「electron microscope」を含む例文一覧(1821)
＜前へ 1 2 .... 12 13 14 15 16 17 18 19 20 .... 36 37 次へ＞- To provide an electron microscope or the like in which image observation conditions to obtain an optimum picture quality can be set easily even if a user is inexperienced in operation of the electron microscope.
電子顕微鏡の操作に不慣れなユーザであっても最適な画質を得るための像観察条件を容易に設定することができる電子顕微鏡等を提供する。 - 特許庁 - By the invention, the high-luminance and high-resolution electron microscope and the electron beam drawing device can be obtained.
また、各電子線放出素子を用いて電子銃，電子顕微鏡及び電子線描画装置とすることを特徴とする。 - 特許庁 - SCANNING ELECTRON MICROSCOPE, PATTERN MEASURING METHOD USING THE SAME, AND APPARATUS FOR CORRECTING DIFFERENCE BETWEEN SCANNING ELECTRON MICROSCOPES
走査型電子顕微鏡及びそれを用いたパターン計測方法並びに走査型電子顕微鏡の機差補正装置 - 特許庁 - To provide an XY stage for an electron microscope with little disturbance of electron beams by magnetic force lines, though of high speed.
高速でありながら、磁力線による電子ビームの擾乱が少ない電子顕微鏡用ＸＹステージを実現する。 - 特許庁 - An electron beam transmitting through an object 5 to be analyzed in this scanning transmission electron microscope enters the element mapping device.
走査透過型電子顕微鏡装置で分析対象物（５）を透過した電子線は元素マッピング装置に入射する。 - 特許庁 - An electron beam energy analyzer (energy filter) 11 is installed to a scanning transmission type electron microscope to observe an electron beam energy loss spectrum and an element distribution image.
走査透過型の電子顕微鏡に電子線エネルギー分析装置（エネルギーフィルタ）１１を備え、電子線エネルギー損失スペクトルや元素分布像を観察する。 - 特許庁 - ELECTRON BEAM RADIATING DEVICE, AND ELECTRON BEAM DEPICTING DEVICE, SCAN-TYPE ELECTRON MICROSCOPE, AND POINT LIGHT SOURCE-TYPE X-RAY RADIATING DEVICE USING IT
電子ビーム照射装置およびこの電子ビーム照射装置を用いた電子ビーム描画装置、走査型電子顕微鏡、点光源型Ｘ線照射装置 - 特許庁 - To provide electron beam devices such as a scanning electron microscope and an electron beam drawing device wherein influences of an atmospheric pressure fluctuation and a low-frequency sound are eliminated.
大気圧の変動、低周波音による影響を除去した走査電子顕微鏡や電子ビーム描画装置等の電子ビーム装置を実現する。 - 特許庁 - To provide an electron gun capable of obtaining electron beams with high luminance and high stability used for an electron-beam equipment and a vacuum tube, especially, an electron microscope.
電子線及び電子ビーム機器や真空管、特に、電子顕微鏡に使用される、高輝度高安定性を有する電子ビームが得られる電子銃を提供することを課題とする。 - 特許庁 - To provide an electron-emitting element capable of long-term stabilization of an emission current at a high yield, an electron gun, an electron microscope device and an electron beam patterning device using it.
エミッション電流の長期的な安定化が可能で、高歩留まりな電子放出素子，電子銃、それを用いた電子顕微鏡装置及び電子線描画装置を提供する。 - 特許庁 - In this position determination method of the measuring object, when performing same-field observation of the measuring object on a substrate by the first microscope and the electron microscope, the coordinate of the measuring object in the electron microscope is determined based on the coordinates of two points on the measuring object and the substrate in the first microscope and the coordinates of two points on the substrate in the electron microscope.
基板上の測定対象物を第１の顕微鏡と電子顕微鏡とで同視野観察するに際して、第１の顕微鏡における測定対象物および基板の２つの点の座標と、電子顕微鏡における基板の２つの点の座標とに基づいて電子顕微鏡における測定対象物の座標を決定する方法。 - 特許庁 - To provide a sample holder for a scanning electron microscope which can use a slide glass using for observation by an optical microscope as an observation sample as it is, and also to provide the scanning electron microscope on which the sample holder is mounted.
光学顕微鏡での観察に使用したスライドガラスをそのまま観察試料として使用可能な、走査電子顕微鏡用試料ホルダおよび当該試料ホルダを搭載した走査電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - An optical-microscope unit 24, which detects reflected light while emitting light in an oblique direction to the observation face of a scanning electron microscope, is provided inside or outside a sample chamber of the scanning electron microscope.
走査電子顕微鏡の試料室外もしくは試料室内に、走査電子顕微鏡の観察面に対して斜め方向に光を照射して反射光を検出する光学顕微鏡ユニット２４を設ける。 - 特許庁 - To provide an electron source which is used for a semiconductor wafer inspection device such as a scanning or transmission electron microscope, a surface analyzer like an Auger electron spectroscopic analyzer, an electron beam exposure apparatus, especially a scanning electron microscope using an electron beam accelerated with low voltage of 1 kV or less, a CD SEM, or a DRSEM.
走査型又は透過型電子顕微鏡、オージェ電子分光装置等の表面分析装置、電子線露光機、特に、電子ビームの加速電圧が１ｋＶ以下の低加速で用いられる走査型電子顕微鏡、ＣＤ ＳＥＭ、ＤＲＳＥＭ等の半導体ウェハ検査装置に用いられる電子源を提供する。 - 特許庁 - To provide an electron source used for a scanning or transmission electron microscope, a surface analyzer such as an Auger electron spectroscope, an electron beam exposure machine, in particular, a scanning electron microscope used at low acceleration where an acceleration voltage of an electron beam is not higer than 1kV, or a semiconductor wafer inspection device such as a CD SEM or a DRSEM.
走査型又は透過型電子顕微鏡、オージェ電子分光装置等の表面分析装置、電子線露光機、特に、電子ビームの加速電圧が１ｋＶ以下の低加速で用いられる走査型電子顕微鏡、ＣＤ ＳＥＭ、ＤＲＳＥＭ等の半導体ウェハ検査装置に用いられる電子源を提供する。 - 特許庁 - To provide an electron beam control device for controlled use of an electron beam, such as an electron microscope or an electron beam aligner, that protects a track of an electron beam from an adverse influence of an externally influenced magnetic variation.
外界からの影響による磁気変動量により、電子ビームの飛跡が悪影響されない電子顕微鏡および電子ビーム露光装置等の電子ビームを制御して利用する電子ビーム制御装置を提供する。 - 特許庁 - To perform remote monitoring of an electron microscope arranged to a client side, properly using a know-how including in a service server side for monitoring an electron generation chip of an electron gun, improve a service to the client, and improve an availability of the electron microscope.
クライアント（顧客）側に配設された電子顕微鏡の遠隔監視、特に電子銃の電子発生チップの監視をサービスサーバ側で有するノウハウを生かして適確に行い、クライアントに対するサービスを向上させ、電子顕微鏡の稼動率を向上させる。 - 特許庁 - To exactly align when a pattern is tested by using a scanned electron microscope.
走査型電子顕微鏡を用いてパターンの検査を行う際に、正確なアライメントを行う。 - 特許庁 - PROBER DEVICE EQUIPPED WITH SCANNING ELECTRON MICROSCOPE, AND PROBE CLEANING METHOD OF PROBER DEVICE
走査型電子顕微鏡を備えたプローバ装置及びプローバ装置の探針クリーニング方法 - 特許庁 - A plurality of methods of manufacturing a transmission electron microscope grid are provided.
また、本発明は、複数の透過型電子顕微鏡グリッドの製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a sample stand for an electron microscope allowing highly precise EBSD analysis.
高精度のＥＢＳＤ解析が可能な電子顕微鏡用試料台を提供する。 - 特許庁 - To provide a solid state imaging device the position of whose picture element is identified easily by an electron microscope.
電子顕微鏡での画素位置特定を容易にした固体撮像装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a transmission electron microscope where damage on a film or an image pickup tube is reduced.
フイルム若しくは撮像管の損傷を軽減した透過電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - ELECTRON MICROSCOPE APPARATUS AND POSITIONING CONTROL METHOD FOR TEST PIECE STAGE IN THE SAME
電子顕微鏡装置および同装置における試料ステージの位置決め制御方法 - 特許庁 - A scanning electron microscope 10 includes a lens barrel portion 12 and a sample chamber 22.
走査型電子顕微鏡１０は、鏡筒部１２と試料室２２から構成される。 - 特許庁 - To provide an electron microscope device to carry out analysis of a substance having a periodic structure.
周期構造を有する物質の解析を行う電子顕微鏡装置を提供する。 - 特許庁 - An electron microscope E is supported by the first vibration resistant mount 2 of the double vibration resisting device.
電子顕微鏡Ｅは２重除振装置の第１除振マウント２で支持されている。 - 特許庁 - SPECIMEN HOLDER CAPABLE OF PERFORMING THREE-AXIS DRIVE FOR THREE-DIMENSIONAL ANALYSIS OF TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE
透過電子顕微鏡の３次元分析のための３軸駆動が可能な試片ホルダー - 特許庁 - REDUCTION IN ABERRATION CAUSED BY WIEN FILTER IN SCANNING ELECTRON MICROSCOPE OR THE LIKE
走査型電子顕微鏡等においてウィーンフィルタによって生成される収差の低減 - 特許庁 - SCANNING ELECTRON MICROSCOPE, AND COMPOUND INSPECTION METHOD OF PATTERN BY USING IT
走査型電子顕微鏡、および走査型電子顕微鏡を用いたパターンの複合検査方法 - 特許庁 - To provide a common sample holder, and a sample preparation method for a transmission electron microscope.
共用試料ホルダーと透過型電子顕微鏡用の試料作製方法を提供する。 - 特許庁 - To improve a lens barrel for an electron microscope having at least two turning joints.
少なくとも２つの回し継手を有する電子顕微鏡用の鏡筒を改良すること。 - 特許庁 - To provide a manufacturing method of a sample sensitive to heat or a solvent for electron microscope observation.
熱や溶剤に弱い電子顕微鏡観察用の試料の製造方法を提供する。 - 特許庁 - METHOD FOR PREPARING SAMPLE TO BE OBSERVED UNDER ELECTRON MICROSCOPE, AND METHOD FOR ANALYZING SEMICONDUCTOR DEVICE
電子顕微鏡観察用試料の作成方法及び半導体装置の解析方法 - 特許庁 - SCANNING ELECTRON MICROSCOPE HAVING DISTANCE MEASUREMENT FUNCTION AND DISTANCE MEASUREMENT METHOD USING THE SAME
測長機能を備えた走査形電子顕微鏡およびそれを使用した測長方法 - 特許庁 - IMAGE PROCESSING SYSTEM AND METHOD AND SPECTRUM PROCESSING SYSTEM AND METHOD FOR ELECTRON MICROSCOPE
電子顕微鏡の画像処理システム及び方法並びにスペクトル処理システム及び方法 - 特許庁 - MAPPING TYPE ELECTRON MICROSCOPE, SEMICONDUCTOR FLAW INSPECTION DEVICE AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
写像型電子顕微鏡、半導体欠陥検査装置及び半導体デバイスの製造方法 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope capable of measuring lengths and inspecting defects with one unit.
一台で、測長と欠陥検査が可能な走査型電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - MICRO-GRID FOR HOLDING SPECIMEN OF ELECTRON MICROSCOPE AND MANUFACTURING METHOD OF THE SPECIMEN
電子顕微鏡試料支持用マイクログリッド及び電子顕微鏡試料の作製方法 - 特許庁 - CONFOCAL SCANNING TRANSMISSION TYPE ELECTRON MICROSCOPE DEVICE AND THREE-DIMENSIONAL TOMOGRAPHIC OBSERVATION METHOD
共焦点走査透過型電子顕微鏡装置及び３次元断層像観察方法 - 特許庁 - PREPARATION METHOD OF SLICED SAMPLE FOR TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE, AND SAMPLE STAND USED THEREFOR
透過電子顕微鏡用薄片試料の作製方法、及びそれに用いる試料台 - 特許庁 - A two-dimensional image of a measurement target object is acquired using a scanning electron microscope.
走査型電子顕微鏡を用いて、測定対象物の二次元画像を取得する。 - 特許庁 - To perform correction of machine difference for every optical system of an electron microscope without complicating it.
電子顕微鏡の電子光学系毎の機差補正を複雑にすることなく行う。 - 特許庁 - SPECIMEN FOR OBSERVATION, ITS PREPARATION METHOD, AND OBSERVATION METHOD BY TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE
観察用試料およびその作製方法ならびに透過電子顕微鏡による観察方法 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope capable of reducing labor for searching an analysis point.
解析箇所を探す手間を少なくすることが可能な走査電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - The electron microscope and the processing system constituted for executing this method are provided.
並びに、この方法を実施するように構成された電子顕微鏡及び加工システム。 - 特許庁 - OBSERVATION METHOD FOR FINE THREE-DIMENSIONAL SHAPE ON SURFACE OF SAMPLE USING SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
走査型電子顕微鏡を用いた試料表面の微細立体形状の観察法 - 特許庁 - METHOD FOR MEASURING RESIST PATTERN, SCANNING ELECTRON MICROSCOPE TYPE DIMENSION MEASURING DEVICE, AND SEMICONDUCTOR DEVICE
レジストパターン測定方法、走査電子顕微鏡型測長装置及び半導体装置 - 特許庁 - METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING DIMENSION OF CIRCUIT PATTERN BY USING SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
走査型電子顕微鏡を用いた回路パターンの寸法計測装置およびその方法 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope having improved operability for adjustment of an alignment coil.
アライメントコイルの調整の操作性を向上させた走査電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁
- 特許庁
- Copyright © Japan Patent office. All Rights Reserved.
