channelling methodとは 意味・読み方・使い方

To provide a nonvolatile semiconductor memory device which can attain ultra-miniaturization and high density by controlling short-channelling due to bird's beaks without complicating the manufacturing processes and can realize a low operating voltage and improvement in charge holding characteristics, and also to provide a method of manufacturing the same device.例文帳に追加

製造工程を複雑にすることなく、バーズビークによる短チャネル化を抑制して微細化、高密度化を達成し、動作電圧の低電圧化及び電荷保持特性の向上を図ることができる不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法の提供。 - 特許庁

To provide a method, where in a semiconductor substrate, there is formed a ultra-shallow junction whose dopant concentration distribution is narrowed through control of its junction depth, by restricting the channelling of dopants in the ion implantation process to a minimum and by controlling the diffusion of dopant in the following heat annealing treatment process.例文帳に追加

イオン注入工程でのドーパントのチャンネリングを最小限に抑制し、また引き続く熱アニール処理工程でのドーパントの拡散を抑制することにより接合深さを制御してドーパント濃度分布を狭小化した超浅型接合を半導体基板内に形成する方法を提供する。 - 特許庁