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平板マグネトロンの英語
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英訳・英語 planar magnetron
「平板マグネトロン」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 10件
平板マグネトロンスパッタリング装置例文帳に追加
PLANAR MAGNETRON SPUTTERING SYSTEM - 特許庁
マグネトロン型平行平板表面処理装置例文帳に追加
MAGNETRON TYPE PARALLEL FLAT PLATE SURFACE TREATING EQUIPMENT - 特許庁
平板型マグネトロンスパッタリング装置例文帳に追加
平行平板型マグネトロンスパッタ装置、固体電解質薄膜の製造方法、及び薄膜固体リチウムイオン2次電池の製造方法例文帳に追加
PARALLEL FLAT PLATE TYPE MAGNETRON SPUTTERING APPARATUS, METHOD FOR PRODUCING SOLID ELECTROLYTE THIN FILM, AND METHOD FOR PRODUCING THIN FILM SOLID LITHIUM ION SECONDARY BATTERY - 特許庁
固体電解質薄膜の製造方法、平行平板型マグネトロンスパッタ装置、及び薄膜固体リチウムイオン2次電池の製造方法例文帳に追加
MANUFACTURING METHOD FOR SOLID ELECTROLYTE THIN FILM, PARALLEL FLAT-PLATE TYPE MAGNETRON SPUTTERING DEVICE, AND MANUFACTURING METHOD FOR THIN-FILM SOLID LITHIUM ION SECONDARY BATTERY - 特許庁
真空に排気可能な容器内に、平板型マグネトロンカソードと基材保持機構とが対向して配置されているスパッタ成膜装置において、前記マグネトロンカソードと前記基材保持機構との間に、前記マグネトロンカソードの放電面を囲んで環状の磁性体が配置されていることを特徴とする、スパッタ成膜装置。例文帳に追加
In the sputtering film deposition apparatus, a flat plate type magnetron cathode and a base material holding mechanism are arranged opposite to each other in a vessel to be evacuated to vacuum, an annular magnetic material is arranged surrounding a discharge surface of the magnetron cathode between the magnetron cathode and the base material holding mechanism. - 特許庁
マグネトロン放電用磁気回路が設けられた矩形平板ターゲットを有するロータリ式スパッタリング装置において、基板の表面に均一な膜厚の薄膜が形成できるスパッタリング方法とその装置を提供する。例文帳に追加
To provide a sputtering method capable of forming a thin film of uniform thickness on the surface of a substrate in a rotary type sputtering device having a rectangular planar target provided with a magnetic circuit for magnetron discharge and to provide the device. - 特許庁
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「平板マグネトロン」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 10件
成膜速度が向上し、プラズマのエネルギによるダメージがない固体電解質薄膜の製造方法、平行平板型マグネトロンスパッタスパッタ装置、及び薄膜固体リチウムイオン2次電池の製造方法の提供。例文帳に追加
To provide a manufacturing method for a solid electrolyte thin film and a parallel flat-plate type magnetron sputtering device, which can improve a deposition rate and is free from damage caused by energy of plasma, and to provide a manufacturing method for a thin-film solid lithium ion secondary battery. - 特許庁
この固体電解質薄膜の製造方法を実施するための、特定の防着板を備えた平行平板型マグネトロンスパッタ装置、及びこの装置を用いて得られた固体電解質薄膜を備えた薄膜固体リチウムイオン2次電池を製造する。例文帳に追加
The parallel flat plate type magnetron sputtering device having a specific sticking prevention plate is provided to perform the manufacturing method for a solid electrolyte thin film, and the thin film solid lithium ion secondary battery having the solid electrolyte thin film obtained by the magnetron sputtering device is manufactured. - 特許庁
本発明に係るマグネトロン冷却フィン200は、アノード係止用通孔210aと縁部外側に拡張折り曲げられた複数の係止片(221〜226)とを有する平板形胴体210の一面に多数の乱流促進形突出物230を備えることを特徴とする。例文帳に追加
A magnetron cooling fin 200 has a large number of turbulence promoting protrusions 230 on one surface of a tabular body 210 having a through-hole for anode locking 210a and a plurality of locking pieces (221 to 226) expanded and bent toward outside edge parts. - 特許庁
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planar magnetron
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