プラズマ脱着の英語

放電電極４２は、吸脱着部材４１に対向して配置され、プラズマを生起させる。例文帳に追加

The discharge electrode 42 is disposed in opposition to the adsorbing/desorbing member 41, and generates plasma. - 特許庁

また、前段の各吸着部材に個別に取付けられた加熱装置により、水分、硫化水素、アンモニアを時間差脱着して、プラズマ分解時の高湿度化を避けながら有機ガスだけでなく硫化水素やアンモニアも効率よく処理することができるようにした。例文帳に追加

Further, moisture, hydrogen sulfide and ammonia are subjected to time lag desorption by heaters individually attached to the respective adsorbing members of the front stage to efficiently treat not only an organic gas but also hydrogen sulfide or ammonia while avoiding an increase in humidity at the time of plasma decomposition. - 特許庁

有機膜を基板上に形成する工程と、上記有機膜にプラズマ処理を行ったパターン形成用の凸部又は凹部を有するモールドを前記基板に対向するように圧着させる工程と、前記基板から前記モールドを脱着することによりパターンを形成するパターン形成方法。例文帳に追加

The pattern forming method comprises a step of forming an organic film on a substrate, a step of compression-bonding a plasma-processed mold, having pattern-forming protrusions and recesses on the organic film with the mold so as to face the substrate, and a step of removing the mold from the substrate to form a pattern. - 特許庁