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主応力線図の英語
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主表面が（１００）面である半導体基板を用いたダイアフラム式の半導体圧力センサにおいて、検出圧力の微圧化を図った場合でも、金属配線のクリープ応力によるセンサ出力の変動を抑制できるようにする。例文帳に追加
To suppress the variation of an output of as diaphragm type semiconductor pressure sensor using a semiconductor substrate having a main surface to be the (100) face due to the creep stress of metal wirings even when the detectable pressure is intended to be very low. - 特許庁
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