blank deflectorとは 意味・読み方・使い方

A CP selective deflector 32 deflects the electron beam surely from the sample surface during the beam blanking period in order to adjust the synchronization error during the beam blank period, so that the synchronization error of a plurality of electrodes of the deflector 32 is below an allowable value, thus surely preventing the patterning failure due to the beam leakage.例文帳に追加

CP選択偏向器３２の複数の電極部の同期誤差が許容値以下となるように、ビームブランク期間内に同期誤差の調整を行うため、ビームブランク期間に確実に電子ビームを試料面からそらすことができ、ビーム漏れによるパターニング不良を確実に防止できる。 - 特許庁

To provide a deflector for supplying gobs which is capable of correctly dropping the gobs to the center of a blank mold by perpendicularly correcting the postures of the gobs without using funnels.例文帳に追加

ファンネルを用いずに、ゴブの姿勢を垂直に矯正して粗型の中心に正しく落下させることができるゴブ供給用デフレクタを提供する。 - 特許庁