Kelvin probe force microscopeとは 意味・読み方・使い方

SCANNING PROBE MICROSCOPE, MEASUREMENT METHOD USING SAME, AND KELVIN FORCE MICROSCOPE例文帳に追加

走査型プローブ顕微鏡を用いた測定方法およびその走査型プローブ顕微鏡、並びに、ケルビンフォース顕微鏡 - 特許庁

Next, the scanning Kelvin force microscope having the conductive cantilever 1A wherein the work function A of the probe 2A is concretely calculated is used to measure the surface potential (y) of an unknown sample different from the standard sample 3A.例文帳に追加

次に、深針２Ａの仕事関数Ａが具体的に算出された導電性カンチレバー１Ａを有する走査型ケルビンフォース顕微鏡を用いて、標準試料３Ａとは異なる未知試料の表面電位ｙを測定する。 - 特許庁

In the evaluation of the semiconductor device 1 provided with a semiconductor layer 2 and a metal layer 3, the surface potential of the semiconductor layer 2 and the surface potential of the metal layer 3 are measured by using the same cantilever 6 of a Kelvin probe force microscope (KFM).例文帳に追加

半導体層２及び金属層３を有する半導体装置１の評価において、ケルビンプローブフォース顕微鏡（ＫＦＭ）の同一のカンチレバー６を使用して半導体層２の表面電位及び金属層３の表面電位を測定する。 - 特許庁

The work function measuring instrument 100A is constituted so as to calculate the work function of the probe 2A of a conductive cantilever 1A from the known work function value of each region of a standard sample 3A calculated by photoelectron spectroscopy and the surface potential value of each region of the standard sample 3A measured by a scanning Kelvin force microscope having the conductive cantilever 1A.例文帳に追加

仕事関数測定装置１００Ａは、光電子分光法により求められた標準試料３Ａの各領域の既知の仕事関数値と、導電性カンチレバー１Ａを有する走査型ケルビンフォース顕微鏡により計測された標準試料３Ａの各領域の表面電位値とから、導電性カンチレバー１Ａの深針２Ａの仕事関数を算出する。 - 特許庁