Closed Cup Coaterとは 意味・読み方・使い方

To provide a spin coater for ensuring to close the top of an outer cup with an outer cup lid with the upper surface of an inner cup closed by an inner cup lid, by allowing the outer cup lid always to be free in up and down direction.例文帳に追加

基板の大型化に伴って回転塗布装置が大型化すると蓋体の閉塞性維持が困難になり、塗布液の使用量の増大により回収・排出が難しくなり、外気が浸入し易くなる。 - 特許庁

A resist solution is dripped on a glass substrate G, the glass substrate G is rotated at high speed while being closed in a coater cup 20 to spread the resist all over the glass substrate G to thin the resist film, and after that, the cover 22 of the coater cup 20 is opened to take in outer air.例文帳に追加

ガラス基板Ｇ上にレジスト溶液を滴下し、コーターカップ２０を密閉した状態でガラス基板Ｇを高速回転してガラス基板Ｇ全体に拡散させてレジスト膜を薄膜化した後、一旦コーターカップ２０の蓋２２を開けて外気を取り入れる。 - 特許庁