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To provide a filtration method to remove a nonremoved matter by using a filter made of a solid matter different from the nonremoved matter from drain mixed with the nonremoved matter of a semiconductor, metal, an inorganic matter, an organic matter, etc., discharged from a CMP device.例文帳に追加
ＣＭＰ装置から排出される半導体、金属、無機物または有機物等の非除去物が混入された排水から、非除去物とは異なる固形物から成るフィルタを用いて非除去物を除去する濾過方法を提供する。 - 特許庁
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