微細格子法の英語

形成される回折格子のさらなる微細化が図られた回折格子の形成方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method of forming a diffraction grating by which the formed diffraction grating is more finely micronized. - 特許庁

微細な格子点寸法を有するフォトレジスト格子パターンを高速で容易に形成する。例文帳に追加

To easily form a photoresist lattice pattern having a small lattice point size at a high speed. - 特許庁

反射防止構造体として好適な微細格子及びその製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide a fine grating suitable as an antireflection structure and a manufacturing method therefor. - 特許庁

良好な格子溝パターンなどの微細構造を有する素子の製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method for manufacturing an element having a microstructure such as a good grating groove pattern. - 特許庁

高アスペクト比の微細格子を形成可能な金型作製方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method for producing a die capable of forming fine lattices having a high aspect ratio. - 特許庁

今まで実現できなかった１００ｎｍレベル又はそれ以下のピッチの微細凹凸格子をｃｍ^2オーダー以上の大面積で実現することができる微細凹凸格子のピッチ縮小方法及びそれにより得られた微細凹凸格子部材を提供すること。例文帳に追加

To provide a means for realizing a fine concave-convex lattice having pitches of 100 nm level or less which has never been realized, with a large area of cm^2 order or more. - 特許庁

安価な装置により短時間で基材上に幅の狭い溝を形成可能であり、所望の形状の微細格子を形成可能な微細格子作製方法を提供する。例文帳に追加

To provide a fine grating manufacturing method by which trenches of narrow width can be formed on a base material by an inexpensive apparatus in a short time and a fine grating of a desired shape can be formed. - 特許庁

従来のホログラムや回折格子、マイクロ文字に替わるナノメートル３次元微細加工方法を提供する。例文帳に追加

To provide a nanometer three-dimensional fine machining method in place of a known method using hologram, diffraction grating and micro characters. - 特許庁