Radical 116とは 意味・読み方・使い方

The high frequency power source 116 feeds electric power to the radical generating device 115, perfectly covers a sealed metallic vessel and an insulated electrode with dielectrics, introduces gas containing a reactive gas from a gas introduction part, applies high frequency electric power to the space between the metallic vessel and the electrode to cause discharge, and releases the radical of the reactive gas caused by the discharge.例文帳に追加

高周波電源１１６はラジカル発生装置に電力を供給し、密閉された金属容器と絶縁された電極を誘電体で完全に被覆し、ガス導入部から反応性ガスを含むガスを導入し、金属容器と電極間に高周波電力を印加して放電を起こし、放電によって生じた反応性ガスのラジカルを放出可能とする。 - 特許庁