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プラズマ増速化学の英語
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英訳・英語 plasma‐enhanced chemical
「プラズマ増速化学」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
化学的強化剤層を用いて銅の蒸着速度を増加させるが、銅蒸着後、銅の表面に浮び上がった化学的強化剤層をプラズマ処理で除去することにより、化学的強化剤の高い比抵抗による銅配線の電気的特性低下を防止することができる半導体素子の金属配線形成方法を提供する。例文帳に追加
To provide the metal wiring formation method of a semiconductor device that can prevent deterioration in the electric characteristics of copper wiring due to the high specific resistance of a chemical reinforcing agent by eliminating the layer of the chemical reinforcing agent floating on the surface of copper by plasma treatment after copper deposition although the layer of the chemical reinforcing agent is used for increasing the deposition speed of copper. - 特許庁
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plasma‐enhanced chemical
JST科学技術用語日英対訳辞書
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