Tantalum pentafluorideとは 意味・読み方・使い方

As the tantalum compound, a tantalum halide is preferred and specifically, tantalum pentafluoride, tantalum pentachloride, tantalum pentabromide or tantalum pentaiodide can be mentioned, and tantalum pentachloride or tantalum pentabromide is preferred.例文帳に追加

タンタル化合物としては、ハロゲン化タンタルが好ましく、具体例として、五弗化タンタル、五塩化タンタル、五臭化タンタルまたは五沃化タンタル等が挙げられ、好ましくは五塩化タンタルまたは五臭化タンタルである。 - 特許庁

Alternating layers of tantalum and tantalum nitride are deposited onto the semiconductor device substrate by chemical vapor deposition from a tantalum pentafluoride precursor vapor, with intermittent ammonia plasma treatment of the tantalum and tantalum nitride such that each tantalum layer and each tantalum nitride layer are treated at least once to thereby reduce the evolution of HF gas.例文帳に追加

タンタル及び窒化タンタルの交互層を、各タンタル層及び各窒化タンタル層を少なくとも一回処理することによりＨＦガスの発生を減少させるようなタンタル及び窒化タンタルの断続的なアンモニアプラズマ処理と共に、五フッ化タンタル前駆体の蒸気から化学蒸着によって半導体デバイスの基板上へ堆積させる。 - 特許庁