反跳粒子の英語

α線等の荷電粒子を放出する放射性核種を同定したり、放射能強度を測定したりする荷電粒子測定装置における反跳粒子による荷電粒子検出器の汚染を抑制できる荷電粒子測定装置を提供することにある。例文帳に追加

To provide an apparatus for measuring charged particles for identifying a radionuclide radiating charged particles such as α-rays and measuring radioactivity intensity, in which contamination of a charged particle detector caused by recoil particles can be reduced. - 特許庁

液滴状のナノ粒子１は基板２表面での反跳が少なく高い堆積率で堆積することができる。例文帳に追加

The a droplet-shaped nanoparticles 1 have reduced recoil in the surface of the substrate 2, and can be deposited at a high deposition rate. - 特許庁

荷電粒子線装置の荷電粒子線または反跳電子の照射によって、装置の内壁が放出するＸ線を測定して、汚れ物質の量を判別する。例文帳に追加

A quantity of contaminants is determined by measuring X-rays irradiated from the inner wall of the device by the irradiation of charged particle beams or recoil electrons of the charged particle beam device. - 特許庁

成膜装置を、ターゲット２へ向けて微粒子１を噴射するノズル４と、ノズル４の周囲に設けられ、ノズル４から噴射された微粒子１のうちターゲット２に反跳された微粒子１を吸引する吸引部５とを備えるものとする。例文帳に追加

The film deposition device includes: a nozzle 4 for ejecting the fine particles 1 toward the target 2; and a suction part 5 which sucks the fine particles 1 recoiled by the target 2 among the fine particles 1 ejected from the nozzle 4. - 特許庁

低エネルギーイオン散乱分光法による弾性反跳粒子検出法によって表面処理装置（成膜装置１）内の薄膜表面の水素濃度を測定するために、真空室２内にイオンを入射するイオン源１１と該入射イオンによって反跳される反跳原子を検出する検出器１２とを、表面処理装置が備える真空室２内に連通させて設ける。例文帳に追加

An ion source 11 injecting ions into a vacuum chamber 2 and a detector 12 detecting recoil atoms made to recoil by injection ions are communicated and mounted in the vacuum chamber 2 installed to the surface treatment apparatus for measuring the hydrogen concentration of a thin-film surface in the surface treatment apparatus (a film deposition device) by an elastic recoil- particle detecting method by a low-energy ion scattering spectral method. - 特許庁

シャッタ１４の端面１４ａをイオンビームの拡散角度よりも大きい傾斜角度を有する傾斜面とすることで、シャッタ端面１４ａでの反射イオンや反跳粒子を少なくできる。例文帳に追加

Since the end face 14a of the shutter 14 has an inclination surface having an inclination angle larger than a diffusion angle of ion beams, reflected ions and recoil particles on the shutter end face 14a can be reduced. - 特許庁

シャッタ端面での反射イオンや反跳粒子の影響を少なくし、周波数調整を精度よく行うことが可能な周波数調整装置を提供する。例文帳に追加

To provide a frequency adjusting apparatus capable of accurately performing frequency adjustment by reducing the influence of reflected ions or recoil particles on an end face of a shutter. - 特許庁