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誘電障壁放電の英語
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英訳・英語 dielectric barrier discharge
「誘電障壁放電」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 3件
誘電障壁放電ランプ例文帳に追加
DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE LAMP - 特許庁
化学蒸着反応器内で、活性化窒素原子、特に誘電体障壁放電により発生させた活性化窒素原子およびIII族金属の有機金属化合物１種以上を、従来のＭＯＣＶＤ法におけるよりも低温の７００℃〜１，０００℃に加熱した基板上に化学蒸着させる製造方法である。例文帳に追加
This method for producing a III group metal nitride thin film comprises carrying out chemical vapor deposition of activated nitrogen atom, especially activated nitrogen atom generated by dielectric barrier discharge and one or more kinds of organometallic compounds of III group metals on a substrate heated to 700°C to 1,000 which is a temperature lower than that in conventional MOCVS method. - 特許庁
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1
dielectric barrier discharge
JST科学技術用語日英対訳辞書
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