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「sublimate deposit」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 4件
In a film deposition apparatus 1 for depositing a reflection preventive film for a solar cell, a plasma beam Pb2 is fed in a film deposition chamber 9 to sublimate a tablet M consisting of silicon oxide to deposit the reflection preventive film.例文帳に追加
太陽電池用の反射防止膜を成膜する成膜装置1において、成膜室9内にプラズマビームPb2を供給し、酸化珪素からなるタブレットMを昇華させて反射防止膜を成膜する。 - 特許庁
To provide a crucible for evaporation and a method of evaporation which deposit a sublimable material with a uniform film thickness by stabilizing the distribution of steam flow generated without accompanying fluctuation of deposition conditions such as a film-forming rate, in deposition of the sublimate material.例文帳に追加
本発明は、昇華性材料の蒸着において、成膜レートのような蒸着条件の変動を伴わず、発生された蒸気の蒸気流分布を安定化させ、昇華性材料を均一な膜厚で堆積できる蒸着用ルツボおよび方法を提供することを目的とする。 - 特許庁
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