am4とは 意味・読み方・使い方

Alignment marks AM1 to AM4 including a cross pattern and a plurality of concentric circular patterns are formed on an upper surface of the substrate 9.例文帳に追加

基板９の上面に、十字パターンと複数の同心円パターンとを含むアライメントマークＡＭ１〜ＡＭ４が形成されている。 - 特許庁

Consequently, the pattern drawing device 1 can record a regularity pattern by the optical head and alignment marks AM1 to AM4 by the alignment drawing heads 41, 42, 43, and 44 on the substrate 9 in suitable positional relationship.例文帳に追加

このため、パターン描画装置１は、光学ヘッド３２による規則性パターンとアライメント描画ヘッド４１，４２，４３，４４によるアライメントマークＡＭ１〜ＡＭ４とを、基板９上に適正な位置関係で記録することができる。 - 特許庁

The pattern drawing device 1 photographs at least a part of the alignment marks AM1 to AM4 by using alignment cameras 41 to 44 respectively, and calculates coordinates of an intersection of the cross pattern from a circular arc included in image data D1 to D4.例文帳に追加

パターン描画装置１は、アライメントカメラ４１〜４４によりそれぞれアライメントマークＡＭ１〜ＡＭ４の少なくとも一部を撮影し、画像データＤ１〜Ｄ４中に含まれる円弧から、十字パターンの交点の座標を算出する。 - 特許庁