「electron microscope」を含む例文一覧(1821)
＜前へ 1 2 .... 17 18 19 20 21 22 23 24 25 .... 36 37 次へ＞- TEST PIECE CARRIER FOR TRANSMISSION TYPE ELECTRON MICROSCOPE AND ITS MANUFACTURING METHOD, OBSERVATION AND CRYSTAL STRUCTURE ANALYSIS METHODS USING THE SAME, AND TEST PIECE FOR TRANSMISSION TYPE ELECTRON MICROSCOPE AND ITS MANUFACTURING METHOD
透過型電子顕微鏡用試料保持体およびその製造方法、透過型電子顕微鏡用試料およびその製造方法、並びに、透過型電子顕微鏡用試料を用いた観測方法および結晶構造解析方法 - 特許庁 - This method has a step for allowing focused electron beams to enter a sample and acquiring a convergent electron diffraction image on the sample by using a scanning transmission electron microscope 12, a step for calculating the lattice strain quantity in the sample based on the acquired convergent electron diffraction image, and a step for displaying the calculated lattice strain quantity corresponding to an electron microscope image of the sample.
走査透過型電子顕微鏡１２を用い、収束した電子線を試料に入射させ、試料についての収束電子回折像を取得するステップと、取得された収束電子回折像に基づいて、試料における格子歪み量を算出するステップと、算出された格子歪み量を、試料の電子顕微鏡像に対応させて表示するステップとを有している。 - 特許庁 - To provide a sample preparation method for electron microscope observation and a sample preparation kit, by which a sample present in a liquid and having floating property can be efficiently prepared by an optimal method to be observed with an optical microscope while suppressing the floating property, a sample to be an object for electron microscope observation is specified in the sample, and the specified sample can be precisely observed with an electron microscope.
最適な方法で効率良く、液体中に存在し浮遊性を有するサンプルの浮遊性を抑止して光学顕微鏡で観察できるようにし、また、そのサンプルの中から電子顕微鏡観察の対象とすべきサンプルを光学顕微鏡で特定し、特定したサンプルを電子顕微鏡で詳細に観察することを可能にする電子顕微鏡観察用サンプル作製方法と、そのサンプル作製キットを提供すること。 - 特許庁 - The scanning electron microscope includes; a vacuum evacuation system 13 capable of low vacuum control; an energy dispersion type X-ray detector 14; and a sample holder 15 on which a slide can be mounted, thereby the slide using for observation by a polarization microscope can be mounted on the electron microscope as it is, and the scanning electron microscope can be provided which can perform observation and analysis for the same sample.
本発明による走査電子顕微鏡は、低真空制御が可能な真空排気系１３と、エネルギー分散型Ｘ線検出器１４と、スライドを搭載できる試料ホルダ１５を有することで、偏光顕微鏡で観察するのに使用したスライドをそのまま電子顕微鏡に搭載することが可能となり、同一試料による観察および分析ができる走査電子顕微鏡の提供が可能となる。 - 特許庁 - To provide an electron microscope with which a quantitative element image with high S/N and an electron beam energy loss spectrum with high energy accuracy and high energy resolution can be measured.
本発明の目的は、高Ｓ／Ｎで定量的な元素像や、エネルギー精度やエネルギー分解能の高い電子線エネルギー損失スペクトルを計測することに関する。 - 特許庁 - In order to observe a worked cross section being worked by an FIB, the axis of the electron optics system of a scanning electron microscope(SEM) 40 is set vertical to the axis of the ion-optics system of an FIB device 20.
ＦＩＢで加工中の加工断面を観察するために、ＦＩＢ装置２０のイオン光学系の軸に対しＳＥＭ４０の電子光学系の軸を垂直にした。 - 特許庁 - A wafer 6 is rotated, an electron beam is emitted to the rotating wafer 6 from a scanning electron microscope 1, and secondary electrons 9 emitted from the wafer 6 are detected.
ウェハ６を回転させ、回転するウェハ６に対して走査型電子顕微鏡１から電子ビームを照射し、ウェハ６から放出される２次電子９を検出する。 - 特許庁 - To provide a highly sensitive X-ray detector prevented from generating distortion of a secondary electron image caused by an astigmatism and the like, even when getting close to a sample inside an electron microscope.
電子顕微鏡内の試料に近接させても非点収差等による２次電子像の歪みを起こさない高感度なＸ線検出器を提供することである。 - 特許庁 - To realize an electron microscope device in which an adverse effect due to slippage of trajectory of electron beams by hysteresis is not brought about even in the case an electromagnetic deflection shutter is used.
電磁偏向式シャッターを使用する場合にもヒステリシスによる電子線の軌跡のずれによる悪影響を生じることのない電子顕微鏡装置を実現する。 - 特許庁 - To provide a luminous body with high speed of response and luminescence intensity, and to provide an electron beam detector, scanning electron microscope and mass spectroscope using the same.
応答速度が速く、且つ発光強度が高い発光体と、これを用いた電子線検出器、走査型電子顕微鏡及び質量分析装置を提供する。 - 特許庁 - As an observed area of the sample 3 is irradiated by the electron beam E1 during observation with a scanning electron microscope, the area is negatively charged.
走査電子顕微鏡等を用いた観察時に、電子ビームＥ１が試料３の被観察領域に照射されるにつれて、当該被観察領域が負に帯電されていく。 - 特許庁 - The test piece can be observed without changing the electron beam irradiation condition to the test piece even when the acceleration voltage of a transmission electron beam microscope is changed.
透過型電子顕微鏡の加速電圧を変化させた場合の、試料面上への電子線照射条件を変化させずに試料を観察することが可能となる。 - 特許庁 - This scanning electron microscope irradiates an electron beam to a sample while keeping pressure in a sample chamber not less than 1 Pa, and detects generated ions to display images of the sample.
走査電子顕微鏡は、試料室圧力を１Ｐａ以上に保持して試料に電子線を照射し、発生するイオンを検出して試料像を表示する。 - 特許庁 - The scanning electron microscope is constructed so as to emit high-energy charged particles from an electron source 2 and irradiate the high-energy charged particles on a sample S by reducing the speed of the high-energy charged particles between an objective lens 6 of an electron gun 1 and the sample.
電子源２から高エネルギーの荷電粒子を放出し、この高エネルギーの荷電粒子を電子銃１の対物レンズ６と試料との間で減速させて試料Ｓに照射する構成とする。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope which can switch in a simple operation a low vacuum secondary electron detection to other detections like a reflector electron detection without exposing a test piece chamber to an atmosphere.
試料チャンバを大気開放することなく、低真空二次電子検出とそのほかの例えば反射電子検出等との切り換えを簡便な操作で以て行うことができる走査電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - The two electron beams transmitting the sample at the same time are spatially separated and imaged by a second electron-beam biprism arranged in an imaging optical system to obtain two electron microscope images with different irradiation angles.
この同時に試料を透過した２つの電子線を結像光学系に配置した第２の電子線バイプリズムにより空間的に分離して結像させ、照射角度の異なる２つの電子顕微鏡像を得る。 - 特許庁 - This transmission electron microscope is provided with a phase plate 8 for generating a phase difference between an electron beam passing through a predetermined region including a rear focal point of an object lens 6 and an electron beam passing through a region excluding the predetermined region.
対物レンズ６の後焦点を含む所定の領域を通過する電子線と、前記所定の領域外の領域を通過する電子線との間に位相差を生じさせる位相板８を備える。 - 特許庁 - The fluorescent screen 20 also acts as an electron beam detecting screen, and a current corresponding to the electron beam quantity detected with the fluorescent screen 20 is sent to an electron microscope controlling computer 18 through an amplifier 22.
蛍光板２０は電子線検出板を兼ねており、蛍光板２０で検出された電子ビーム量に対応する電流は増幅器２２を介して電子顕微鏡制御用コンピューター１８に送られるように成っている。 - 特許庁 - In the electron source 10A used in an electron microscope 20, a field emission electron can be easily obtained in vacuum from a cathode 42 by using diamond of a work function 3.0 ev or lower for the cathode 42.
電子顕微鏡２０に用いられている電子源１０Ａでは、仕事関数が３．０ｅｖ以下であるダイヤモンドを陰極部４２に用いることで、陰極部４２から真空中に電子が容易に電界放出可能となる。 - 特許庁 - Using a plurality of optical elements in a transmission electron microscope 500, an unscattered electron beam is adjusted to deflect to prevent incidence of the electron beam onto a contrast enhancing element 518 disposed in the diffraction plane.
透過型電子顕微鏡５００の複数の光学素子を用いることにより非散乱電子ビームを偏向して、回折平面に配置されたコントラスト向上素子５１８に該電子ビームが照射されないように調節する。 - 特許庁 - To create a color composite image that is produced by combining an optical image with an electron microscope image and reduces a feeling of strangeness of light and dark.
明暗の違和感を低減した、光学画像と電子顕微鏡画像を合成したカラー合成画像を作成する。 - 特許庁 - The sample-holding part 3 has a region 1 to be observed having a sample for observing an electron microscope mounted on the top part thereof.
試料保持部３は、頂部に電子顕微鏡観察用の試料を搭載する観察対象領域１を有する。 - 特許庁 - TEM SAMPLE WITH IDENTIFICATION FUNCTION, TEM SAMPLE-PROCESSING FOCUSED ION BEAM DEVICE AND TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE
識別機能を備えたＴＥＭ試料及びＴＥＭ試料加工用集束イオンビーム装置並びに透過型電子顕微鏡 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope, including the mechanism that straightens and efficiently exhausts an inlet gas.
本発明の目的は、導入ガスを整流し効率よく排気する機構を備えた走査電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To provide a transmission electron microscope capable of preventing brightness of an image from being changed even when autofocusing is operated.
オートフォーカスを動作させても、画像の明るさが変化することがない透過電子顕微鏡を提供することにある。 - 特許庁 - PEDESTAL BASE PLATE, MEASURING HOLDER FOR ELECTRON MICROSCOPE, MEASURING SAMPLE ASSEMBLY, METHOD FOR PRODUCING MEASURING SAMPLE AND MEASURING METHOD
ペデスタル基板、電子顕微鏡用測定治具、測定試料組み立て体、測定試料の作製方法及び測定方法 - 特許庁 - To provide a photoemission electron microscope improved so as to be able to be focused surely and highly accurately in a short time.
短時間で確実に高精度の焦点合わせができるように改良した光電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope with a simple structure capable of obtaining high brightness hard to receive the influence of an external disturbance.
走査型電子顕微鏡において、簡易な構成で、高い輝度が得られ、外乱の影響を受けにくくすること。 - 特許庁 - To shorten time required to inspection when a wafer is inspected with an SEM(scanning electron microscope).
ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）を使用して被検査ウエハの検査を行う際の検査に要する時間を短縮すること。 - 特許庁 - To provide a sample observation method using an electron microscope capable of obtaining the sharper observation image of a sample.
より鮮明な試料の観察像を得ることができる電子顕微鏡を用いた試料の観察方法を提供すること。 - 特許庁 - STRIP FOR CONTROLLING ULTRATHIN LIQUID FOR ELECTRON MICROSCOPE, AND COMBINATION OF SAME AND BOX
電子顕微鏡用の超薄液体制御板及び電子顕微鏡用の超薄液体制御板とボックスとの組合せ - 特許庁 - To provide a sample surface treating method useful for observation of high performance intrinsic to a transmission electron microscope.
透過型電子顕微鏡本来の高性能の観察を行うために有用な試料表面の処理方法を提供する。 - 特許庁 - To provide an electron microscope which can contribute greatly to making efficient cause investigation of a discovered pattern irregularity.
発見したパタン異常の原因究明の効率化に大きく寄与することができる電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - APPARATUS WITH COAXIAL BARREL OF FOCUSED-ION BEAM AND SCANNING ELECTRON MICROSCOPE, AND METHOD FOR IMAGE FORMING AND PROCESSING
集束イオンビームと走査型電子顕微鏡との同軸鏡筒を備えた装置並びに像形成及び処理方法 - 特許庁 - To provide a transmission electron microscope capable of generating a high precision diffraction pattern, by shielding light at central spot of the diffraction pattern.
回折像の中心スポットを遮光して、高精度の回折像が得られる透過型電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - In the photoelectric microscope thus configurated, not only a real image of a specimen but also an electron diffraction image can be observed.
このような構成をした光電子顕微鏡は、試料の実像だけでなく、電子回折像も観察することができる。 - 特許庁 - To provide a photoelectric microscope in which not only a real image of a specimen but also an electron diffraction image can be observed.
試料の実像だけでなく、電子回折像も観察することができる光電子顕微鏡を提供すること。 - 特許庁 - In an electron microscope image obtained, by making electrons incident on the crystal material, the lattice strain distribution is evaluated from contrast.
結晶材料に電子を入射して得られる電子顕微鏡像において、コントラストから、格子歪分布を評価する。 - 特許庁 - To provide a low vacuum scanning electron microscope wherein secondary electrons can be efficiently detected even at a low degree of vacuum.
低い真空度でも２次電子を効率よく検出することができる低真空走査電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁 - SHARPENED DIAMOND NEEDLE, CANTILEVER USING THE SAME FOR SCANNING-PROBE MICROSCOPE, PHOTOMASK-CORRECTING PROBE, AND ELECTRON BEAM SOURCE
先鋭化針状ダイヤモンド、およびそれを用いた走査プローブ顕微鏡用カンチレバー、フォトマスク修正用プローブ、電子線源 - 特許庁 - The sample holder for a transmission electron microscope capable of magnetic field analysis can apply a thermal slope in-situ.
磁場解析が可能な透過型電子顕微鏡用の試料ホルダであって、in-situで熱傾斜をかけることができる試料ホルダ。 - 特許庁 - To provide a method for creating a sample for electron microscope observation for making precise observation by TEM.
ＴＥＭによる観察を正確に行うことが可能な電子顕微鏡観察用試料の作製方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a magnetic field objective lens for an electron microscope capable of observing a magnetic material sample in high resolution.
磁性体試料を高分解能で観察することができる電子顕微鏡用磁界型対物レンズを提供する。 - 特許庁 - METHOD FOR TRANSFERRING SAMPLE IN CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE, CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE AND SAMPLE FOR TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE
荷電粒子ビーム装置における試料移設方法及び荷電粒子ビーム装置並びに透過電子顕微鏡用試料 - 特許庁 - To provide a transmission electron microscope, capable of always correctly acquiring the state of inclination and rotation of a sample.
常に試料の傾斜や回転の状態を正確に把握することができる透過型電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁 - To acquire an X-ray image of an inside of a sample, and to realize a function of an electron microscope.
本発明は、試料の内部Ｘ線画像を取得するとともに、電子顕微鏡の機能も実現できるようにする。 - 特許庁 - To provide a method of enabling simple and reliable focusing like a wobblier device in a transmission electron microscope method.
透過形電子顕微鏡法におけるワブラー装置のように簡単、確実に焦点合わせできる方法を提供する。 - 特許庁 - After drawing the optical fiber, the optical fiber is cut, and the hole diameters d and the intervals A between holes are measured with an electron microscope.
光ファイバ線引き後、その光ファイバを切断し、電子顕微鏡で孔径ｄ及び孔間隔Ａを測定した。 - 特許庁 - In the scanning electron microscope, exciting current is supplied from a control system to an objective lens in an observation mode.
本発明の走査電子顕微鏡によると、観察モードでは、制御系から対物レンズに励磁電流が供給される。 - 特許庁 - FORMATION DEVICE OF IMAGING RECIPE FOR SCANNING ELECTRON MICROSCOPE, ITS METHOD, AND SHAPE EVALUATION DEVICE OF SEMICONDUCTOR PATTERN
走査型電子顕微鏡用撮像レシピ作成装置及びその方法並びに半導体パターンの形状評価装置 - 特許庁
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