清浄度モニタの英語

クリーンルームの空気清浄度モニタリング方法及びこれに用いる空気清浄度モニタリング装置例文帳に追加

AIR CLEANLINESS MONITORING METHOD OF CLEAN ROOM AND AIR CLEANLINESS MONITORING DEVICE USED FOR THE METHOD - 特許庁

モニター用吸収缶に、作業環境中の空気を通気し、モニター用吸収缶を通過した空気中の除去対象物質の濃度をモニタリングすることにより、作業者が使用している空気清浄用吸収缶の破過をモニターする方法。例文帳に追加

In the method, the breakdown of an absorption can, for air cleaning, used by a worker is monitored in such a way that air in a working environment is ventilated to an absorption can for monitoring and that the concentration of a substance, to be measured, in the air which passes the absorption can for monitoring is monitored. - 特許庁

前記制御手段１４は、汚染度モニタ１６の出力値に基づいて、前記殺菌手段１２の出力および殺菌方法を切り替え制御して前記エリア内の清浄度を維持している。例文帳に追加

The control means 14 keeps cleanness in the area by performing the change-over control of the output and sterilizing method of the sterilizing means 12, based on the output value of the degree-of-pollution monitor 16. - 特許庁

また、本発明は、蒸着ホルダを成膜室から設置室１０３ｂに移動させた後、蒸着ホルダの部品、代表的には膜厚モニタやシャッター等をクリーニングすることで交換頻度を下げ、成膜室内の清浄度を保つことができる。例文帳に追加

Thus, the parts exchange frequency is reduced, and the cleanliness inside the film deposition chamber can be retained. - 特許庁

インラインモニタにおいて被処理基板を集束イオンビーム加工して試験片をピックアップし、加工後の被処理基板を、次段の基板処理工程において要求される清浄度にクリーニングしてから半導体製造ラインに戻す。例文帳に追加

A specimen is picked up from a processed substrate by the use of a focused ion beam in an in-line monitor, and the processed substrate which has been subjected to processing is cleaned to satisfy the cleanliness level required for the following substrate treatment and then returned to a semiconductors production line. - 特許庁