ラバットの英語

このローラバット９６と待機バット４１とは連結管４２で連結されており、待機バット４１上の溶液はすべてローラバット９６へと送液される。例文帳に追加

The roller bat 96 and the standby bat 41 are connected to each other via a connecting pipe 42, and a solution on the standby bat 41 is all fed to the roller bat 96. - 特許庁

また、排気配管２５およびオーバーフロー廃液配管２３、ローラバット廃液配管２４をローラバット９６に設置すればよいので配管構成が簡略化される。例文帳に追加

Additionally, since what is necessary is just to install an exhaust air pipe 25, an overflow waste-liquid pipe 23 and a roller-bat waste-liquid pipe 24 in the roller bat 96, the piping constitution is simplified. - 特許庁

基板処理装置１のノズルメンテナンスユニット９は、ローラ９５と、ローラ９５を収納するローラバット９６と、ノズルの洗浄に用いられるノズル洗浄ユニット４０と、ノズル洗浄ユニット４０が待機する待機バット４１と、を備えている。例文帳に追加

The nozzle maintenance unit 9 of the apparatus 1 for treating a substrate includes a roller 95, a roller bat 96 housing the roller 95, a nozzle cleaning unit 40 used for cleaning a nozzle, and a standby bat 41 which is waited by the nozzle cleaning unit 40. - 特許庁

そのため、スリットノズル５５やノズル洗浄ユニット４０より排出された洗浄液や処理液はすべて、ローラバット９６に一旦貯留され、予備吐出で処理液が吐出されたローラ９５外周面の洗浄に再利用できる。例文帳に追加

Therefore, all the cleaning liquid and the treated liquid discharged from a slit nozzle 55 and the nozzle cleaning unit 40 are stored in the roller bat 96 once and can be reused for cleaning the outer peripheral surface of the roller 95 discharged with the treated liquid as pre-discharge. - 特許庁