Mf temperatureとは 意味・読み方・使い方

Further, the refined water producing apparatus 10 is further provided with a heat-exchanger 16 which is arranged on the preceding stage of the MF membrane 18 and heats the raw water such that water to be treated from the passage of the MF membrane 18 until the completion of passage through the EDI device 23 keeps a temperature of 50°C to 90°C.例文帳に追加

また、精製水製造装置１０は、ＭＦ膜１８の前段に配置され、かつＭＦ膜１８からＥＤＩ装置２３通過後までの被処理水が５０℃以上、９０℃以下の温度となるよう原水を加熱する熱交換器１６をさらに備えている。 - 特許庁

At least one element selected from a group of mask table MT, substrate table WT, projection system PL and isolated reference frame MF is surrounded at least partially and at least one temperature control member VC, TE, TB for controlling the temperature of the surrounded elements is included.例文帳に追加

マスクテーブルＭＴ、基板テーブルＷＴ、投影システムＰＬおよび隔離した基準フレームＭＦからなる群から選択した少なくとも１個の要素を少なくとも部分的に囲み、囲まれた要素の温度を制御する少なくとも１個の温度制御部材ＶＣ，ＴＥ，ＴＢを含む。 - 特許庁