electron interferometerとは 意味・読み方・使い方

An electron wave can be split into two coherent waves by an electron-optical biprism interferometer.発音を聞く 例文帳に追加

電子波は、電子光学バイプリズム干渉計によって2つの可干渉な波に分割することができる。 - 科学技術論文動詞集

In addition to an upper-step and lower-step electron-beam biprisms in the conventional two-step electron-beam biprism interferometer, an electron beam deflector is used anew, or an electron-beam deflection function is also given to the upper-step or the lower-step electron-beam biprisms.例文帳に追加

従来の２段電子線バイプリズム干渉計における上段と下段の電子線バイプリズムに加えて、新たに、電子線偏向器を使用することにより、もしくは上段または下段の電子線バイプリズムに電子線偏向機能を合わせ持たせた。 - 特許庁

The present invention is for observation by an interference microscopic image by a two-step electron-beam biprism interferometer.例文帳に追加

従来の電子線干渉計測法では、電子線バイプリズムの極細線電極から発生するフレネル縞が取得画像ごとに変化して干渉像に重畳されるため、新たなアーティファクトの原因となり、高精度な再生像を得るには至っていない。 - 特許庁

To perform more accurate exposure by preventing the shift of an electron beam due to the displacement of a column caused by vibration disturbance and by lessening errors in measuring the position of a stage caused by the displacement of an interferometer.例文帳に追加

振動外乱に起因して生じうるカラムの変位による電子ビームのシフトを防止すること、干渉計の変位によるステージ位置の計測誤差を低減すること、それにより高精度な露光を可能にすることである。 - 特許庁

The interferometer determines an intensity ratio between a fundamental wave component of the modulated angle frequency ω_m and a double harmonic component in an interference signal, and calculates a line average electron density which is a physical quantity of the plasma 30 based on the intensity ratio and a phase variation.例文帳に追加

干渉計は、干渉信号における変調角周波数ω_ｍの基本波成分と２倍高調波成分の強度比を求め、該強度比と、位相変化量に基づいて、プラズマ３０の物理量である線平均電子密度を算出する。 - 特許庁