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Wiktionary英語版での「a LiTaO」の意味 |
Alitao
出典:『Wiktionary』 (2026/05/23 15:47 UTC 版)
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該当件数 : 1件
To efficiently eliminate the chlorine (Cl) component by rinsing a LiTaO substrate, around electrodes after etching of which the Cl component is attached, with pure water whose insulation resistance is decreased to 0.2 MΩ or below resulting from addition of alcohol through high-speed revolution and to prevent electrostatic breakdown caused between rinse liquid and the substrate through the revolution of the substrate.例文帳に追加
本発明は、エッチング後の電極周辺にＣｌ成分が付着したＬＴ基板をアルコールを添加して絶縁抵抗を０．２ＭΩ以下にした純水で高速回転してリンスすることにより効率よくＣｌ成分を除去するとともに、基板が回転することによってリンス液と基板との間に発生する静電破壊を防止することを目的とする。 - 特許庁
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