トレイレス搬送の英語

分割型トレイレス斜め基板搬送システム例文帳に追加

SPLIT-TYPE, TRAY-LESS AND TILTED SUBSTRATE TRANSPORTING SYSTEM - 特許庁

大きな保持力を要することなく大型の基板を保持し搬送することができ、真空処理室のゲート弁駆動用シリンダを小型軽量化することができる分割型トレイレス斜め基板搬送システムを提供する。例文帳に追加

To offer a split-type, tray-less and tilted substrate transporting system which can hold and transport large size of substrates without requiring a huge holding power and which enables the reduction in size and weight of a cylinder for driving a gate valve of a vacuum treatment chamber. - 特許庁

温度分布やバイアス分布を生じることなく大型基板に均一な製膜処理をすることができるトレイレス斜め基板搬送装置を提供する。例文帳に追加

To offer a tray-less and oblique type of substrate transporting equipment which enables a uniform film forming treatment over a large-size substrate without a temperature distribution and a bias distribution. - 特許庁