基節板の英語

基板処理装置および気圧調節方法例文帳に追加

SUBSTRATE TREATMENT DEVICE AND ATMOSPHERIC PRESSURE CONDITIONING METHOD - 特許庁

基板処理装置及び温度調節装置例文帳に追加

SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND TEMPERATURE CONTROLLING DEVICE - 特許庁

実装基板、高さ調節装置及び実装方法例文帳に追加

MOUNTING SUBSTRATE, HEIGHT ADJUSTMENT DEVICE, AND MOUNTING METHOD - 特許庁

そして、基板搭載台３１と基板１との間に形成した隙間内を温度調節した気体が移動して、基板１の温度が均一に調節される。例文帳に追加

The temperature-controlled gas moves in the gap, formed between the substrate mount base 31 and the substrate 1, and uniformly adjusts the temperature of the substrate 1. - 特許庁

基板１０は、基板温度調節機構５により基板保持面２０を通して熱交換されて温度調節される。例文帳に追加

The substrate 10 is subjected to heat exchange through a substrate holding surface 20 to be regulated in temperature by a substrate temperature control mechanism 5. - 特許庁

被処理基板の温度調節装置及び温度調節方法、並びにこれを備えたプラズマ処理装置例文帳に追加

DEVICE AND METHOD FOR CONTROLLING TEMPERATURE OF SUBSTRATE TO BE PROCESSED, AND PLASMA PROCESSING EQUIPMENT EQUIPPED WITH THIS - 特許庁

プレート、これを有する基板温度調節装置及びこれを有する基板処理装置。例文帳に追加

PLATE, DEVICE FOR ADJUSTING TEMPERATURE OF SUBSTRATE HAVING THE PLATE AND APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE HAVING THE DEVICE - 特許庁

半導体材料で作られた基板の表面上または基板内の歪みを調節するプロセス例文帳に追加

PROCESS FOR ADJUSTING STRAIN ON SURFACE OR INSIDE OF SUBSTRATE MADE FROM SEMICONDUCTOR MATERIAL - 特許庁