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熱スピン流生成の英語
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「熱スピン流生成」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 2件
スピン流熱変換素子及び熱電変換素子に関し、熱的にスピン流を生成するとともに、その具体的応用を実現する素子を提供する。例文帳に追加
To provide a spin flow thermal conversion element and a thermal conversion element for thermally generating a spin flow and also obtaining its specific application. - 特許庁
スピンチャック11に保持されたウエハWの表面にレジスト剥離液としてのSPMを供給するためのSPMノズル12と、スピンチャック11に保持されたウエハWの表面に加熱された純水と加熱された窒素ガスとを混合して生成される液滴の噴流を供給するための二流体ノズル13とが備えられている。例文帳に追加
This device comprises: an SPM nozzle 12 for supplying SPM acting as resist separation agent to the surface of a wafer W held by a spin chuck 11; and a two-fluid nozzle 13 for supplying jet stream of drops generated by mixing heated purified water and heated nitrogen gas to the surface of the wafer W held by the spin chuck 11. - 特許庁
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