displacement purgeとは 意味・読み方・使い方

To prevent wafer transfer mistakes caused by wafer displacement associated with nitrogen gas purge.例文帳に追加

窒素ガスパージに伴うウエハ位置ずれによるウエハ移載ミスを防止する。 - 特許庁

The fastening device prevents rotational and vertical positions displacement of the purge ring 19, caused by purge gas leaving from the purge ring 19 or caused by other processing conditions.例文帳に追加

締結装置は、パージリング１９から退出するパージガス又はその他の処理条件により生じるパージリング１９の回転及び垂直方向の位置ずれを防止する。 - 特許庁

After that, the closure 40 is used to engage the door 10a with the wafer port 10b, to press a wafer 9 group into the wafer container 10c by the door 10a, and to resolve the wafer displacement caused by the nitrogen gas purge.例文帳に追加

その後、クロージャ４０でドア１０ａをウエハ出し入れ口１０ｂへ嵌入し、ドア１０ａでウエハ９群をウエハ収納室１０ｃ内に押し込み、窒素ガスパージによるウエハ位置ずれを解消させる。 - 特許庁

When the supply pressure is within the reference range, and the displacement amount of the sealing member displaced by the supply of the purge gas is within the reference range, the rotary drive of a rotary shaft by a motor is permitted, and the operation of the vapor deposition device is permitted.例文帳に追加

供給圧が基準範囲内であり、かつ、パージガスの供給により変位したシール部材の変位量が基準範囲内である場合に、モータによる回転軸の回転駆動が許可され、気相成長装置の稼働が許可される。 - 特許庁