cryopump systemとは 意味・読み方・使い方

To provide a cryopump/trap system capable of grasping and displaying the power consumption of each cryopump/trap, and a vacuum treatment device comprising the system.例文帳に追加

それぞれのクライオポンプ/トラップの消費電力を把握、及び、表示することを可能としたクライオポンプ/トラップシステム、また、そのシステムを搭載する真空処理装置を提供することにある。 - 特許庁

GM FREEZER, PULSE TUBE FREEZER, CRYOPUMP, MRI DEVICE, SUPER-CONDUCTIVE MAGNET SYSTEM, NMR DEVICE, AND FREEZER FOR COOLING OF SEMICONDUCTOR例文帳に追加

ＧＭ冷凍機、パルス管冷凍機、クライオポンプ、ＭＲＩ装置、超電導磁石装置、ＮＭＲ装置および半導体冷却用冷凍機 - 特許庁

To provide a vacuum valve by which the function of releasing an excessively high pressure can be achieved at low cost in a vacuum system, and a cryopump provided with such a vacuum valve.例文帳に追加

過度の高圧を解放する機能を真空システムに低コストに実現することを可能とする真空バルブ、及びそうした真空バルブを備えるクライオポンプを提供する。 - 特許庁

To solve a problem in a conventional cryopump wherein a hydrogen gas is discharged by use of a cryopanel having active carbon fixed to a metallic plate by resin, and a discharged vacuum system is contaminated by the gas generated from the active carbon and the resin.例文帳に追加

活性炭が樹脂によって金属板に固着された構成のクライオパネルを用いて水素ガスを排気する従来のクライオポンプでは、活性炭や樹脂から生じるガスによって排気対象の真空システムが汚染される。 - 特許庁

Ar gas in a chamber (2) is exhausted not only via the exhaust passage part (10) but also via the exhaust passage part (11) in accordance with the operation of a cryopump (14) driven under the control by a controller (100) when the sputtering system (1) lies in a standby state.例文帳に追加

チャンバ（２）内のＡｒガスは、スパッタ装置（１）がスタンバイ状態にある際、排気経路部（１０）だけでなく、制御装置（１００）の制御下で駆動されるクライオポンプ（１４）の動作に応じて排気経路部（１１）を介しても排出される。 - 特許庁