecting a position of focus accurately in an scanning electron microscope.
走査型電子顕微鏡において、焦点位置を的確に検出することができる手段を提供することにある。 - 特許庁 - COMPOSITE CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS, SAMPLE PROCESSING METHOD USING IT AND SAMPLE MANUFACTURING METHOD FOR TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE
複合荷電粒子ビーム装置、それを用いた試料加工方法及び透過電子顕微鏡用試料作製方法 - 特許庁 - To provide a scanning transmission type electron microscope capable of stably observing a clear image which is reproducible at high magnification.
高い倍率で安定して再現性の良い鮮明な走査透過型電子顕微鏡像の観察を可能にする。 - 特許庁 - STANDARD MEMBER FOR CALIBRATION, ITS MANUFACTURING METHOD AND SCANNING ELECTRON MICROSCOPE USING STANDARD MEMBER FOR CALIBRATION
校正用標準部材およびその作製方法、並びに校正用標準部材を用いた走査電子顕微鏡 - 特許庁 - To achieve a high-speed sample replacement with an electron microscope for inspecting and observing silicon wafer for semiconductors.
半導体用のシリコンウェハを検査観察する電子顕微鏡において試料交換の高速化を実現する。 - 特許庁 - To provide a scanning method for a scanning electron microscope improving degradation of length measuring precision by shrink of a sample.
試料のシュリンクによる測長精度の低下を改善する走査電子顕微鏡の走査法を提供する。 - 特許庁 - ELECTRON MICROSCOPE FOR INSPECTING AND PROCESSING OBJECT HAVING MICROSTRUCTURE, AND MANUFACTURING METHOD OF THE OBJECT
微小化構造を有する物体を検査及び加工するための電子顕微鏡、並びに、当該物体の製造方法 - 特許庁 - SCANNING ELECTRON MICROSCOPE AND REPRODUCIBILITY EVALUATION METHOD AS DEVICE IN THE SAME
走査型電子顕微鏡装置及び走査型電子顕微鏡装置における装置としての再現性能評価方法 - 特許庁 - To provide an electron beam microanalyzer having a means for observing the surface of a sample in place of an optical microscope.
光学顕微鏡に代わる試料表面の観察手段を有した電子線マイクロアナライザを提供する。 - 特許庁 - ELECTRON MICROSCOPE, ITS SYSTEM, AND DIMENSION MEASURING METHOD USING THEM
電子顕微鏡装置およびそのシステム並びに電子顕微鏡装置およびそのシステムを用いた寸法計測方法 - 特許庁 - The focused ion beams are emitted to make the transmission type electron microscope plane-observed semiconductor thin sample.
集束イオンビームを照射して透過型電子顕微鏡平面観察用半導体薄片試料を作製する。 - 特許庁 - To provide an electron emitting cathode, capable of attaining a high luminance due to low electron affinity while sufficiently ensuring heat radiation performance, and reducing the energy width by reducing heating temperature, to provide an electron microscope, and to provide an electron beam exposing machine provided with the electron emitting cathode.
放熱性を十分に確保しつつ、電子親和力が低いことにより、高輝度を達成するとともに加熱温度を抑えてエネルギー幅を抑制することが可能な電子放射陰極、当該電子放射陰極を備えた電子顕微鏡および電子ビーム露光機を提供する。 - 特許庁 - Of the electron source used for an electron-optical equipment, such as, electron microscope and electron-beam lithographic apparatus, an electron-emitting section part consists of a surface-layer part and a base material part, of which the surface-layer part is of transition metal carbide, and the base material part is made of diamond single crystal.
電子顕微鏡、電子ビーム描画装置等の電子光学機器に使用される電子源であって、電子放出部分は表層部と基材部からなり、該表層部は遷移金属炭化物であり、該基材部はダイヤモンド単結晶であることを特徴とする電子源により解決される。 - 特許庁 - The electron microscope main body part 1 composed of an electronic gun part 2 and a microscope tube 3 is placed on a pedestal cabinet 24, and its surrounding is sealed and surrounded by the cover part 6.
電子銃部２や鏡筒３からなる電子顕微鏡本体部１は架台筐体２４上に載置されており、その周りがカバー部６で密閉上に囲まれている。 - 特許庁 - To provide an observation device capable of quickly specifying an observation position in case of a change from observation with an optical microscope into observation with an electron microscope.
光学顕微鏡による観察から電子顕微鏡による観察に切り換える場合に、観察位置を速やかに特定することができる観察装置を提供する。 - 特許庁 - To provide an image luminance adjustment method in a transmission electron microscope that enables the acquisition of image data at the optimum luminance with the same optical conditions as those of transmission electron microscopes, regarding an image luminance adjustment method and system in a transmission electron microscope.
本発明は透過電子顕微鏡における画像の輝度調整方法及びシステムに関し、透過電子顕微鏡の光学条件は同一のまま、最適な輝度で画像データを取得することができる透過電子顕微鏡における画像の輝度調整方法を提供することを目的としている。 - 特許庁 - To provide a sample-manufacturing method of a transmission electron microscope, capable of suppressing the deformation of a sample caused by the shrinkage of the low dielectric constant interlaminar insulating film of a semiconductor device, at observation due to the transmission electron microscope.
透過型電子顕微鏡による観察時における、半導体デバイスの低誘電率層間絶縁膜の収縮による試料の変形を抑制することが可能な透過型電子顕微鏡の試料作製方法を提供する。 - 特許庁 - To arrange an electron microscope and a sample so that the distance therebetween is optimum, in a device which prepares a thin sample by focused ion beam for use in observation by a transmission electron microscope (TEM) and removes a damaged layer on the sample surface using a gaseous ion beam at a low acceleration voltage.
集束イオンビームでＴＥＭ観察用の薄片化試料を作製し、低加速電圧の気体イオンビームで試料表面のダメージ層を除去する装置において、電子顕微鏡と試料とを最適な距離に配置すること。 - 特許庁
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