effective emissivityとは 意味・読み方・使い方

The effective emissivity calculation part 33 obtains, on a region basis, effective emissivity based on: the coverage; set emissivity of the element region; and the emissivity of an element isolation region.例文帳に追加

実効放射率計算部３３は、領域毎に、被覆率と設定された素子領域の放射率及び素子分離領域の放射率とに基づき、実効放射率を求める。 - 特許庁

The model creation part 34 creates a model in which the effective emissivity is set on the wafer surface, and temperature temporal change and emissivity are set in a lamp.例文帳に追加

モデル作成部３４は、ウエハ表面に実効放射率を、ランプに温度の時間変化及び放射率を設定したモデルを作成する。 - 特許庁

In this method of measuring the temperature of the measuring body 54 (W) placed in the multiple reflection environment by using a radiation thermometer 40 utilizing emissivity, an effective emissivity εeff defineed by the following expression is used as the above emissivity: εeff=(1-α).ε+α.ε/[1.F.r.(1-ε)].例文帳に追加

多重反射環境に設置された被測定体５４（Ｗ）の温度を、放射率を利用した放射温度計４０を用いて測定する温度測定方法において、前記放射率として下記式で定まる実効放射率ε_eff を用いる。 - 特許庁

The device for simulating wafer temperature includes: an element part coverage calculation part 32; an effective emissivity calculation part 33; a model creation part 34 and a thermal diffusion equation solution part 35.例文帳に追加

ウエハ温度シミュレーション装置は、素子部被覆率計算部３２と、実効放射率計算部３３と、モデル作成部３４と、熱拡散方程式解法部３５とを具備する。 - 特許庁

The temperature and emissivity of the substrate 9 can be obtained, based on the output of the first radiation thermometer rod 55 before and after the switching of the effective radivity, and the temperature of the region of the substrate 9 which faces opposite each second radiation thermometer rod 60 can be obtained, based on the output of the obtained emissivity and the output of the second radiation thermometer rod 60.例文帳に追加

実効反射率の切り替え前後における第１放射温度計ロッド５５からの出力に基づいて基板９の温度および放射率を求め、求められた放射率および第２放射温度計ロッド６０からの出力に基づいて各第２放射温度計ロッド６０に対向する基板９の領域の温度を求める。 - 特許庁