まいのさと４ちょうめの英語

投影光学系４とウエハＷの間に厚さと屈折率が等しい２枚の平行平面板５ａ，５ｂを配し、調整手段９によりこの２枚の平行平面板を光学系４の光軸に対して互いに逆方向に同じ量だけ傾けることにより、露光により光学系４に生じた非点収差を補正する。例文帳に追加

By arranging two plane parallel plates 5a and 5b, whose thickness and refractive indexes are equal, between a projection optical system 4 and a wafer W, and tilting the two plane parallel plates mutually only by the same amount in the direction opposite to the optical axis of the optical system 4 by a regulation means 9, the astigmatism caused in the optical system 4 by exposure is compensated. - 特許庁

光ファイバ６のコアの大きさと、マイクロレンズアレイ３と光ファイバアレイ４のコア端面の配置を、原稿２が設定位置にあるとき、マイクロレンズによる結像サイズよりも小さくなるようなコアサイズにし、結像位置よりもマイクロレンズ側にコアの端面を配置するように調整する。例文帳に追加

The size of the core of the optical fiber 6 and the arrangement of core end surfaces of the microlens array 3 and optical fiber array 4 are so adjusted that, when the document 2 is at a set position, the core size is made smaller than the formed image size obtained by the microlenses, and the end surface of the core is arranged closer to the microlens side than to the image formation position. - 特許庁