To provide a phase difference electronmicroscope capable of alleviating the dimensional requirement of a phase shift element. 位相シフト素子の寸法上の要件を軽減する位相差電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁
To facilitate control of collapse when thinning for a transmission electronmicroscope specimen. 透過型電子顕微鏡用試料において薄片化を行う場合、崩れの制御を容易とする。 - 特許庁
This substrate inspecting method uses a scanning electronmicroscope. 本発明に係る基板検査方法は、走査型電子顕微鏡装置を用いた基板検査方法である。 - 特許庁
To provide an apparatus and a method, which evaluate a test piece exactly and quantitatively with an electron beam microscope. 電子顕微鏡により試料を正確に定量評価する装置および方法を提供する。 - 特許庁
To provide a transmission electronmicroscope (TEM) sample of high quality and high resolution allowing detail reproduction. 高品質、高解像度かつ詳細な再現を可能にするTEM試料を提供する。 - 特許庁
A probe and a voltage source to be applied to a semiconductor element are used additionally in a microscope using an electron beam. 電子線を用いた顕微鏡にプローブと半導体素子に印加する電圧源を追加する。 - 特許庁
The beam system includes an ion beam device and a scanning electronmicroscope with a magnetic objective lens. 二重ビーム装置はイオン・ビーム装置および磁気対物レンズを備える走査電子顕微鏡を含む。 - 特許庁
FOCUSED ION BEAM PROCESSING METHOD, AND PREPARATION METHOD OF TRANSMISSION ELECTRONMICROSCOPE SAMPLE USING IT 集束イオンビーム加工方法およびそれを用いた透過型電子顕微鏡試料の作製方法 - 特許庁
The particle diameter of the conductive tin oxide sol by observation with transmission electronmicroscope is 2 to 25 nm. 前記導電性酸化スズゾルの透過電子顕微鏡観察による粒子径が2〜25nmである。 - 特許庁
An opening mechanism is provided in a vacuum discharge chamber of the electronmicroscope for opening the fixing mechanism. また、電子顕微鏡の真空排気室に上記固定機構を開放する開放機構を設けた。 - 特許庁
To comparatively easily form, for example, a sample for a transmission electronmicroscope. 例えば透過型電子顕微鏡用の試料を比較的容易に形成することができるようにする。 - 特許庁
STANDARD MEMBER FOR CALIBRATION, MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND SCANNING ELECTRONMICROSCOPE USING THE SAME 校正用標準部材およびその作製方法並びにそれを用いた走査電子顕微鏡 - 特許庁
To facilitate a work of achieving an optical image and an electronmicroscope image at the same display size. 同一の表示サイズでの光学画像と電子顕微鏡画像の取得作業を容易にする。 - 特許庁
To provide a scanning transmission electronmicroscope operated with a sample in a high pressure environment. 高圧環境中の試料を使用して動作する走査透過電子顕微鏡を提供すること。 - 特許庁
DEVICE AND METHOD FOR EXAMINATION OF SAMPLE IN NON-VACUUM ENVIRONMENT USING SCANNING ELECTRONMICROSCOPE 走査型電子顕微鏡を用いた非真空環境内のサンプルの検査のための装置および方法 - 特許庁
To easily search the optimum image observing condition in the operation of an electronmicroscope. 電子顕微鏡の操作において最適な像観察条件を容易に探し出せるようにする。 - 特許庁
MICROPROCESSING METHOD AND APPARATUS OF CARBONACEOUS MATERIAL USING LOW VACUUM SCANNING ELECTRONMICROSCOPE 低真空走査型電子顕微鏡を用いた炭素系材料の微細加工方法とその装置 - 特許庁
SCANNING TRANSMITTED IMAGE AND MAGNIFICATION OF TRANSMITTED IMAGE/ROTATION CORRECTION METHOD AND SCANNING TRANSMISSION TYPE ELECTRONMICROSCOPE 走査透過像と透過像の倍率・回転補正方法及び走査透過型電子顕微鏡 - 特許庁
To perform minute operation for a biological sample in vacuum and under electron beams of an electronic microscope. 電子顕微鏡の真空中、電子線下で生物試料に微細操作を行えるようにする。 - 特許庁
To provide a scanning electronmicroscope capable of preventing contact between an objective lens and a sample. 対物レンズと試料の接触を防止できる走査電子顕微鏡を提供することにある。 - 特許庁
STAGE MECHANISM, ELECTRONMICROSCOPE EQUIPPED WITH THE SAME, AND POSITIONING CONTROL METHOD FOR STAGE MECHANISM ステージ機構、及びそれを備えた電子顕微鏡、並びにステージ機構の位置決め制御方法 - 特許庁
One image after another is taken out of the electronmicroscope images preserved, and is compared with the reference image. 保存された電子顕微鏡画像から1枚ずつ取り出し、それを参照画像と比較する。 - 特許庁
ELECTROLYTIC GRINDING METHOD IN PREPARATION OF SAMPLE FOR TRANSMISSION ELECTRONMICROSCOPE AND APPARATUS UTILIZING THE SAME 透過電子顕微鏡試料作製における電解研磨方法およびこれを利用する装置 - 特許庁
To adapt a cryostage for electronmicroscope to two types of freezing mediums with one capillary channel. 1系統のキャピラリで2種類の寒剤に適応する電子顕微鏡用クライオステージを実現する。 - 特許庁
The wave-optical theory of electronmicroscope images can be expressed in terms of a two-stage Fourier transform.
電子顕微鏡像の波動光学理論は、2段階のフーリエ変換で表わすことができる。 - 科学技術論文動詞集
The analysis method is at least one method selected from the group consisting of transmission electronmicroscope, scanning electronmicroscope, electron probe microanalysis, Auger electron spectroscopy, atom probe, infrared spectroscopy, laser Raman spectroscopy, inductive coupled plasma spectroscopy, liquid chromatography, and gas chromatography. 該分析方法は、透過型電子顕微鏡、走査型電子顕微鏡、電子プローブマイクロアナリシス、オージエ電子分光、2次イオン質量分析、アトムプローブ、赤外分光、レーザーラマン分光、誘導結合プラズマ、液体クロマトグラフ、ガスクロマトグラフからなる群より選択される少なくとも一つの方法である。 - 特許庁
To improve reliability of an electron beam application device by preventing a rapid change of state to an electron source with regard to a high voltage power source of a Schottky electron source adopted in the electron beam application device such as an electronmicroscope or an electron beam picture drawing device. 電子顕微鏡や電子線描画装置などの電子線応用装置において採用されるショットキー電子源の高圧電源に関し、電子源に急激な状態変化をもたらさないようにすることで、電子線応用装置の信頼性向上を目的とする。 - 特許庁
The electron beam control device for controlled use of an electron beam, such as an electronmicroscope or an electron beam aligner, comprises a magnetic sensor for measuring an externally influenced magnetic variation that influences a track of an electron beam. 電子顕微鏡および電子ビーム露光装置等の、電子ビームを制御して利用する電子ビーム制御装置であって、電子ビームの飛跡に影響を及ぼす、外界からの影響による磁気変動量を測定するための磁気センサーを備えている。 - 特許庁
A column electronmicroscope combined device has a structure of arranging: an electronmicroscope capable of beam tilting for obtaining images by irradiating charged particle beams on an observation defect and detecting electrons emitted from a surface of the observation defect; and compact column electron microscopes enabling imaging from an arbitrary angle on a column of the electronmicroscope. 本発明は、上記目的を達成するために、荷電粒子ビームを観察欠陥に照射し、観察欠陥の表面から放出される電子を検出して画像を取得するビームチルトが可能な電子顕微鏡と、当該電子顕微鏡カラムに任意の角度から撮像可能とする小型カラム電子顕微鏡を複数配置した構造とする。 - 特許庁
The electronmicroscope is provided with a sample table 33 to mount a sample on it, and an electron beam imaging part in order to irradiate an electron beam on the sample mounted on the sample table 33, and to form an electron beam observation image. 電子顕微鏡は、試料を裁置する試料台33と、試料台33に裁置された試料に対して電子線を照射し電子線観察像を結像するための電子線撮像部とを備える。 - 特許庁
To provide a method of preparing a sample for direct observation of an iron oxide reduction in a transmission electronmicroscope capable of analyzing on the spot a reduction process of an iron oxide simply in the transmission electronmicroscope. 透過電子顕微鏡内で簡便に酸化鉄の還元過程をその場解析できるような酸化鉄還元透過電子顕微鏡内直接観察用試料の作製方法を提供する。 - 特許庁
To provide a sample fixing table allowing the location of a foreign substance to be rapidly and efficiently identified within an electronmicroscope image; an electronmicroscope equipped with it; and a position identifying method of the foreign substance. 異物の場所を電子顕微鏡画像の中で素早く、効率的に特定できる試料固定台及びそれを備えた電子顕微鏡、並びに、その異物の位置特定方法を提供する。 - 特許庁
To establish a method for analyzing a distribution condition of a material inside a capsule by means of an electronmicroscope by preparing an observation sample observable by the electronmicroscope from a sample containing the capsule. カプセルを含む試料から、電子顕微鏡による観察が可能な観察用試料を作製することにより、カプセル内の材料の分布状態を電子顕微鏡により解析する方法を確立する。 - 特許庁
To provide a means which is a method for replacing a filament of an electron gun of an electronmicroscope or the like with extremely more favorable workability than a screw type one. 電子顕微鏡等の電子銃のフィラメントを交換する方法でネジ式より作業性が非常に良い手段を提供すること。 - 特許庁
ABERRATION EVALUATION PATTERN, ABERRATION EVALUATION METHOD, ABERRATION CORRECTION METHOD, ELECTRON BEAM DRAWING APPARATUS, ELECTRONMICROSCOPE, MASTER, STAMPER, RECORDING MEDIUM AND STRUCTURE 収差評価用パターン、収差評価方法、収差補正方法、電子線描画装置、電子顕微鏡、原盤、スタンパ、記録媒体、及び構造物 - 特許庁
To realize an analyzing method in an electronmicroscope capable of accurately irradiating a set analyzing point with electron beam to perform analysis. 設定した分析点に正確に電子ビームを照射して分析を行うことができる電子顕微鏡における分析方法を実現する。 - 特許庁
To provide a high-sensitive X-ray detector capable of suppressing movement of a secondary electron image and distortion of the secondary electron image caused by astigmatism or the like even if bringing the detector close to a sample inside an electronmicroscope. 電子顕微鏡内の試料に近接させても2次電子像の移動および非点収差等による2次電子像の歪みの低い,高感度なX線検出器を提供する。 - 特許庁
To provide an electron staining agent, staining liquid, and an electron staining method with high performance for observing a biological sample with a transmission electronmicroscope, safe and easily handleable. 透過型電子顕微鏡で生体試料を観察するための高性能かつ、安全で、容易に取り扱うことができる電子染色剤、染色液および電子染色方法を提供する。 - 特許庁
To obtain an interference microscope image of a multi-stage electron beam biprism by an electromagnetic lens system with the same number as the one-stage electron beam biprism without drop of operation flexibility of the multi-stage electron beam biprism. 多段電子線バイプリズムの操作自由度を落とすことなく、1段電子線バイプリズムと同数の電磁レンズ系によって、多段電子線バイプリズムの干渉顕微鏡像を得る。 - 特許庁
The exposed surfaces are irradiated with an electron beam by a TEM (Transmission Electron Microscope) to acquire a TEM image and an electron-beam diffraction image of the ferroelectric film, and element composition analysis etc., is carried out (step S2). その露出させた面に対し、TEMにより電子線を照射して、その強誘電体膜のTEM像や電子線回折像の取得、元素組成分析等を行う(ステップS2)。 - 特許庁
To provide a transmission electronmicroscope prevented from unnecessarily restricting the flexibility in a set magnification of an image focused by an electron beam spectrally diffracted by an electron spectrometer. 電子分光器により分光された電子ビームにより結像される像の設定倍率の自由度に不必要な制限が加わらない透過型電子顕微鏡を提供すること。 - 特許庁
To measure a concentration of an optional element in a sample containing a plurality of elements while maintaining high spatial resolution in an electron energy spectroscope (energy-filter)-transmission electronmicroscope. 電子線エネルギー分光器(Energy−Filter)−透過型電子顕微鏡(Transmission Electron Microscopy)において高い空間分解能を維持しながら複数の元素を含む試料中の任意の元素濃度を測定する。 - 特許庁
Therefore, the electron beam microscope comprises an interruption means for interrupting the electron beam irradiated to the test piece and an electron beam detector set on the interruption means. そのための構成として、本発明の電子顕微鏡は、試料への電子線を遮断する電子線遮断手段と、電子線遮断手段に設けられた電子線検出器を有する。 - 特許庁
To enable an electronmicroscope equipped with a plurality of secondary electron or reflecting electron detectors to carry out control of contrast/brightness of the plurality of detectors in one control operation. 複数の二次電子若しくは反射電子検出器を持つ電子顕微鏡において、複数の検出器のコントラスト/明るさの制御をひとつの制御操作で行えるようにする。 - 特許庁
The scanning electronmicroscope irradiates electron beams 2 generated from an electron gun 1 on a sample 5 loaded on a sample stand 7 with an objective lens 4 to detect electrons from the sample. 走査電子顕微鏡は、電子銃1から発生した電子ビーム2を対物レンズ4により試料台7の上に載置された試料5に照射して試料からの電子を検出する。 - 特許庁
The microreactor may be combined with an optical microscope in order to inspect by a scanning transmission type electronmicroscope and inspect by a soft X-ray in the range of 250-300 eV. 当該マイクロリアクターは、走査型透過電子顕微鏡での検査、250-300eV範囲での軟X線での検査等のため、光学顕微鏡と併用されて良い。 - 特許庁
A state of a probe tip is observed therein by an optical microscope, an electronmicroscope or an ion microscope, and the rotation of the low-vibration stepping motor is stopped when the micro sample is directed along a desired direction. この時プローブ先端の様子を工学顕微鏡、電子顕微鏡、あるいはイオン顕微鏡により観察し、微小試料が所望の向きになった時点で低振動ステッピングモータの回転を止める。 - 特許庁
A scanning probe microscope apparatus 1 comprises a scanning electronmicroscope 2 having a sample base 3 on which a sample A is set and a scanning probe microscope 4 mounted on the sample base 3. 走査型プローブ顕微鏡装置1は、試料Aがセットされる試料台3を有する走査型電子顕微鏡2と、前記試料台3に装着される走査型プローブ顕微鏡4とを具備する。 - 特許庁
This electronmicroscope is composed by supporting the camera 4 to a sample holding means 9 of a sample fine-movement device 3. 本発明は、カメラ4を試料微動装置3の試料保持手段(9)に支持させたのである。 - 特許庁