Si multilayer filmとは 意味・読み方・使い方

The multilayer film reflection mirror is provided with: an Mo/Si multilayer film 6 having a structure in which a layer principally comprising Mo and a layer principally comprising Si are alternately and periodically formed on the surface of a substrate 4; and an Ru/Si multilayer film 8 having a structure in which a layer principally comprising Ru and a layer principally comprising Si are alternately and periodically formed on the Mo/Si multilayer film.例文帳に追加

基板（４）表面にＭｏを主成分とする層とＳｉを主成分とする層を交互に周期的に成膜した構造を有するＭｏ／Ｓｉ多層膜（６）と、前記Ｍｏ／Ｓｉ多層膜上にＲｕを主成分とする層とＳｉを主成分とする層を交互に周期的に成膜した構造を有するＲｕ／Ｓｉ多層膜（８）とを備える。 - 特許庁

A multilayer film of Mo/Si is formed on the front surface of a mirror 510, and blazed grooves 513 are formed on the multilayer film.例文帳に追加

ミラー５１０の表面には、Ｍｏ／Ｓｉの多層膜が設けられており、この多層膜にブレーズド溝５１３が形成される。 - 特許庁

The area of the region where the Mo/Si multilayer film 3 is formed is smaller than the region where the copper thin film 1 is formed, exposing a part of the copper thin film 1 from the Mo/Si multilayer film 2.例文帳に追加

Ｍｏ／Ｓｉ多層膜３の成膜されている領域の面積は、銅薄膜１の成膜領域よりも狭くなっており、銅薄膜１の一部がＭｏ／Ｓｉ多層膜３から露出している。 - 特許庁

The resistance of the MoSi_2 thin film 3 to oxidization prevents the reflectivity of the film 3 from lowering due to the oxidization of the Mo/Si multilayer film 2 when the carbon adhering to the multilayer film reflector is removed through the oxidization of it.例文帳に追加

MoSi_２薄膜３は酸化されにくいので、この多層膜反射鏡に付着した炭素を酸化して除去する際に、Mo/Si多層膜２が酸化されて反射率が低下するのを防止できる。 - 特許庁

In a reflecting film comprising an Mo/Si multilayer film formed by laminating periodically an Mo layer 1 with the thickness of 2.8 nm and an Si layer 2 with the thickness of 4.2 nm as many as 100 (50-pair) layers in total on a substrate 3, an Ru layer 4 is formed on the Si layer 2 on the outermost surface side of a periodical structure.例文帳に追加

基板３の上に、厚さ2.8nmのMo層１と厚さ4.2nmのSi層２が周期的に合計100（５０対）層積層されたMo/Si多層膜からなる反射膜において、周期構造の最表面側にあたるSi層２上に、Ru層４が成膜されている。 - 特許庁

Next, an Mo/Si multilayer film is formed in an (optical) effective region that is one size smaller than the protection layer 2.例文帳に追加

次に、この保護層２よりも一回り小さい（光学的な）有効領域内へ、マグネトロンスパッタリングによりMo/Si多層膜を形成する。 - 特許庁

A multilayer film of Mo/Si is formed on the front surface 131 of an EUV collector mirror 130, and blazed grooves 133 are formed in the multilayer film.例文帳に追加

ＥＵＶ集光ミラー１３０の表面１３１には、Ｍｏ／Ｓｉの多層膜が設けられており、この多層膜にブレーズド溝１３３が形成される。 - 特許庁

Meanwhile, a target-holding means 18 changes the target material 2 alternately to Mo and Si, to form a Mo/Si multilayer film on the face 1a to be film-formed of the substrate 1.例文帳に追加

この際、ターゲット保持手段１８は、ターゲット材２を、ＭｏとＳｉとに交互に切り換えて、基板１の成膜面１ａ上にＭｏ／Ｓｉ多層膜を形成する。 - 特許庁