decompoundedとは 意味・読み方・使い方

After the predetermined raw gas from a gas supplying source 2 is decompounded by heating or electromagnetic wave irradiation, it is introduced into the vacuum vessel 1.例文帳に追加

真空容器１内に、ガス供給源２から所定の原料ガスを加熱または電磁波照射で分解させた後、真空容器１内に導入する。 - 特許庁

The introduced decompounded gas is exhausted by a turbo molecular pump and a dry pump 4 as exhausting devices, and a pressure in the vacuum vessel 1 is kept at a predetermined pressure by a pressure regulating device 3.例文帳に追加

導入された分解ガスは、排気装置としてのターボ分子ポンプ及びドライポンプ４により排気し、圧力調整装置３により真空容器１内を所定の圧力に保つ。 - 特許庁

Introducting the raw gas into the vacuum vessel 1 in the decompounded state, can introduce a radical or an ion on the sample uniformly to improve the uniformity of the sample even though the plasma density profile is nonuniform.例文帳に追加

原料ガスを分解した状態で真空容器１に導入することにより、プラズマ密度分布が不均一な場合でも、試料上に均一にラジカルやイオンを導入でき試料の均一性を向上させることができる。 - 特許庁