plasma desorptionとは 意味・読み方・使い方

By the generation of the plasma, the desorption of unreacted adsorption gas is promoted, and the reduction of the introduction of purge gas and the reduction of exhaust time are attained.例文帳に追加

プラズマ発生より、未反応の吸着ガスの脱離を促進させて、パージガスの導入時間及び排気時間の短縮を図る。 - 特許庁

To provide a device and a method for processing plasma, which easily conduct a desorption of a substrate after it is held and processed with an electrostatic absorption.例文帳に追加

静電吸着で基板の保持を行って処理した後に，基板の脱離を容易に行うことを可能とするプラズマ処理装置およびプラズマ処理方法を提供する。 - 特許庁

Further, moisture, hydrogen sulfide and ammonia are subjected to time lag desorption by heaters individually attached to the respective adsorbing members of the front stage to efficiently treat not only an organic gas but also hydrogen sulfide or ammonia while avoiding an increase in humidity at the time of plasma decomposition.例文帳に追加

また、前段の各吸着部材に個別に取付けられた加熱装置により、水分、硫化水素、アンモニアを時間差脱着して、プラズマ分解時の高湿度化を避けながら有機ガスだけでなく硫化水素やアンモニアも効率よく処理することができるようにした。 - 特許庁