「electron microscope」を含む例文一覧(1821)
＜前へ 1 2 .... 18 19 20 21 22 23 24 25 26 .... 36 37 次へ＞- To provide a low-energy reflection electron microscope, capable of positioning a diffraction image field in a diaphragm position at all times.
常に回折像面を絞り位置に持って来ることができる低エネルギー反射電子顕微鏡を提供すること。 - 特許庁 - To easily acquire an image having necessary image quality by saving trouble of image adjustment work of an electron microscope.
電子顕微鏡の画質調整作業の手間を省き、必要な画質を持った画像を容易に取得できるようにする。 - 特許庁 - METHOD FOR FORMING AUTOMATIC SEQUENCE FILE SCANNING ELECTRON MICROSCOPE, AND METHOD OF AUTOMATIC MEASURING SEQUENCE
走査電子顕微鏡の自動検出シーケンスファイル作成方法及び走査電子顕微鏡の自動測長シーケンス方法 - 特許庁 - To provide a standard member performing calibration of magnification used for an electron microscope in an automatic and stable manner with high accuracy.
電子顕微鏡で用いられる倍率校正を自動で安定かつ高精度で行う標準部材を提供する。 - 特許庁 - To provide a mapping type electron microscope capable of improving resolution by lessening the occurrence of a blur by the coulomb effect.
クーロン効果によるボケの発生を少なくして解像度を高めることができる写像型電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To provide an analytical electron microscope capable of enhancing detection efficiency and of enhancing use efficiency.
検出効率を高めることができるとともに、使用効率を高めることができる分析電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - SCANNING ELECTRON MICROSCOPE, ITS DYNAMIC FOCUS CONTROL METHOD AND SHAPE IDENTIFYING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE SURFACE AND CROSS SECTION
走査電子顕微鏡、そのダイナミックフォーカス制御方法および半導体デバイスの表面および断面形状の把握方法 - 特許庁 - The particle-state structure is not able to be identified by transmission electron microscope(TEM) observation.
この組織性状は透過型電子顕微鏡(TEM) の観察によっても粒状組織が識別できない組織状態である。 - 特許庁 - The new 300 kV analytical electron microscope is fitted with an EDS system having an ultra-thin window Si (Li) detector.
その新型300kV分析電子顕微鏡は、ウルトラスィン・ウインドウ半導体(リチウム)検出器を有するEDS装置を備え付けている。 - 科学技術論文動詞集 - To provide a diamond electron source and its manufacturing method wherein one sharp-pointed section as an electron emission point for use in an electron beam device such as an electron microscope is formed at one end of a columnar diamond single crystal having a size where resist coating is difficult in a microfabrication process.
電子顕微鏡などの電子線機器に用いられる電子放射点として、微細加工プロセスにおいてレジスト塗布が困難なサイズの柱状ダイヤモンド単結晶の片端に、一ヶ所の先鋭部を形成したダイヤモンド電子源及びその方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope suitable for measuring an accurate probe current at the time of sample observation, even in a sample chamber held in lower vacuum than the inside of a microscope body part.
鏡体部内よりも低い真空に保たれた試料室においても、試料観察時に正確なプローブ電流を測定するのに適した走査電子顕微鏡を提供すること。 - 特許庁 - A thin-film part 16 for allowing electrons from a transmission- type electron microscope to be transmitted is formed at a part where a semiconductor is observed, and a specific etching treatment is made to the thin-film part 16, thus preparing a semiconductor sample 13 for the transmission-type electron microscope.
半導体１０の観察を受ける部分に透過型電子顕微鏡からの電子の透過を許す薄膜部１６を形成し、該薄膜部に所定のエッチング処理を施して透過型電子顕微鏡用半導体試料１３を作成する方法。 - 特許庁 - To provide an operating method at a high temperature, of an electron microscope, and the electron microscope, capable of stably setting a sample and efficiently heating the same with respect to high temperature properties such as phase transformation and phase transition required in the development of a heat-proof material.
耐熱材料の開発において要求される相変態および相転移などの高温物性について、試料を安定に設定でき、効率よく加熱できる電子顕微鏡の高温での運転方法とその電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To provide a phase difference electron microscope including a phase plate which is used for an electron microscope and gets around problems that spacial frequency information of an observed specimen is lost, and minimizes effect of charge of an insulation film.
電子顕微鏡に用いられる位相板において、観察試料の空間周波数情報が欠損する問題を回避し、かつ絶縁膜の帯電の影響を最小限にすることのできる位相板を備えた位相差電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - Especially at the time of evaluation by a transmission electron microscope, a target material is frozen in a state including solvent such as water by quick-freezing and introduced to a cryo-type transmission electron microscope as it is with a cryo-transfer method and observed.
特に透過電子顕微鏡による評価の際、急速凍結法により、対象となる物質を水分などの溶媒を含んだ状態で凍結し、クライオトランスファー法によりそのままの状態でクライオ型透過電子顕微鏡に導入し観察する。 - 特許庁 - To provide an aberration compensation method of a transmission electron microscope capable of providing a high-definition image by eliminating influence of hysteresis of a lens by lens relaxation, in relation to an aberration compensation method of a transmission electron microscope.
本発明は透過電子顕微鏡の収差補正方法に関し、レンズ緩和によりレンズのヒステリシスの影響を無くして高精度の画像を得ることができるようにした透過電子顕微鏡の収差補正方法を提供することを目的としている。 - 特許庁 - To provide a method and a device for correcting a tilting stage of an electron microscope capable of correctly correcting when a sample is tilted with respect to the method and the device for correcting the tilting stage of the electron microscope.
本発明は透過電子顕微鏡の傾斜ステージ補正方法及び装置に関し、試料傾斜時における補正を正しく行なうことができる透過電子顕微鏡の傾斜ステージ補正方法及び装置を提供することを目的としている。 - 特許庁 - To provide a sample preparation method and a sample preparation device, capable of performing sample observation in a short time in a transmission electron microscope, a scanning electron microscope or the like, and a sample observation device capable of observing the prepared sample in a short time.
透過電子顕微鏡や走査電子顕微鏡などにおける試料観察を短時間に行える試料作製方法および試料作製装置、ならびにその作製された試料を短時間に観察できる試料観察装置を提供する。 - 特許庁 - To provide an electron source which can reduce a work function of an electron emission surface rather than a currently-used Zr/O/W electron source and can attain emitted electrons with narrow energy width and high current density and has longer lifetime, an electron microscope which can attain high resolution image for a short period, and an electron beam lithography device having high throughput.
現用のＺｒ／Ｏ／Ｗ電子源よりも電子放出面の仕事関数を減少させ、狭エネルギー幅かつ高電流密度の放出電子が得られ、長寿命な電子源を提供し、高分解能像が短時間に得られる電子顕微鏡や高スループットな電子線描画装置を実現する。 - 特許庁 - To prevent the visual field deviation of a characteristic object at a stage without being sufficiently corrected in obtaining a coordinate value in a scanning electron microscope used in converting a coordinate value of a characteristic object on a sample sent from the other device to the coordinate value in the scanning electron microscope, in the scanning electron microscope having a function for observing the characteristic object on the sample.
試料上の特徴物を観察する機能を有する走査電子顕微鏡において、他の装置から送られてくる試料上の特徴物の座標値を走査電子顕微鏡での座標値に変換する際に用いる走査電子顕微鏡での座標値を取得するときに十分な補正のかかっていない段階での特徴物の視野ずれを防ぐ。 - 特許庁 - When observing a sample image, formed by a transmission electron microscope, with a camera 4 and if optical conditions of the transmission electron microscope are changed, luminance, obtained owing to the change of the optical conditions, of the sample image formed by the transmission electron microscope, is adjusted by changing a sensitivity of the camera 4 while using a correction value calculated from the optical conditions.
透過電子顕微鏡で作成した試料像をカメラ４で観察する場合において、透過電子顕微鏡の光学条件を変更した場合、当該光学条件の変更に伴って透過電子顕微鏡で作成した試料像の輝度を、前記光学条件から算出される補正値を用いてカメラ４の感度を変更することで調整するように構成される。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope for analysis having an analyzing function accurately performing element analysis and element mapping at a specific area of a sample at a correct analysis position (consonance of electron beam) with a simple constitution without providing an equivalent circuit on a scanning electron microscope side and an external analyzer side.
走査電子顕微鏡本体側と外部分析装置側に同等の回路を備えることなく、簡単な構成により、試料の特定領域の元素分析や元素マッピングを正しい分析位置（電子ビーム一致）で正確に行うことができる分析機能を有した分析走査電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope which guarantees precision of observation images obtained even if distortion is caused in a deflection signal.
偏向信号に歪みが生じても、その取得された観察画像の精度を保障する走査型電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - The inorganic oxide particles makes the base material impossible to view in an image obtained by observing the processing surface with a scanning electron microscope.
無機酸化物粒子は、加圧面を走査型電子顕微鏡により観察した像においては基材を視認不能としている。 - 特許庁 - To provide an inexpensive and space-saving scanning electron microscope having a wide visual field, high resolution, high efficiency detection, and uniform detection efficiency.
広視野、高分解能、高効率検出、均一検出効率の走査型電子顕微鏡を低コスト省スペースで提供する。 - 特許庁 - To provide a control device of a transmission electron microscope which can facilitate alignment of a transmitted wave and a through-hole of a phase plate.
透過波と位相板の貫通孔との間のアライメントを容易化できる透過電子顕微鏡の制御装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a scanning type electron microscope capable of observing an observation target as it is without processing it.
観察対象物に加工を施すことなく現状状態そのままでの観察を可能とする走査型電子顕微鏡の提供。 - 特許庁 - Information, such as the direction (way) of the inclination, is delivered from the electron microscope body control system 7 to a display control circuit 5.
この傾斜の方向（向き）等の情報は、電子顕微鏡本体制御系７から表示制御回路５に供給される。 - 特許庁 - To provide an iris device to be used for an electron microscope, in which a shape of an iris hole is stabilized and the dimensional accuracy of an iris is held.
絞り孔の形状が安定し、絞りの寸法精度が保たれた電子顕微鏡に用いる絞り装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a transmission electron microscope observation sample preparing method for a solid phase reactive sample and a charged particle beam device.
固相反応試料の透過電子顕微鏡観察用試料作製方法および荷電粒子ビーム装置を提供する。 - 特許庁 - To automatically execute focal point correction of an electron microscope; to display an astigmatic difference value; and to quantitatively execute astigmatism correction.
電子顕微鏡の焦点補正を自動的に行い、非点隔差量を表示させ、非点収差補正を定量的に実行する。 - 特許庁 - To realize a scanning electron microscope which is capable of selectively detecting electrons having specified energy in secondary electrons from a sample.
試料からの電子の内特定のエネルギーの電子を選択的に検出することができる走査電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁 - To provided an electron microscope quickly switching a monochromator while suppressing deterioration of acquisition data without reducing reliability.
モノクロメータのオンオフを、取得データの劣化を押さえ、信頼性の低下を伴うことなく速やかに行う電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁 - To prevent, by a simple structure, moisture in the atmosphere outside an electron microscope from being deposited on a sample surface as frost.
電子顕微鏡の装置外の大気中の水分が霜となって試料表面に付着するのを簡単な構造により防ぐ。 - 特許庁 - In addition, this phase plate 10 is arranged in a passage of electrons passing through an objective lens of a phase difference electron microscope and a sample.
そして、この位相板１０を、位相差電子顕微鏡の対物レンズ及び試料を通過した電子の通路に配置する。 - 特許庁 - To provide an aberration correcting device for an electron microscope which generates a negative spherical aberration and corrects a high-order aberration.
負の球面収差を生じさせ、且つ高次の収差を補正する電子顕微鏡用の収差補正装置を提供する。 - 特許庁 - To realize a transmission electron microscope capable of smoothly filming images for a wide range of magnifications from low to high.
低倍率から高倍率まで広い倍率範囲の像の撮影をスムーズに行うことができる透過電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁 - To realize an objective lens for scanning electron microscope capable of forming the appropriate distribution of magnetic field on an axis, according to a use.
用途に応じて適切な軸上磁場分布を形成することができる走査電子顕微鏡等の対物レンズを実現する。 - 特許庁 - To facilitate management/maintenance of a scanning electron microscope by carrying out performance evaluation in a comparatively simple and purposive way.
走査型電子顕微鏡において性能評価を比較的簡単かつ合目的的に行うことで管理・保守を容易にする。 - 特許庁 - The resist pattern widths of the formed resist patterns can be measured using, for example, SEM (electron microscope).
形成された前記２種類のレジストパターンのレジストパターン幅寸法は、例えばＳＥＭ（電子顕微鏡）等によって測定されればよい。 - 特許庁 - To provide a scanning electron microscope capable of detecting secondary electrons generated from a whole face of a target in high efficiency.
ターゲット全面から発生した２次電子を高い効率で検出することができる走査電子顕微鏡を提供すること。 - 特許庁 - SAMPLE STAGE FOR FOCUSED ION BEAM PROCESSING DEVICE, AND METHOD FOR MAKING TRANSMISSION TYPE ELECTRON MICROSCOPE PLANE-OBSERVED SEMICONDUCTOR THIN SAMPLE
集束イオンビーム加工装置の試料ステージと透過型電子顕微鏡平面観察用半導体薄片試料の作製方法 - 特許庁 - The chamber is useful for allowing wet samples (32) including living cells to be viewed under the electron microscope.
チャンバは、生きた細胞を内含する湿潤サンプル（３２）を電子顕微鏡の下で検分できるようにするために有用である。 - 特許庁 - To achieve a scanning electron microscope capable of automatically photographing an inclined review image from an arbitrary inclined observation direction.
任意の傾斜観察方向から傾斜レビュー画像を自動的に撮像することができる走査電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁 - MASK FOR MANUFACTURING OBSERVATION SAMPLE OF ELECTRON MICROSCOPE, MANUFACTURING METHOD AND MANUFACTURING APPARATUS OF OBSERVATION SAMPLE USING MASK
電子顕微鏡の観察用試料作製用マスク並びにこのマスクを用いた観察用試料の作製方法および作製装置 - 特許庁 - To facilitate a work of achieving a pair of corresponding optical image and electron microscope image for comparison observation or image composition.
対比観察や画像合成に際して、対応する光学画像と電子顕微鏡画像の対の取得作業を容易にする。 - 特許庁 - To provide a dyeing agent for electron microscope observation that is for easy electronic dyeing, and has high dyeing effect.
簡便に電子染色を行うことができ、かつ高い染色効果を有する電子顕微鏡観察用染色剤を提供する。 - 特許庁 - To provide an electron microscope having an efficiently operating spherical aberration correction system by preventing incorporation of undesirable aberration.
望ましくない収差の混入を防いで、効率良く動作する球面収差補正系を有する電子顕微鏡を提供する。 - 特許庁 - To measure a high S/N ratio and high space resolution elastic scattering electron image, an element image formed with characteristic X-rays and an element image formed by an electron beam energy spectrum in an electron microscope device having an element image generating function.
元素像を生成する機能を有する電子顕微鏡において、高Ｓ／Ｎかつ高空間分解能の弾性散乱電子像や特性Ｘ線による元素像や電子線エネルギー分光による元素像を測定できるようにする。 - 特許庁 - The converged electron beam 2 allowed to irradiate a semiconductor device 1 from a transmission electron microscope 4 transmits through the semiconductor device 1 as transmitted electron beam 3 to be allowed to be incident on a magnetic field deflecting type energy filter 7 through a slit 5.
透過型電子顕微鏡４から半導体装置１に照射された収束電子線２は、透過電子線３として半導体装置１を透過し、スリット５を介して磁場偏向型エネルギーフィルタ７に入射される。 - 特許庁
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