CVDsとは 意味・読み方・使い方

To achieve a semiconductor-manufacturing system that can shorten a process time required for film formation by CVDs.例文帳に追加

ＣＶＤによる成膜に要するプロセス時間の短縮化を図れる半導体製造システムを実現すること。 - 特許庁

Substrates 9 and 15 are placed inside processing chambers 2 and 12 of antenna type plasma CVDs 1 and 11, and carbon nanotubes are formed on the substrates 9 and 15 when the inside of the processing chambers 2 and 12 is decompressed to a predetermined pressure under the flow of a material gas and plasma is produced from the end 6a of an antenna 6.例文帳に追加

アンテナ型プラズマＣＶＤ１，１１の処理室２，１２内に基板９，１５を配置し、原料気体の流通下、処理室２，１２内を所定の圧力に減圧し、アンテナ６の先端６ａからプラズマを発生させて基板９，１５上にカーボンナノチューブを形成する。 - 特許庁