cryopumpsとは 意味・読み方・使い方

The processor 12 performs time-sharing control of the respective cryopumps 11a-11c by exchanging data with the communication changing parts 13a-13c of the cryopumps 11a-11c by packet exchange, line exchange, or the like through the communication network 14.例文帳に追加

プロセッサ１２は、通信ネットワーク１４を介したパケット交換や回線交換等によって各クライオポンプ１１a〜１１cの通信変換部１３a〜１３cとデータ交換を行って、各クライオポンプ１１a〜１１cを時分割で制御する。 - 特許庁

In simultaneously controlling a plurality of cryopumps 11a-11c, a processor 12 and communication changing parts 13a-13c of the respective cryopumps 11a-11c are connected by a communication network 14.例文帳に追加

複数台のクライオポンプ１１a〜１１cを同時に制御するに際して、１台のプロセッサ１２と夫々のクライオポンプ１１a〜１１cの通信変換部１３a〜１３cとを、通信ネットワーク１４で接続する。 - 特許庁

The properly supplied helium is distributed to cryopumps by sensing surplus and shortage of the helium refrigerant and redistributing the refrigerant according to the sensing result.例文帳に追加

ヘリウムの適正な供給は、ヘリウム冷媒の余剰および不足を検出し、それに応じて冷媒を再分配することにより、各クライオポンプに分配される。 - 特許庁