増成原理の英語

少なくとも最上層に窒素原子を構成原子とする膜を有する被エッチング膜を基板上に形成する工程と、前記被エッチング膜を熱酸化処理を施してその表面に酸化層を形成する工程と、前記被エッチング膜上に化学増幅レジスト膜を形成する工程、前記化学増幅レジスト膜を選択的に露光し、現像する工程とを含むことを特徴とする。例文帳に追加

The method is characterized in that it includes processes of: forming a film to be etched having a layer containing a nitrogen atom as a structural atom as at least the uppermost layer on a substrate; subjecting the film to be etched to a thermal oxidation process to form an oxidized layer on the surface; forming a chemical amplification resist film on the film to be etched; and selectively exposing and developing the chemical amplification resist film. - 特許庁

塩素含有のプラスチックの廃棄物が急増していてその処理が問題となっているプラスチック類を３００℃程度の温度で加熱し、プラスチック類から塩素系ガスを分解析出して無害なプラスチック残渣を得、これを燃料として利用することが知られているが、発生した分解ガス中には多量の塩素系ガスが含まれており、処理の仕方によりダイオキシンの生成原因となる。例文帳に追加

To treat a chlorine-containing polymer resin and to use the residue as a fuel without damaging facilities and without forming dioxins by decomposing and precipitating chlorine-based gases from a specific material to be treated, forming a harmless chloride and making the material to be treated harmless. - 特許庁