Mask Overlay Accuracyとは 意味・読み方・使い方

To provide a photomask and a method for measuring shot overlay accuracy by which the overlay accuracy among shots belonging in different mask layers can be rapidly measured and shot overlay with high accuracy can be achieved, and to provide a method for manufacturing a semiconductor device.例文帳に追加

異なるマスクレイヤに属するショット間の重ね合わせ精度を高速に計測することができ、高精度なショット重ね合わせを実現できるフォトマスク、重ね合わせ精度計測方法及び半導体装置の製造方法を提供する - 特許庁

A distance between the bumps 22 and the solder resists 16 is set on the basis of a mask overlay accuracy of the patterning.例文帳に追加

バンプ２２−ソルダーレジスト１６間の間隔は、パターニングのマスク合わせ精度に基づいて設定される。 - 特許庁